دبابيس رفع من الياقوت الفاخر دبوس رفع رقاقة Al₂O₃ أحادي البلورة

١. صلابة استثنائية ومقاومة فائقة للتآكل: بتصنيف صلابة موس ٩، وهو الثاني بعد الماس، تُظهر دبابيس رفع الياقوت خصائص تآكل تتفوق بشكل كبير على بدائل كربيد السيليكون أو سيراميك الألومينا أو السبائك المعدنية التقليدية. تُترجم هذه الصلابة الفائقة إلى انخفاض كبير في متطلبات توليد الجسيمات وصيانتها، مع عمر افتراضي أطول عادةً من ٣ إلى ٥ مرات من المواد التقليدية في التطبيقات المماثلة.

٢. مقاومة فائقة لدرجات الحرارة العالية: صُممت دبابيس رفع Sapphire لتحمل التشغيل المستمر في درجات حرارة تتجاوز ١٠٠٠ درجة مئوية دون أي تدهور، وتحافظ على ثبات أبعادها ومتانتها الميكانيكية في أصعب العمليات الحرارية. هذا يجعلها قيّمة بشكل خاص في التطبيقات الحرجة مثل الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الكيميائي للبخار المعدني العضوي (MOCVD)، وأنظمة التلدين عالية الحرارة حيث قد يؤثر عدم تطابق التمدد الحراري سلبًا على إنتاجية العملية.

٣. الخمول الكيميائي: يُظهر هيكل الياقوت أحادي البلورة مقاومةً ملحوظةً لتأثير حمض الهيدروفلوريك، والمركبات الكيميائية القائمة على الكلور، وغيرها من غازات المعالجة العدوانية الشائعة في تصنيع أشباه الموصلات. يضمن هذا الاستقرار الكيميائي أداءً ثابتًا في بيئات البلازما، ويمنع تكوّن عيوب سطحية قد تؤدي إلى تلوث الرقاقة.

٤. تلوث جسيمات منخفض: صُنعت هذه المسامير الرافعة من بلورات ياقوتية عالية النقاء وخالية من العيوب (عادةً ما تكون نقائها أكبر من ٩٩٫٩٩٪)، وتتميز بانخفاض تساقط الجسيمات حتى بعد الاستخدام المطول. يلبي هيكلها السطحي غير المسامي وتشطيباتها المصقولة أعلى متطلبات غرف العمليات النظيفة، مما يُسهم بشكل مباشر في تحسين إنتاجية عمليات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.

تصنيع عالي الدقة: باستخدام تقنيات طحن الماس المتقدمة والمعالجة بالليزر، يمكن إنتاج دبابيس رفع الياقوت بتفاوتات أقل من الميكرون وتشطيبات سطحية أقل من 0.05 ميكرومتر را. يمكن تصميم أشكال هندسية مخصصة، بما في ذلك مقاطع مدببة، وتكوينات خاصة للأطراف، وميزات محاذاة متكاملة، لمواجهة تحديات مناولة الرقائق المحددة في معدات التصنيع من الجيل التالي.