ركائز SiC من النوع N على Si المركبة بقطر 6 بوصات
| 等级درجة | يو 级 | ص | د |
| درجة اضطراب الشخصية الحدية المنخفضة | درجة الإنتاج | درجة وهمية | |
| 直径القطر | 150.0 مم ± 0.25 مم | ||
| 厚度سماكة | 500 ميكرومتر ± 25 ميكرومتر | ||
| 晶片方向اتجاه الرقاقة | خارج المحور: 4.0 درجة باتجاه < 11-20 > ±0.5 درجة لـ 4H-N على المحور: <0001>±0.5 درجة لـ 4H-SI | ||
| 主定位边方向شقة أساسية | {10-10}±5.0 درجة | ||
| 主定位边长度طول المسطح الأساسي | 47.5 مم ± 2.5 مم | ||
| 边缘استبعاد الحافة | 3 مم | ||
| المزيد من المنتجات/弯曲度/翘曲度 TTV/القوس /الاعوجاج | ≤15 ميكرومتر / ≤40 ميكرومتر / ≤60 ميكرومتر | ||
| 微管密度和基面位错اضطراب الشخصية الحدية واضطراب الشخصية الحدية | MPD ≤ 1 سم-2 | MPD ≤ 5 سم-2 | MPD ≤ 15 سم-2 |
| BPD ≤1000 سم-2 | |||
| 电阻率المقاومة | ≥1E5 Ω·سم | ||
| شكرا جزيلاخشونة | البولندية Ra ≤1 نانومتر | ||
| CMP Ra≤0.5 نانومتر | |||
| 纹(强光灯观测) # | لا أحد | الطول التراكمي ≤10 مم، الطول الفردي ≤2 مم | |
| الشقوق الناتجة عن الضوء عالي الكثافة | |||
| 六方空洞(强光灯观测)* | المساحة التراكمية ≤1% | المساحة التراكمية ≤5% | |
| ألواح سداسية من الضوء عالي الكثافة | |||
| 多型(强光灯观测)* | لا أحد | المساحة التراكمية ≤5% | |
| مناطق البولي تايب بواسطة ضوء عالي الكثافة | |||
| 划痕(强光灯观测)*& | 3 خدوش إلى 1 × قطر رقاقة | 5 خدوش إلى 1 × قطر رقاقة | |
| الخدوش الناتجة عن الضوء عالي الكثافة | الطول التراكمي | الطول التراكمي | |
| 崩边# شريحة الحافة | لا أحد | 5 مسموح بها، ≤1 مم لكل منها | |
| 表面污染物(强光灯观测) | لا أحد | ||
| التلوث بالضوء عالي الكثافة | |||
مخطط تفصيلي
