تنقسم ركيزة كربيد السيليكون إلى نوع شبه عازل ونوع موصل. في الوقت الحاضر، المواصفات السائدة لمنتجات ركيزة كربيد السيليكون شبه المعزولة هي 4 بوصات. في سوق كربيد السيليكون الموصل، تبلغ مواصفات منتج الركيزة السائدة حاليًا 6 بوصات.
نظرًا للتطبيقات النهائية في مجال الترددات اللاسلكية، تخضع ركائز SiC والمواد الفوقي شبه المعزولة لمراقبة الصادرات من قبل وزارة التجارة الأمريكية. تعتبر SiC شبه المعزولة كركيزة هي المادة المفضلة لـ GaN heteroepitaxy ولها آفاق تطبيق مهمة في مجال الموجات الدقيقة. بالمقارنة مع عدم التطابق البلوري للياقوت 14% وSi 16.9%، فإن عدم التطابق البلوري لمواد SiC وGN يبلغ 3.4% فقط. إلى جانب التوصيل الحراري العالي للغاية لـ SiC، تتمتع أجهزة الميكروويف LED عالية الكفاءة في استخدام الطاقة وGaN ذات التردد العالي والطاقة العالية التي أعدتها بمزايا رائعة في الرادار ومعدات الميكروويف عالية الطاقة وأنظمة اتصالات 5G.
لقد كان البحث والتطوير للركيزة شبه المعزولة من SiC دائمًا محور البحث والتطوير للركيزة البلورية المفردة من SiC. هناك نوعان من الصعوبات الرئيسية في زراعة مواد كربيد السيليكون شبه المعزولة:
1) تقليل الشوائب المانحة N التي يتم إدخالها عن طريق بوتقة الجرافيت وامتصاص العزل الحراري وتعاطي المنشطات في المسحوق؛
2) مع ضمان الجودة والخواص الكهربائية للبلورة، يتم إدخال مركز مستوى عميق لتعويض الشوائب الضحلة المتبقية بالنشاط الكهربائي.
في الوقت الحاضر، الشركات المصنعة التي تتمتع بقدرة إنتاجية شبه معزولة من كربيد السيليكون هي بشكل أساسي SICC Co، Semisic Crystal Co، Tanke Blue Co، Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
يتم الحصول على بلورة SiC الموصلة عن طريق حقن النيتروجين في الغلاف الجوي المتنامي. يتم استخدام الركيزة الموصلة من كربيد السيليكون بشكل أساسي في تصنيع أجهزة الطاقة، وأجهزة طاقة كربيد السيليكون ذات الجهد العالي والتيار العالي ودرجة الحرارة العالية والتردد العالي والخسارة المنخفضة وغيرها من المزايا الفريدة، ستحسن بشكل كبير الاستخدام الحالي لطاقة أجهزة الطاقة القائمة على السيليكون كفاءة التحويل، لها تأثير كبير وبعيد المدى على مجال تحويل الطاقة بكفاءة. مجالات التطبيق الرئيسية هي السيارات الكهربائية/أكوام الشحن، الطاقة الكهروضوئية الجديدة، النقل بالسكك الحديدية، الشبكة الذكية وما إلى ذلك. نظرًا لأن المصب النهائي للمنتجات الموصلة هو بشكل أساسي أجهزة الطاقة في السيارات الكهربائية والخلايا الكهروضوئية وغيرها من المجالات، فإن احتمال التطبيق أوسع، والشركات المصنعة أكثر عددًا.
نوع بلورة كربيد السيليكون: يمكن تقسيم الهيكل النموذجي لأفضل كربيد السيليكون البلوري 4H إلى فئتين، أحدهما هو نوع بلوري كربيد السيليكون المكعب من هيكل السفاليريت، المعروف باسم 3C-SiC أو β-SiC، والآخر هو السداسي أو البنية الماسية للبنية ذات الفترة الكبيرة، والتي تعتبر نموذجية لـ 6H-SiC، و4H-sic، و15R-SiC، وما إلى ذلك، والمعروفة مجتمعة باسم α-SiC. يتمتع 3C-SiC بميزة المقاومة العالية في تصنيع الأجهزة. ومع ذلك، فإن عدم التطابق الكبير بين ثوابت شعرية Si وSiC ومعاملات التمدد الحراري يمكن أن يؤدي إلى عدد كبير من العيوب في الطبقة الفوقي 3C-SiC. يتمتع 4H-SiC بإمكانيات كبيرة في تصنيع الدوائر المتكاملة منخفضة المقاومة (MOSFET)، لأن عمليات نمو البلورات ونمو الطبقة الفوقية أكثر ممتازة، ومن حيث حركة الإلكترون، فإن 4H-SiC أعلى من 3C-SiC و6H-SiC، مما يوفر خصائص ميكروويف أفضل لـ 4H. -SiC MOSFETs.
في حالة وجود مخالفة، قم بحذف الاتصال
وقت النشر: 16 يوليو 2024