رقاقة ركيزة SiC شبه HPSI مقاس 2 بوصة من 4H-semi إنتاج درجة بحث وهمية
رقائق SiC ذات ركيزة كربيد السيليكون شبه العازلة
تُقسم ركائز كربيد السيليكون بشكل رئيسي إلى نوعين: موصل وشبه عازل. تُستخدم ركائز كربيد السيليكون الموصلة والركائز من النوع n بشكل رئيسي في مصابيح LED القائمة على نيتريد الغاليوم (GaN) وغيرها من الأجهزة البصرية الإلكترونية، وأجهزة إلكترونيات الطاقة القائمة على كربيد السيليكون (SiC)، بينما تُستخدم ركائز كربيد السيليكون شبه العازلة (SiC) بشكل رئيسي في التصنيع الفوقي لأجهزة التردد اللاسلكي عالية القدرة نيتريد الغاليوم. بالإضافة إلى ذلك، تختلف ركائز HPSI شبه العازلة عالية النقاء وشبه العازلة SI، حيث يتراوح تركيز ناقلاتها شبه العازلة عالية النقاء بين 3.5 × 1013 ~ 8 × 1015/سم3، مع قدرة عالية على حركة الإلكترونات. تتميز ركائز شبه العازلة بمقاومة عالية ومقاومة عالية جدًا، وتُستخدم عادةً في ركائز أجهزة الميكروويف، وهي غير موصلة.
رقاقة ركيزة كربيد السيليكون شبه العازلة
يحدد هيكل بلورة SiC خصائصها الفيزيائية، بالنسبة إلى Si وGaAs، يتمتع SiC بالخصائص الفيزيائية؛ عرض النطاق المحظور كبير، قريب من 3 أضعاف عرض Si، لضمان عمل الجهاز في درجات حرارة عالية في ظل موثوقية طويلة الأجل؛ قوة مجال الانهيار عالية، 10 أضعاف Si، لضمان سعة جهد الجهاز وتحسين قيمة جهد الجهاز؛ معدل الإلكترون المشبع كبير، 2 أضعاف Si، لزيادة تردد الجهاز وكثافة الطاقة؛ الموصلية الحرارية عالية، أكثر من 3 أضعاف Si، مما يزيد من سعة تبديد الحرارة للجهاز وتحقيق تصغير الجهاز.
مخطط تفصيلي
