رقاقة من درجة إنتاج 8 بوصة من SiC ركيزة 4H-N SiC
يوضح الجدول التالي مواصفات رقائق SiC مقاس 8 بوصة لدينا:
مواصفات 8 بوصة N-type SiC DSP | |||||
رقم | غرض | وحدة | إنتاج | بحث | دمية |
1: المعلمات | |||||
1.1 | متعدد الأنواع | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | اتجاه السطح | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
2: المعلمة الكهربائية | |||||
2.1 | منشط | -- | ن نوع النيتروجين | ن نوع النيتروجين | ن نوع النيتروجين |
2.2 | المقاومة | أوم · سم | 0.015 ~ 0.025 | 0.01 ~ 0.03 | NA |
3: المعلمة الميكانيكية | |||||
3.1 | القطر | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
3.2 | سماكة | ميكرومتر | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | اتجاه الشق | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | عمق الشق | mm | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 |
3.5 | القيمة الدائمة | ميكرومتر | ≥5 (10 مم * 10 مم) | ≥5 (10 مم * 10 مم) | ≥10 (10 مم * 10 مم) |
3.6 | تي تي في | ميكرومتر | ≥10 | ≥10 | ≥15 |
3.7 | قَوس | ميكرومتر | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | الاعوجاج | ميكرومتر | ≥30 | ≥50 | ≥70 |
3.9 | AFM | nm | را ≥0.2 | را ≥0.2 | را ≥0.2 |
4: الهيكل | |||||
4.1 | كثافة الأنابيب الدقيقة | عصام/cm2 | ≥2 | ≥10 | ≥50 |
4.2 | المحتوى المعدني | الذرات/سم2 | ≥1E11 | ≥1E11 | NA |
4.3 | TSD | عصام/cm2 | ≥500 | ≥1000 | NA |
4.4 | اضطراب الشخصية الحدية | عصام/cm2 | ≥2000 | ≥5000 | NA |
4.5 | تيد | عصام/cm2 | ≥7000 | ≥10000 | NA |
5. الجودة الأمامية | |||||
5.1 | أمام | -- | Si | Si | Si |
5.2 | الانتهاء من السطح | -- | سي الوجه CMP | سي الوجه CMP | سي الوجه CMP |
5.3 | جسيم | عصام / رقاقة | .100 (الحجم ≥0.3μm) | NA | NA |
5.4 | يخدش | عصام / رقاقة | ≥5، الطول الإجمالي ≥200 مم | NA | NA |
5.5 | حافة رقائق/المسافات البادئة/الشقوق/البقع/التلوث | -- | لا أحد | لا أحد | NA |
5.6 | مناطق متعددة الأنواع | -- | لا أحد | المنطقة ≥10% | المساحة ≥30% |
5.7 | العلامات الأمامية | -- | لا أحد | لا أحد | لا أحد |
6: جودة الظهر | |||||
6.1 | النهاية الخلفية | -- | C- الوجه MP | C- الوجه MP | C- الوجه MP |
6.2 | يخدش | mm | NA | NA | NA |
6.3 | حافة العيوب الخلفية رقائق / المسافات البادئة | -- | لا أحد | لا أحد | NA |
6.4 | خشونة الظهر | nm | را 5 | را 5 | را 5 |
6.5 | وضع العلامات الخلفية | -- | الشق | الشق | الشق |
7: الحافة | |||||
7.1 | حافة | -- | الشطب | الشطب | الشطب |
8: الحزمة | |||||
8.1 | التعبئة والتغليف | -- | برنامج التحصين الموسع جاهز بالشفط التعبئة والتغليف | برنامج التحصين الموسع جاهز بالشفط التعبئة والتغليف | برنامج التحصين الموسع جاهز بالشفط التعبئة والتغليف |
8.2 | التعبئة والتغليف | -- | رقاقة متعددة تغليف الكاسيت | رقاقة متعددة تغليف الكاسيت | رقاقة متعددة تغليف الكاسيت |
مخطط تفصيلي
اكتب رسالتك هنا وأرسلها لنا