رقاقة SiC موصلة من مادة 4H-N مقاس 8 بوصات وقطر 200 مم، درجة بحثية وهمية
نظرًا لخصائصها الفيزيائية والإلكترونية الفريدة، تُستخدم مادة أشباه الموصلات من رقاقة SiC مقاس 200 مم لإنشاء أجهزة إلكترونية عالية الأداء وعالية الحرارة ومقاومة للإشعاع وعالية التردد. ينخفض سعر ركيزة SiC مقاس 8 بوصات تدريجيًا مع تقدم التكنولوجيا ونمو الطلب. أدت التطورات التكنولوجية الحديثة إلى تصنيع رقائق SiC مقاس 200 مم على نطاق الإنتاج. المزايا الرئيسية لمواد أشباه الموصلات من رقاقة SiC مقارنةً برقائق Si وGaAs: تكون قوة المجال الكهربائي لـ 4H-SiC أثناء انهيار الانهيار الجليدي أعلى بأكثر من مرتبة من حيث الحجم من القيم المقابلة لـ Si وGaAs. يؤدي هذا إلى انخفاض كبير في مقاومة حالة التشغيل Ron. تسمح المقاومة المنخفضة لحالة التشغيل، إلى جانب كثافة التيار العالية والتوصيل الحراري، باستخدام قالب صغير جدًا لأجهزة الطاقة. تقلل الموصلية الحرارية العالية لـ SiC من المقاومة الحرارية للرقاقة. تتميز الخصائص الإلكترونية للأجهزة المصنوعة من رقائق كربيد السيليكون (SiC) بثباتها العالي على مر الزمن ودرجة الحرارة، مما يضمن موثوقية عالية للمنتجات. يتميز كربيد السيليكون بمقاومة عالية للإشعاعات القاسية، مما يحافظ على الخصائص الإلكترونية للرقاقة. تتيح درجة حرارة التشغيل القصوى العالية للبلورة (أكثر من 6000 درجة مئوية) إنتاج أجهزة عالية الموثوقية لظروف التشغيل القاسية والتطبيقات الخاصة. حاليًا، يمكننا توريد دفعات صغيرة من رقائق كربيد السيليكون (SiC) بسمك 200 مم بشكل مستمر، ولدينا مخزون في مستودعاتنا.
مواصفة
رقم | غرض | وحدة | إنتاج | بحث | دمية |
1. المعلمات | |||||
1.1 | متعدد الأنواع | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | اتجاه السطح | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
2. المعلمة الكهربائية | |||||
2.1 | مادة مضافة | -- | النيتروجين من النوع n | النيتروجين من النوع n | النيتروجين من النوع n |
2.2 | المقاومة | أوم · سم | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
3. المعلمة الميكانيكية | |||||
3.1 | القطر | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
3.2 | سماكة | ميكرومتر | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | اتجاه الشق | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | عمق الشق | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
3.5 | قيمة القرض إلى القيمة | ميكرومتر | ≤5(10 مم*10 مم) | ≤5(10 مم*10 مم) | ≤10(10 مم*10 مم) |
3.6 | تي تي في | ميكرومتر | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | قَوس | ميكرومتر | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | الاعوجاج | ميكرومتر | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | را ≤ 0.2 | را ≤ 0.2 | را ≤ 0.2 |
4. البنية | |||||
4.1 | كثافة الأنابيب الدقيقة | وحدة/سم2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | محتوى معدني | ذرات/سم2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | تي اس دي | وحدة/سم2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | اضطراب الشخصية الحدية | وحدة/سم2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | تيد | وحدة/سم2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5. الجودة الإيجابية | |||||
5.1 | أمام | -- | Si | Si | Si |
5.2 | تشطيب السطح | -- | CMP ذو وجه Si | CMP ذو وجه Si | CMP ذو وجه Si |
5.3 | جسيم | ea/رقاقة | ≤100 (الحجم ≥0.3 ميكرومتر) | NA | NA |
5.4 | يخدش | ea/رقاقة | ≤5، الطول الإجمالي ≤200 مم | NA | NA |
5.5 | حافة شقوق/تشققات/بقع/تلوث | -- | لا أحد | لا أحد | NA |
5.6 | مناطق متعددة الأنواع | -- | لا أحد | المساحة ≤10% | المساحة ≤30% |
5.7 | العلامة الأمامية | -- | لا أحد | لا أحد | لا أحد |
6. جودة الظهر | |||||
6.1 | النهاية الخلفية | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
6.2 | يخدش | mm | NA | NA | NA |
6.3 | حافة عيوب الظهر رقائق/مسافات بادئة | -- | لا أحد | لا أحد | NA |
6.4 | خشونة الظهر | nm | را ≤ 5 | را ≤ 5 | را ≤ 5 |
6.5 | علامة الظهر | -- | الشق | الشق | الشق |
7. الحافة | |||||
7.1 | حافة | -- | حافة مشطوفة | حافة مشطوفة | حافة مشطوفة |
8. الحزمة | |||||
8.1 | التعبئة والتغليف | -- | جاهز للاستخدام مع الفراغ التعبئة والتغليف | جاهز للاستخدام مع الفراغ التعبئة والتغليف | جاهز للاستخدام مع الفراغ التعبئة والتغليف |
8.2 | التعبئة والتغليف | -- | متعدد الرقاقات تغليف الكاسيت | متعدد الرقاقات تغليف الكاسيت | متعدد الرقاقات تغليف الكاسيت |
مخطط تفصيلي



