ركيزة SiC مقاس 12 بوصة من النوع N ذات حجم كبير وأداء عالٍ لتطبيقات التردد اللاسلكي
المعايير الفنية
مواصفات ركيزة كربيد السيليكون (SiC) مقاس 12 بوصة | |||||
درجة | إنتاج ZeroMPD الصف (الصف Z) | الإنتاج القياسي الدرجة (الدرجة P) | درجة وهمية (الدرجة د) | ||
القطر | 3 0 0 مم~1305 مم | ||||
سماكة | 4H-N | 750 ميكرومتر ± 15 ميكرومتر | 750 ميكرومتر ± 25 ميكرومتر | ||
4H-SI | 750 ميكرومتر ± 15 ميكرومتر | 750 ميكرومتر ± 25 ميكرومتر | |||
اتجاه الرقاقة | خارج المحور: 4.0 درجة باتجاه <1120 >±0.5 درجة لـ 4H-N، على المحور: <0001>±0.5 درجة لـ 4H-SI | ||||
كثافة الأنابيب الدقيقة | 4H-N | ≤0.4 سم-2 | ≤4 سم-2 | ≤25 سم-2 | |
4H-SI | ≤5 سم-2 | ≤10 سم-2 | ≤25 سم-2 | ||
المقاومة | 4H-N | 0.015~0.024 Ω·سم | 0.015~0.028 Ω·سم | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·سم | ≥1E5 Ω·سم | |||
التوجه المسطح الأساسي | {10-10} ±5.0 درجة | ||||
طول المسطح الأساسي | 4H-N | غير متوفر | |||
4H-SI | الشق | ||||
استبعاد الحافة | 3 مم | ||||
قيمة العمر الافتراضي/قيمة العمر الافتراضي/القوس/الالتواء | .55μm/-15μm/-35 μm/-55 μm | .55μm/-15μm/-35 □ ميكرومتر/555 □ ميكرومتر | |||
خشونة | البولندية Ra ≤1 نانومتر | ||||
CMP Ra≤0.2 نانومتر | Ra≤0.5 نانومتر | ||||
شقوق الحواف بسبب الضوء عالي الكثافة ألواح سداسية بضوء عالي الكثافة مناطق متعددة الأنواع باستخدام ضوء عالي الكثافة شوائب الكربون المرئية خدوش سطح السيليكون بسبب الضوء عالي الكثافة | لا أحد المساحة التراكمية ≤0.05% لا أحد المساحة التراكمية ≤0.05% لا أحد | الطول التراكمي ≤ 20 مم، الطول الفردي ≤ 2 مم المساحة التراكمية ≤0.1% المساحة التراكمية ≤3% المساحة التراكمية ≤3% الطول التراكمي ≤1×قطر الرقاقة | |||
شظايا الحافة بواسطة ضوء عالي الكثافة | لا يُسمح بأي عرض أو عمق ≥0.2 مم | 7 مسموح بها، ≤1 مم لكل منها | |||
(TSD) خلع برغي الخيط | ≤500 سم-2 | غير متوفر | |||
(BPD) خلع المستوى الأساسي | ≤1000 سم-2 | غير متوفر | |||
تلوث سطح السيليكون بالضوء عالي الكثافة | لا أحد | ||||
التعبئة والتغليف | كاسيت متعدد الرقائق أو حاوية رقاقة واحدة | ||||
ملحوظات: | |||||
1 تنطبق حدود العيوب على كامل سطح الرقاقة باستثناء منطقة استبعاد الحافة. 2يجب فحص الخدوش على وجه Si فقط. 3 بيانات الخلع مأخوذة فقط من رقائق KOH المحفورة. |
الميزات الرئيسية
1. ميزة الحجم الكبير: توفر ركيزة SiC مقاس 12 بوصة (ركيزة كربيد السيليكون مقاس 12 بوصة) مساحة رقاقة واحدة أكبر، مما يسمح بإنتاج المزيد من الرقائق لكل رقاقة، وبالتالي تقليل تكاليف التصنيع وزيادة العائد.
2. مادة عالية الأداء: تجعل مقاومة كربيد السيليكون لدرجات الحرارة العالية وقوة المجال العالية للانهيار الركيزة مقاس 12 بوصة مثالية للتطبيقات ذات الجهد العالي والتردد العالي، مثل محولات السيارات الكهربائية وأنظمة الشحن السريع.
3. توافق المعالجة: على الرغم من الصلابة العالية وتحديات المعالجة التي تواجه SiC، فإن ركيزة SiC مقاس 12 بوصة تحقق عيوب سطحية أقل من خلال تقنيات القطع والتلميع المحسّنة، مما يحسن إنتاجية الجهاز.
4. إدارة حرارية فائقة: بفضل التوصيل الحراري الأفضل من المواد القائمة على السيليكون، تعمل الركيزة مقاس 12 بوصة على معالجة تبديد الحرارة في الأجهزة عالية الطاقة بشكل فعال، مما يؤدي إلى إطالة عمر المعدات.
التطبيقات الرئيسية
1. المركبات الكهربائية: تُعد ركيزة SiC مقاس 12 بوصة (ركيزة كربيد السيليكون مقاس 12 بوصة) مكونًا أساسيًا في أنظمة القيادة الكهربائية من الجيل التالي، مما يتيح عاكسات عالية الكفاءة تعمل على تحسين النطاق وتقليل وقت الشحن.
2. محطات قاعدة 5G: تدعم ركائز SiC كبيرة الحجم أجهزة RF عالية التردد، مما يلبي متطلبات محطات قاعدة 5G للطاقة العالية والخسارة المنخفضة.
3. إمدادات الطاقة الصناعية: في العاكسات الشمسية والشبكات الذكية، يمكن للركيزة مقاس 12 بوصة أن تتحمل جهدًا أعلى مع تقليل فقدان الطاقة.
4. الإلكترونيات الاستهلاكية: قد تعتمد أجهزة الشحن السريعة وأجهزة إمداد الطاقة في مراكز البيانات في المستقبل على ركائز SiC مقاس 12 بوصة لتحقيق حجم صغير وكفاءة أعلى.
خدمات XKH
نحن متخصصون في خدمات المعالجة المخصصة لركائز SiC مقاس 12 بوصة (ركائز كربيد السيليكون مقاس 12 بوصة)، بما في ذلك:
1. التقطيع والتلميع: معالجة الركيزة منخفضة الضرر وعالية التسطيح مصممة خصيصًا لتلبية متطلبات العملاء، مما يضمن أداء مستقر للجهاز.
2. دعم النمو الطبقي: خدمات الرقائق الطبقية عالية الجودة لتسريع تصنيع الرقائق.
3. النمذجة الأولية على دفعات صغيرة: تدعم التحقق من صحة البحث والتطوير للمؤسسات البحثية والشركات، مما يؤدي إلى تقصير دورات التطوير.
4. الاستشارات الفنية: حلول شاملة من اختيار المواد إلى تحسين العمليات، مما يساعد العملاء على التغلب على تحديات معالجة SiC.
سواء كان ذلك للإنتاج الضخم أو التخصيص المتخصص، فإن خدماتنا للركيزة SiC مقاس 12 بوصة تتوافق مع احتياجات مشروعك، مما يعزز التقدم التكنولوجي.


