أداة طرفية سيراميكية عالية الأداء من الألومينا (ذراع شوكة) لأتمتة أشباه الموصلات وغرف التنظيف

أداة طرفية (ذراع شوكة) من السيراميك الألومينا عالي الأداء لأتمتة أشباه الموصلات وغرف التنظيف (صورة مميزة)

وصف مختصر:

أداة المناولة الطرفية المصنوعة من سيراميك الألومينا، والمعروفة أيضًا باسم ذراع الشوكة السيراميكية أو اليد الروبوتية السيراميكية، هي مكون عالي الدقة مصمم للأنظمة الآلية في بيئات أشباه الموصلات، والخلايا الكهروضوئية، وشاشات العرض، والمختبرات عالية النقاء. وقد صُممت هذه الأداة لتوفير استقرار حراري استثنائي، وصلابة ميكانيكية عالية، ومقاومة كيميائية فائقة، مما يتيح نقلًا نظيفًا وموثوقًا وآمنًا للمواد الحساسة مثل رقائق السيليكون، والركائز الزجاجية، والمكونات الإلكترونية الدقيقة.

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا

سمات

رسم تخطيطي مفصل

مقدمة المنتج

باعتبارها نوعًا من أدوات الروبوت الطرفية، تُعدّ هذه القطعة الخزفية الواجهة النهائية بين نظام الأتمتة وقطعة العمل. وتلعب دورًا حاسمًا في عمليات النقل الدقيق، والمحاذاة، والتحميل/التفريغ، وتحديد المواقع في غرف الأبحاث النظيفة وبيئات الفراغ.

ذراع سيراميكي لمحرك رقاقة أشباه الموصلات G13

ذراع سيراميكي لمحرك رقاقة أشباه الموصلات G10

ذراع سيراميكي لمحرك رقاقة أشباه الموصلات G07

نظرة عامة على المادة - سيراميك الألومينا (Al₂O₃)

يُعدّ سيراميك الألومينا مادة سيراميكية تقنية عالية الاستقرار وخاملة كيميائيًا، معروفة بخصائصها الميكانيكية والكهربائية الممتازة. ويضمن استخدام الألومينا عالية النقاء (≥ 99.5%) في هذه الأدوات الطرفية ما يلي:

صلابة عالية (مقياس موس 9)ثانياً بعد الماس، توفر الألومينا مقاومة فائقة للتآكل.
قدرة على تحمل درجات الحرارة العاليةيحافظ على السلامة الهيكلية فوق درجة حرارة 1600 درجة مئوية.
الخمول الكيميائيمقاوم للأحماض والقلويات والمذيبات وبيئات الحفر بالبلازما.
العزل الكهربائي: مع قوة عازلة عالية وفقدان عازل منخفض.
تمدد حراري منخفضيضمن استقرار الأبعاد في بيئات التدوير الحراري.
توليد منخفض للجسيمات: ضروري للتوافق مع غرف التنظيف (من الفئة 10 إلى الفئة 1000).

هذه الخصائص تجعل سيراميك الألومينا مثالياً للعمليات بالغة الأهمية في الصناعات الحساسة للتلوث.

التطبيقات الوظيفية

تُستخدم أداة القطع النهائية المصنوعة من سيراميك الألومينا على نطاق واسع في العمليات الصناعية عالية التقنية، لا سيما في الحالات التي لا تفي فيها المواد المعدنية أو البلاستيكية التقليدية بالغرض بسبب التمدد الحراري أو التلوث أو التآكل. تشمل مجالات التطبيق الرئيسية ما يلي:

نقل رقائق أشباه الموصلات
أنظمة تحميل وتفريغ الطباعة الضوئية
معالجة الركائز الزجاجية في خطوط إنتاج شاشات OLED و LCD
نقل رقائق السيليكون البلوري في إنتاج الخلايا الشمسية
الفحص الآلي البصري أو الإلكتروني الدقيق
نقل العينات في المختبرات التحليلية أو الطبية الحيوية
أنظمة أتمتة بيئة الفراغ

إن قدرتها على العمل دون إدخال جزيئات أو شحنة ساكنة تجعلها لا غنى عنها للعمليات الروبوتية الدقيقة في أتمتة غرف الأبحاث النظيفة.

ميزات التصميم والتخصيص

تم تصميم كل أداة طرفية خزفية لتناسب ذراعًا روبوتية أو نظامًا محددًا لمعالجة الرقائق. ندعم التخصيص الكامل بناءً على:

توافق حجم الرقاقة2، 4، 6، 8، 12، وأكثر
هندسة الفتحات والمسافات بينها: يستوعب تصميمات الرقاقات ذات الحواف المحكمة، أو الدعم الخلفي، أو الرقاقات المشقوقة
منافذ الشفطفتحات أو قنوات شفط مدمجة للتعامل بدون تلامس
تكوين التركيب: فتحات، وخيوط، وشقوق مصممة خصيصًا لتناسب حافة أداة الروبوت الخاصة بك
معالجة السطح: تشطيب مصقول، أو مصقول بدقة، أو مطحون بدقة (Ra < 0.2 ميكرومتر متوفر)
حماية الحواف: زوايا مستديرة أو مشطوفة لتجنب تلف الرقاقة

باستخدام رسومات التصميم بمساعدة الحاسوب أو النماذج ثلاثية الأبعاد التي يقدمها العملاء، يستطيع مهندسونا تحسين كل ذراع شوكة من حيث الوزن والقوة والنظافة.

ar_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

مزايا المؤثرات النهائية الخزفية

ميزة	فائدة
صلابة ميكانيكية عالية	يحافظ على الدقة الأبعاد تحت قوى التحميل الروبوتية
أداء حراري ممتاز	يعمل بكفاءة عالية في بيئات درجات الحرارة العالية أو بيئات البلازما
انعدام التلوث المعدني	لا يوجد خطر لتلوث الأيونات في عمليات تصنيع أشباه الموصلات الحساسة
سطح منخفض الاحتكاك	يقلل من خطر الخدش على الركائز المصنوعة من الرقائق أو الزجاج
مضاد للكهرباء الساكنة وغير مغناطيسي	لا يجذب الغبار ولا يؤثر على المكونات الحساسة للمجال المغناطيسي
عمر خدمة طويل	مقاومة فائقة للتآكل في دورات التشغيل الآلي المتكررة عالية السرعة
توافق فائق النظافة	مناسب لغرف التنظيف ISO 14644 (الفئة 100 وما دونها)

بالمقارنة مع الأذرع البلاستيكية أو المصنوعة من الألومنيوم، توفر سيراميك الألومينا استقرارًا كيميائيًا وفيزيائيًا محسّنًا بشكل كبير مع الحد الأدنى من متطلبات الصيانة.

ملكية	ذراع معدني	ذراع بلاستيكية	ذراع من السيراميك المصنوع من الألومينا
صلابة	معتدل	قليل	عالية جداً (مقياس موس 9)
الاستقرار الحراري	≤ 500 درجة مئوية	≤ 150 درجة مئوية	≥ 1600 درجة مئوية
المقاومة الكيميائية	معتدل	فقير	ممتاز
ملاءمة الغرفة النظيفة	واسطة	قليل	مرتفع جداً
مقاومة التآكل	واسطة	قليل	متميز
قوة العزل الكهربائي	قليل	واسطة	عالي
دقة التصنيع حسب الطلب	محدود	معتدل	عالي (±0.01 مم ممكن)

المواصفات الفنية

المعلمة	قيمة
مادة	ألومينا عالية النقاء (≥ 99.5%)
درجة حرارة التشغيل	تصل درجة الحرارة إلى 1600 درجة مئوية
خشونة السطح	Ra ≤ 0.2 ميكرومتر (اختياري)
أحجام الرقاقات المتوافقة	من 2 بوصة إلى 12 بوصة أو حسب الطلب
التفاوت في التسطيح	±0.01 مم (حسب التطبيق)
دعامة شفط فراغية	قنوات اختيارية وقابلة للتخصيص
خيارات التركيب	فتحات تثبيت بالمسامير، ذات حواف، ومشققة

الأسئلة الشائعة (FAQ)

س1: هل يمكن دمج أداة النهاية في أنظمة الروبوتات الحالية؟
أ1:نعم، ندعم التخصيص بناءً على واجهة الروبوت الخاصة بك. يمكنك إرسال رسم CAD أو أبعاد الحافة إلينا لتكييفها بدقة.

س2: هل تنكسر الأذرع الخزفية بسهولة أثناء الاستخدام؟
A2:على الرغم من أن السيراميك هش بطبيعته، إلا أن تصميماتنا تستخدم هندسة مُحسّنة لتقليل تركيز الإجهاد. وفي ظل ظروف الاستخدام المناسبة، توفر هذه التصميمات عمرًا أطول بكثير من المعادن أو البلاستيك.

س3: هل من الممكن استخدام هذا في غرف الحفر ذات الفراغ العالي للغاية أو غرف حفر البلازما؟
A3:نعم. إن سيراميك الألومينا غير قابل لإطلاق الغازات، ومستقر حرارياً، ومقاوم للتآكل - وهو مناسب تماماً للبيئات ذات الفراغ العالي، أو الغازات التفاعلية، أو البلازما.

س4: كيف يتم تنظيف هذه المكونات أو صيانتها؟
A4:يمكن تنظيفها باستخدام الماء المقطر أو الكحول أو المنظفات المناسبة لغرف الأبحاث. لا تحتاج إلى صيانة خاصة نظراً لثباتها الكيميائي وسطحها الخامل.

معلومات عنا

تتخصص شركة XKH في تطوير وإنتاج وبيع الزجاج البصري الخاص ومواد الكريستال الجديدة بتقنيات متطورة. تخدم منتجاتنا قطاعات الإلكترونيات البصرية والإلكترونيات الاستهلاكية والقطاع العسكري. نقدم مكونات بصرية من الياقوت، وأغطية عدسات الهواتف المحمولة، والسيراميك، وتقنية LT، وكربيد السيليكون (SIC)، والكوارتز، ورقائق الكريستال شبه الموصلة. بفضل خبرتنا الواسعة ومعداتنا المتطورة، نتفوق في معالجة المنتجات غير القياسية، ونسعى لنكون شركة رائدة في مجال المواد الكهروضوئية عالية التقنية.