رقائق كربيد السيليكون (SiC) مقاس 8 بوصات (200 مم) من النوع 4H-N، درجة إنتاجية، سمك 500 ميكرومتر

الحجم: 8 بوصة؛

القطر: 200 مم ± 0.2؛

السماكة: 500 ميكرومتر ± 25؛

اتجاه السطح: 4 باتجاه [11-20]±0.5 درجة؛

اتجاه الشق: [1-100]±1°؛

عمق الشق: 1±0.25 مم؛

الأنابيب الدقيقة: <1 سم مربع؛

لوحات سداسية: غير مسموح بها؛

المقاومة النوعية: 0.015~0.028 أوم؛

EPD:<8000 سم2؛

مساحة الأرض: أقل من 6000 سم مربع

BPD:<2000 سم2

مساحة سطح الأرض الكلية: أقل من 1000 سم مربع

مساحة SF: أقل من 1%

TTV≤15 ميكرومتر؛

الالتواء ≤ 40 ميكرومتر؛

القوس ≤ 25 ميكرومتر؛

مساحات البولي: ≤5%؛

الخدش: <5 والطول التراكمي < 1 قطر الرقاقة؛

الشقوق/الخدوش: لا يُسمح بأي منها بعرض وعمق أكبر من 0.5 مم؛

الشقوق: لا يوجد؛

البقع: لا يوجد

حافة الرقاقة: شطف؛

تشطيب السطح: تلميع مزدوج الجوانب، تلميع كيميائي للوجه السيليكوني؛

التعبئة: علبة متعددة الرقائق أو حاوية رقاقة واحدة؛

تتمثل الصعوبات الحالية في تحضير بلورات 4H-SiC بحجم 200 مم بشكل رئيسي في

1) تحضير بلورات بذور 4H-SiC عالية الجودة بحجم 200 مم؛

2) عدم تجانس مجال درجة الحرارة في الحجم الكبير والتحكم في عملية التكوين النووي؛

3) كفاءة النقل وتطور المكونات الغازية في أنظمة نمو البلورات الكبيرة؛

4) تشقق البلورات وانتشار العيوب الناتج عن زيادة الإجهاد الحراري ذي الحجم الكبير.

للتغلب على هذه التحديات والحصول على رقائق كربيد السيليكون عالية الجودة بحجم 200 مم، تم اقتراح الحلول التالية:

فيما يتعلق بتحضير بلورات البذور بحجم 200 مم، تمت دراسة وتصميم مجال التدفق الحراري المناسب، ومجموعة التوسيع، مع مراعاة جودة البلورة وحجم التوسيع؛ بدءًا من بلورة SiC se:d بحجم 150 مم، يتم إجراء تكرار بلورة البذور لتوسيع حجم بلورة SiC تدريجيًا حتى يصل إلى 200 مم؛ من خلال نمو البلورات ومعالجتها المتعددة، يتم تحسين جودة البلورة تدريجيًا في منطقة توسيع البلورة، وتحسين جودة بلورات البذور بحجم 200 مم.

فيما يتعلق بتحضير البلورات الموصلة بقطر 200 مم والركائز، ركزت الأبحاث على تحسين تصميم مجال درجة الحرارة ومجال التدفق لنمو البلورات كبيرة الحجم، وإجراء نمو بلورات كربيد السيليكون الموصلة بقطر 200 مم، والتحكم في تجانس التطعيم. بعد المعالجة الأولية وتشكيل البلورة، تم الحصول على سبيكة موصلة كهربائيًا من كربيد السيليكون 4H-SiC بقطر قياسي يبلغ 8 بوصات. بعد القطع والطحن والتلميع والمعالجة، تم الحصول على رقائق كربيد السيليكون بقطر 200 مم وسماكة 525 ميكرومتر تقريبًا.