مزاياعبر الزجاج عبر (TGV)ومن خلال عمليات السيليكون فيا (TSV) عبر TGV بشكل أساسي:
(1) خصائص كهربائية عالية التردد ممتازة. مادة الزجاج مادة عازلة، وثابت العزل الكهربائي لها حوالي ثلث ثابت العزل الكهربائي في مادة السيليكون، وعامل الخسارة أقل بمقدار 2-3 مرات من عامل فقدان العزل الكهربائي في مادة السيليكون، مما يقلل بشكل كبير من فقدان الركيزة والتأثيرات الطفيلية، ويضمن سلامة الإشارة المرسلة.
(2)حجم كبير وركيزة زجاجية رقيقة للغايةمن السهل الحصول عليها. تستطيع شركات كورنينج وأساهي وشوت وغيرها من شركات تصنيع الزجاج توفير ألواح زجاجية فائقة الحجم (>2 متر × 2 متر) ورفيعة للغاية (<50 ميكرومتر)، بالإضافة إلى مواد زجاجية مرنة فائقة الرقة.
٣) تكلفة منخفضة. استفد من سهولة الحصول على ألواح زجاجية كبيرة الحجم ورقيقة للغاية، ولا تتطلب ترسيب طبقات عازلة، حيث تبلغ تكلفة إنتاج ألواح المحولات الزجاجية حوالي ثُمن تكلفة ألواح المحولات المصنوعة من السيليكون فقط؛
٤) عملية بسيطة. لا حاجة لتركيب طبقة عازلة على سطح الركيزة والجدار الداخلي للقطار فائق السرعة، ولا حاجة لخفض سمك لوحة المحول فائقة الرقة.
(5) ثبات ميكانيكي قوي. حتى مع سمك لوحة المحول أقل من 100 ميكرومتر، يظل الانحناء صغيرًا.
(6) مجموعة واسعة من التطبيقات، هي تقنية ربط طولية ناشئة يتم تطبيقها في مجال التعبئة والتغليف على مستوى الرقاقة، لتحقيق أقصر مسافة بين الرقاقة والرقاقة، يوفر الحد الأدنى من خطوة الربط مسارًا تقنيًا جديدًا، مع خصائص كهربائية وحرارية وميكانيكية ممتازة، في شريحة RF، وأجهزة استشعار MEMS الراقية، وتكامل النظام عالي الكثافة وغيرها من المجالات ذات المزايا الفريدة، هو الجيل التالي من 5G، 6G رقاقة عالية التردد ثلاثية الأبعاد وهو أحد الخيارات الأولى للتعبئة والتغليف ثلاثية الأبعاد لشرائح التردد العالي 5G و6G من الجيل التالي.
تتضمن عملية تشكيل TGV بشكل أساسي التفجير الرملي، والحفر بالموجات فوق الصوتية، والنقش الرطب، والنقش الأيوني التفاعلي العميق، والنقش الحساس للضوء، والنقش بالليزر، والنقش العميق المستحث بالليزر، وتشكيل فتحة التفريغ المركزة.
تُظهر نتائج البحث والتطوير الحديثة أن هذه التقنية قادرة على تحضير ثقوب عميقة وثقوب عمياء بنسبة 5:1، مع نسبة عمق إلى عرض 20:1، وتتميز ببنية جيدة. يُعدّ النقش العميق المُستحث بالليزر، والذي يُنتج خشونة سطحية منخفضة، أكثر الطرق دراسةً حاليًا. كما هو موضح في الشكل 1، توجد شقوق واضحة حول الحفر بالليزر العادي، بينما الجدران المحيطة والجانبية للنقش العميق المُستحث بالليزر نظيفة وناعمة.
عملية معالجةقطار فائق السرعةيظهر الفاصل في الشكل 2. تتمثل الخطة العامة في حفر ثقوب على الركيزة الزجاجية أولًا، ثم ترسيب طبقة حاجزة وطبقة بذرة على الجدار الجانبي والسطح. تمنع طبقة الحاجز انتشار النحاس إلى الركيزة الزجاجية، مع زيادة التصاقهما. وبالطبع، وجدت بعض الدراسات أن طبقة الحاجز غير ضرورية. بعد ذلك، يُرسَّب النحاس بالطلاء الكهربائي، ثم يُلَدَّن، وتُزال طبقة النحاس باستخدام تقنية CMP. وأخيرًا، تُحضَّر طبقة إعادة توصيل RDL باستخدام تقنية الطباعة الحجرية باستخدام طلاء PVD، وتُشكَّل طبقة التخميل بعد إزالة الغراء.
(أ) تحضير الرقاقة، (ب) تكوين TGV، (ج) الطلاء الكهربائي على الوجهين - ترسيب النحاس، (د) التلدين والتلميع الكيميائي الميكانيكي CMP، إزالة طبقة النحاس السطحية، (هـ) طلاء PVD والطباعة الحجرية، (و) وضع طبقة إعادة توصيل RDL، (ز) إزالة الغراء وحفر Cu/Ti، (ح) تكوين طبقة التخميل.
لتلخيص،ثقب الزجاج (TGV)آفاق التطبيق واسعة، والسوق المحلية الحالية في مرحلة النمو، من المعدات إلى تصميم المنتجات ومعدل نمو البحث والتطوير أعلى من المتوسط العالمي
في حالة وجود انتهاك، يرجى الاتصال بالحذف
وقت النشر: ١٦ يوليو ٢٠٢٤