رقاقة LiTaO3 مقاس 2 بوصة - 8 بوصة 10 × 10 × 0.5 مم 1sp 2sp لاتصالات 5G / 6G
المعايير الفنية
اسم | LiTaO3 ذو الدرجة البصرية | مستوى جدول الصوت LiTaO3 |
محوري | قطع Z + / - 0.2 درجة | قطع 36 درجة Y / قطع 42 درجة Y / قطع X (+ / - 0.2 درجة) |
القطر | 76.2 مم + / - 0.3 مم/ 100±0.2 مم | 76.2 مم +/-0.3 مم 100 مم +/-0.3 مم 0 أو 150 ± 0.5 مم |
مستوى البيانات | 22 مم +/- 2 مم | 22 مم +/-2 مم 32 مم +/-2 مم |
سماكة | 500 ميكرومتر +/-5 مم 1000 ميكرومتر +/-5 مم | 500 ميكرومتر +/-20 مم 350 ميكرومتر +/-20 مم |
تي تي في | ≤ 10 ميكرومتر | ≤ 10 ميكرومتر |
درجة حرارة كوري | 605 درجة مئوية +/- 0.7 درجة مئوية (طريقة DTA) | 605 درجة مئوية + / -3 درجة مئوية (طريقة DTA |
جودة السطح | تلميع على الوجهين | تلميع على الوجهين |
حواف مشطوفة | تقريب الحافة | تقريب الحافة |
الخصائص الرئيسية
1. الأداء الكهربائي والبصري
· معامل الكهروضوئي: يصل r33 إلى 30 pm/V (قطع X)، وهو أعلى بمقدار 1.5 مرة من LiNbO3، مما يتيح التعديل الكهروضوئي واسع النطاق للغاية (عرض النطاق الترددي>40 جيجاهرتز).
· استجابة طيفية واسعة: نطاق انتقال 0.4–5.0 ميكرومتر (سمك 8 مم)، مع حافة امتصاص الأشعة فوق البنفسجية منخفضة تصل إلى 280 نانومتر، مثالية لأجهزة الليزر فوق البنفسجية وأجهزة النقاط الكمومية.
· معامل حراري كهربائي منخفض: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K)، مما يضمن الاستقرار في أجهزة استشعار الأشعة تحت الحمراء ذات درجات الحرارة العالية.
2.الخواص الحرارية والميكانيكية
· الموصلية الحرارية العالية: 4.6 واط/م·ك (قطع X)، أي أربعة أضعاف الموصلية الحرارية للكوارتز، وتدعم الدورة الحرارية من -200 إلى 500 درجة مئوية.
· معامل التمدد الحراري المنخفض: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000 درجة مئوية)، متوافق مع عبوات السيليكون لتقليل الإجهاد الحراري.
3. التحكم في العيوب ودقة المعالجة
· كثافة الأنابيب الدقيقة: <0.1 سم⁻² (رقائق مقاس 8 بوصات)، كثافة الخلع <500 سم⁻² (تم التحقق منها من خلال النقش بغاز KOH).
· جودة السطح: مصقولة بتقنية CMP إلى Ra <0.5 نانومتر، وتلبي متطلبات تسطيح درجة الطباعة الحجرية EUV.
التطبيقات الرئيسية
المجال | سيناريوهات التطبيق | المزايا التقنية |
الاتصالات البصرية | ليزرات DWDM 100G/400G، وحدات هجينة فوتونية سيليكونية | يتيح نفاذ الطيف الواسع لرقاقة LiTaO3 وفقدان الموجة الموجهة المنخفض (α <0.1 dB/cm) توسيع النطاق C. |
اتصالات 5G/6G | مرشحات SAW (1.8–3.5 جيجاهرتز)، مرشحات BAW-SMR | تحقق رقائق القطع بزاوية 42 درجة Y نسبة Kt² >15%، مما يوفر خسارة إدخال منخفضة (<1.5 ديسيبل) وانخفاضًا كبيرًا (>30 ديسيبل). |
تقنيات الكم | كاشفات الفوتون المفرد، مصادر التحويل التنازلي البارامترية | يعمل معامل عدم الخطية العالي (χ(2)=40 pm/V) ومعدل العد الداكن المنخفض (<100 عدد/ثانية) على تعزيز الدقة الكمية. |
الاستشعار الصناعي | أجهزة استشعار الضغط ذات درجة الحرارة العالية ومحولات التيار | تتناسب الاستجابة الكهرضغطية لرقاقة LiTaO3 (g33 >20 mV/m) والتحمل لدرجات الحرارة العالية (>400 درجة مئوية) مع البيئات القاسية. |
خدمات XKH
1. تصنيع الرقاقات المخصصة
· الحجم والقطع: 2-8 بوصة من الرقائق مع قطع X/Y/Z، وقطع 42°Y، وقطع زاوية مخصصة (±0.01° تسامح).
· التحكم في المنشطات: المنشطات Fe وMg من خلال طريقة Czochralski (نطاق التركيز 10¹⁶–10¹⁹ سم⁻³) لتحسين المعاملات الكهروضوئية والاستقرار الحراري.
2. تقنيات العمليات المتقدمة
· الاستقطاب الدوري (PPLT): تقنية القطع الذكي لرقائق LTOI، والتي تحقق دقة فترة المجال ±10 نانومتر وتحويل التردد المطابق للطور تقريبًا (QPM).
· التكامل غير المتجانس: رقائق مركبة من LiTaO3 تعتمد على السيليكون (POI) مع التحكم في السُمك (300–600 نانومتر) والتوصيل الحراري حتى 8.78 واط/متر·كلفن لمرشحات SAW عالية التردد.
3. أنظمة إدارة الجودة
· الاختبار الشامل: مطيافية رامان (التحقق من النمط المتعدد)، حيود الأشعة السينية (التبلور)، مجهر القوة الذرية (مورفولوجيا السطح)، واختبار التوحيد البصري (Δn <5×10⁻⁵).
4. دعم سلسلة التوريد العالمية
· القدرة الإنتاجية: إنتاج شهري >5000 رقاقة (8 بوصة: 70٪)، مع تسليم الطوارئ خلال 48 ساعة.
· شبكة الخدمات اللوجستية: تغطية في أوروبا وأمريكا الشمالية ومنطقة آسيا والمحيط الهادئ عبر الشحن الجوي/البحري مع التعبئة والتغليف التي يتم التحكم في درجة حرارتها.


