معدات تكنولوجيا الليزر النفاث الدقيقة لقطع الرقائق ومعالجة مادة كربيد السيليكون

وصف مختصر:

معدات تقنية ليزر ميكروجيت هي نظام تشغيل دقيق يجمع بين ليزر عالي الطاقة ونفث سائل بمستوى ميكرون. بربط شعاع الليزر بالنفث السائل عالي السرعة (ماء منزوع الأيونات أو سائل خاص)، يمكن تحقيق معالجة عالية الدقة للمواد مع انخفاض الضرر الحراري. هذه التقنية مناسبة بشكل خاص لقطع وحفر ومعالجة الهياكل الدقيقة للمواد الصلبة والهشة (مثل كربيد السيليكون والياقوت والزجاج)، وتُستخدم على نطاق واسع في أشباه الموصلات، وشاشات العرض الكهروضوئية، والأجهزة الطبية، وغيرها من المجالات.

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا

تفاصيل المنتج

علامات المنتج

مبدأ العمل:

1. اقتران الليزر: يتم تركيز الليزر النبضي (الأشعة فوق البنفسجية / الأخضر / الأشعة تحت الحمراء) داخل نفث السائل لتشكيل قناة نقل طاقة مستقرة.

2. توجيه السائل: نفاثة عالية السرعة (معدل التدفق 50-200 م/ثانية) تعمل على تبريد منطقة المعالجة وإزالة الحطام لتجنب تراكم الحرارة والتلوث.

3. إزالة المواد: تسبب طاقة الليزر تأثير التجويف في السائل لتحقيق المعالجة الباردة للمادة (منطقة التأثر بالحرارة <1 ميكرومتر).

4. التحكم الديناميكي: التعديل في الوقت الحقيقي لمعلمات الليزر (الطاقة والتردد) وضغط النفث لتلبية احتياجات المواد والهياكل المختلفة.

المعلمات الرئيسية:

1. قوة الليزر: 10-500 واط (قابلة للتعديل)

2. قطر النفاثة: 50-300 ميكرومتر

3. دقة التصنيع: ±0.5 ميكرومتر (القطع)، نسبة العمق إلى العرض 10:1 (الحفر)

المزايا التقنية:

(1) ضرر حراري يكاد يكون معدومًا
- يتحكم تبريد نفاث السائل في المنطقة المتأثرة بالحرارة (HAZ) إلى **<1μm**، مما يتجنب الشقوق الدقيقة الناجمة عن معالجة الليزر التقليدية (عادةً ما تكون المنطقة المتأثرة بالحرارة (HAZ) >10μm).

(2) التصنيع عالي الدقة
- دقة القطع/الحفر تصل إلى **±0.5μm**، خشونة الحافة Ra<0.2μm، مما يقلل من الحاجة إلى التلميع اللاحق.

- دعم معالجة البنية ثلاثية الأبعاد المعقدة (مثل الثقوب المخروطية والفتحات ذات الشكل).

(3) توافق واسع للمواد
- المواد الصلبة والهشة: SiC، الياقوت، الزجاج، السيراميك (الطرق التقليدية سهلة الكسر).

- المواد الحساسة للحرارة: البوليمرات والأنسجة البيولوجية (لا يوجد خطر التحلل الحراري).

(4) حماية البيئة والكفاءة
- لا تلوث الغبار، يمكن إعادة تدوير السائل وتصفيته.

- زيادة في سرعة المعالجة بنسبة 30% إلى 50% (مقارنة بالتصنيع).

(5) التحكم الذكي
- تحديد المواقع البصرية المتكاملة وتحسين معلمات الذكاء الاصطناعي وسمك المواد التكيفي والعيوب.

المواصفات الفنية:

حجم سطح العمل	300300150	400400200
المحور الخطي XY	محرك خطي. محرك خطي	محرك خطي. محرك خطي
المحور الخطي Z	150	200
دقة تحديد المواقع ميكرومتر	+/-5	+/-5
دقة تحديد المواقع المتكررة ميكرومتر	+/-2	+/-2
تسارع G	1	0.29
التحكم العددي	3 محاور / 3+1 محور / 3+2 محور	3 محاور / 3+1 محور / 3+2 محور
نوع التحكم العددي	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
الطول الموجي نانومتر	532/1064	532/1064
الطاقة المقدرة بالواط	50/100/200	50/100/200
نفاثة مائية	40-100	40-100
شريط ضغط الفوهة	50-100	50-600
الأبعاد (أداة آلية) (العرض * الطول * الارتفاع) مم	144519442260	170015002120
الحجم (خزانة التحكم) (العرض * الطول * الارتفاع)	70025001600	70025001600
الوزن (المعدات) T	2.5	3
الوزن (خزانة التحكم) كجم	800	800
قدرة المعالجة	خشونة السطح Ra≤1.6um سرعة الفتح ≥1.25 مم/ثانية قطع المحيط ≥6 مم/ثانية سرعة القطع الخطية ≥50 مم/ثانية	خشونة السطح Ra≤1.2um سرعة الفتح ≥1.25 مم/ثانية قطع المحيط ≥6 مم/ثانية سرعة القطع الخطية ≥50 مم/ثانية
	لمعالجة بلورات نتريد الغاليوم، ومواد أشباه الموصلات ذات فجوة النطاق العريض للغاية (الماس/أكسيد الغاليوم)، والمواد الخاصة بالطيران الفضائي، وركيزة السيراميك الكربوني LTCC، والطاقة الكهروضوئية، وبلورات الومضات ومواد أخرى. ملحوظة: تختلف سعة المعالجة حسب خصائص المواد

حالة المعالجة:

خدمات XKH:

تقدم شركة XKH مجموعة متكاملة من خدمات دعم دورة حياة معدات تقنية ليزر ميكروجيت، بدءًا من تطوير العملية المبكرة واستشارات اختيار المعدات، وصولًا إلى تكامل النظام المخصص في منتصف المدة (بما في ذلك المطابقة الخاصة لمصدر الليزر ونظام النفث ووحدة الأتمتة)، وصولًا إلى التدريب على التشغيل والصيانة لاحقًا والتحسين المستمر للعمليات. وتتمتع العملية بأكملها بدعم فني احترافي من فريقنا الفني. واستنادًا إلى خبرتنا الممتدة لعشرين عامًا في مجال الآلات الدقيقة، نقدم حلولًا شاملة تشمل التحقق من المعدات، وطرح الإنتاج الضخم، والاستجابة السريعة لما بعد البيع (دعم فني على مدار الساعة + احتياطي من قطع الغيار الرئيسية) لمختلف الصناعات مثل أشباه الموصلات والقطاع الطبي، ونعد بضمان لمدة 12 شهرًا وخدمة صيانة وترقية مدى الحياة. نضمن أن تحافظ معدات العميل دائمًا على أداء واستقرار معالجة رائدين في الصناعة.