ما هي مؤشرات تقييم جودة سطح الرقاقة؟

مع التطور المستمر لتكنولوجيا أشباه الموصلات، في صناعة أشباه الموصلات وحتى الصناعة الكهروضوئية، أصبحت متطلبات جودة سطح الرقاقة أو الصفائح الفوقية صارمة للغاية أيضًا.إذًا، ما هي متطلبات الجودة للرقائق؟إذا أخذنا رقائق الياقوت كمثال، ما هي المؤشرات التي يمكن استخدامها لتقييم جودة سطح الرقائق؟

ما هي مؤشرات تقييم الرقائق؟

المؤشرات الثلاثة
بالنسبة لرقائق الياقوت، مؤشرات التقييم الخاصة بها هي انحراف السمك الكلي (TTV)، والانحناء (القوس) والاعوجاج (الاعوجاج).تعكس هذه المعلمات الثلاثة معًا التسطيح وانتظام سمك رقاقة السيليكون، ويمكن قياس درجة تموج الرقاقة.يمكن دمج التموج مع التسطيح لتقييم جودة سطح الرقاقة.

hh5

ما هو TTV، BOW، الاعوجاج؟
TTV (إجمالي تباين السُمك)

hh8

TTV هو الفرق بين الحد الأقصى والحد الأدنى لسمك الرقاقة.هذه المعلمة هي مؤشر مهم يستخدم لقياس تجانس سمك الرقاقة.في عملية أشباه الموصلات، يجب أن يكون سمك الرقاقة موحدًا جدًا على السطح بأكمله.يتم إجراء القياسات عادة في خمسة مواقع على الرقاقة ويتم حساب الفرق.وفي نهاية المطاف، تعتبر هذه القيمة أساسًا مهمًا للحكم على جودة الرقاقة.

قَوس

hh7

يشير القوس في صناعة أشباه الموصلات إلى انحناء الرقاقة، مما يحرر المسافة بين نقطة منتصف الرقاقة غير المثبتة والمستوى المرجعي.ربما تأتي الكلمة من وصف شكل الجسم عند ثنيه، مثل الشكل المنحني للقوس.يتم تحديد قيمة القوس عن طريق قياس الانحراف بين مركز وحافة رقاقة السيليكون.يتم التعبير عن هذه القيمة عادة بالميكرومتر (ميكرومتر).

اعوجاج

hh6

Warp هي خاصية عالمية للرقائق تقيس الفرق بين الحد الأقصى والأدنى للمسافة بين منتصف الرقاقة غير المثبتة بحرية والمستوى المرجعي.يمثل المسافة من سطح رقاقة السيليكون إلى المستوى.

ب-الموافقة المسبقة عن علم

ما الفرق بين TTV وBow وWarp؟

يركز TTV على التغيرات في السُمك ولا يهتم بثني الرقاقة أو تشويهها.

يركز القوس على الانحناء العام، مع الأخذ في الاعتبار بشكل أساسي انحناء النقطة المركزية والحافة.

يعد الالتواء أكثر شمولاً، بما في ذلك ثني ولف سطح الرقاقة بالكامل.

على الرغم من أن هذه المعلمات الثلاثة مرتبطة بالشكل والخصائص الهندسية لرقاقة السيليكون، إلا أنه يتم قياسها ووصفها بشكل مختلف، ويختلف أيضًا تأثيرها على عملية أشباه الموصلات ومعالجة الرقاقة.

كلما كانت المعلمات الثلاثة أصغر، كان ذلك أفضل، وكلما كانت المعلمة أكبر، زاد التأثير السلبي على عملية أشباه الموصلات.لذلك، كممارس لأشباه الموصلات، يجب علينا أن ندرك أهمية معلمات ملف تعريف الرقاقة لعملية العملية برمتها، والقيام بعملية أشباه الموصلات، ويجب الاهتمام بالتفاصيل.

(الرقابة)


وقت النشر: 24 يونيو 2024