6 بوصة SiC Epitaxiy رقاقة N / P تقبل حسب الطلب
إن عملية تحضير الرقاقة الفوقية من كربيد السيليكون هي طريقة تستخدم تقنية ترسيب البخار الكيميائي (CVD).فيما يلي المبادئ الفنية ذات الصلة وخطوات عملية الإعداد:
المبدأ الفني:
ترسيب البخار الكيميائي: باستخدام غاز المادة الخام في الطور الغازي، في ظل ظروف تفاعل محددة، يتم تحلله وترسيبه على الركيزة لتشكيل الطبقة الرقيقة المطلوبة.
تفاعل الطور الغازي: من خلال الانحلال الحراري أو تفاعل التكسير، يتم تغيير غازات المواد الخام المختلفة في الطور الغازي كيميائيًا في غرفة التفاعل.
خطوات عملية التحضير:
معالجة الركيزة: تخضع الركيزة لتنظيف السطح والمعالجة المسبقة لضمان جودة وبلورة الرقاقة الفوقي.
تصحيح أخطاء غرفة التفاعل: ضبط درجة الحرارة والضغط ومعدل التدفق لغرفة التفاعل والمعلمات الأخرى لضمان الاستقرار والتحكم في ظروف التفاعل.
توريد المواد الخام: توريد المواد الخام المطلوبة للغاز إلى غرفة التفاعل، والخلط والتحكم في معدل التدفق حسب الحاجة.
عملية التفاعل: عن طريق تسخين غرفة التفاعل، تخضع المادة الخام الغازية لتفاعل كيميائي في الغرفة لإنتاج الراسب المطلوب، أي فيلم كربيد السيليكون.
التبريد والتفريغ: في نهاية التفاعل، يتم خفض درجة الحرارة تدريجياً لتبريد وتجميد الرواسب في غرفة التفاعل.
التلدين والمعالجة اللاحقة للرقاقة الفوقية: يتم تلدين الرقاقة الفوقية المترسبة ومعالجتها لاحقًا لتحسين خصائصها الكهربائية والبصرية.
قد تختلف الخطوات والشروط المحددة لعملية تحضير الرقاقة الفوقية من كربيد السيليكون وفقًا للمعدات والمتطلبات المحددة.ما ورد أعلاه ليس سوى تدفق ومبدأ عام للعملية، ويجب تعديل العملية المحددة وتحسينها وفقًا للوضع الفعلي.
مخطط تفصيلي
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)