رقاقة SiC مقاس 8 بوصات من الدرجة الإنتاجية ركيزة SiC 4H-N
يوضح الجدول التالي مواصفات رقائق SiC مقاس 8 بوصة الخاصة بنا:
مواصفات معالج إشارة رقمية SiC من النوع N مقاس 8 بوصات | |||||
رقم | غرض | وحدة | إنتاج | بحث | دمية |
1: المعلمات | |||||
1.1 | متعدد الأنواع | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | اتجاه السطح | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
2: المعلمة الكهربائية | |||||
2.1 | مادة مضافة | -- | النيتروجين من النوع n | النيتروجين من النوع n | النيتروجين من النوع n |
2.2 | المقاومة | أوم · سم | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
3: المعلمة الميكانيكية | |||||
3.1 | القطر | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
3.2 | سماكة | ميكرومتر | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | اتجاه الشق | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | عمق الشق | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
3.5 | قيمة القرض إلى القيمة | ميكرومتر | ≤5(10 مم*10 مم) | ≤5(10 مم*10 مم) | ≤10(10 مم*10 مم) |
3.6 | تي تي في | ميكرومتر | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | قَوس | ميكرومتر | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | الاعوجاج | ميكرومتر | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | را ≤ 0.2 | را ≤ 0.2 | را ≤ 0.2 |
4:الهيكل | |||||
4.1 | كثافة الأنابيب الدقيقة | وحدة/سم2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | محتوى معدني | ذرات/سم2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | تي اس دي | وحدة/سم2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | اضطراب الشخصية الحدية | وحدة/سم2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | تيد | وحدة/سم2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5.جودة الواجهة | |||||
5.1 | أمام | -- | Si | Si | Si |
5.2 | تشطيب السطح | -- | CMP ذو وجه Si | CMP ذو وجه Si | CMP ذو وجه Si |
5.3 | جسيم | ea/رقاقة | ≤100 (الحجم ≥0.3 ميكرومتر) | NA | NA |
5.4 | يخدش | ea/رقاقة | ≤5، الطول الإجمالي ≤200 مم | NA | NA |
5.5 | حافة شقوق/تشققات/بقع/تلوث | -- | لا أحد | لا أحد | NA |
5.6 | مناطق متعددة الأنواع | -- | لا أحد | المساحة ≤10% | المساحة ≤30% |
5.7 | العلامة الأمامية | -- | لا أحد | لا أحد | لا أحد |
6:جودة الظهر | |||||
6.1 | النهاية الخلفية | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
6.2 | يخدش | mm | NA | NA | NA |
6.3 | حافة عيوب الظهر رقائق/مسافات بادئة | -- | لا أحد | لا أحد | NA |
6.4 | خشونة الظهر | nm | را ≤ 5 | را ≤ 5 | را ≤ 5 |
6.5 | علامة الظهر | -- | الشق | الشق | الشق |
7: الحافة | |||||
7.1 | حافة | -- | حافة مشطوفة | حافة مشطوفة | حافة مشطوفة |
8:الحزمة | |||||
8.1 | التعبئة والتغليف | -- | جاهز للاستخدام مع الفراغ التعبئة والتغليف | جاهز للاستخدام مع الفراغ التعبئة والتغليف | جاهز للاستخدام مع الفراغ التعبئة والتغليف |
8.2 | التعبئة والتغليف | -- | متعدد الرقاقات تغليف الكاسيت | متعدد الرقاقات تغليف الكاسيت | متعدد الرقاقات تغليف الكاسيت |
مخطط تفصيلي



المنتجات ذات الصلة
اكتب رسالتك هنا وأرسلها لنا