صينية ظرف سيراميك من كربيد السيليكون، أكواب شفط سيراميكية، تصنيع دقيق حسب الطلب

وصف مختصر:

يُعدّ حامل الرقاقات الخزفي المصنوع من كربيد السيليكون خيارًا مثاليًا لتصنيع أشباه الموصلات نظرًا لصلابته العالية، وموصليته الحرارية الممتازة، وثباته الكيميائي الفائق. كما يضمن سطحه المستوي تمامًا تلامسًا كاملًا بين الرقاقة والحامل، مما يقلل من التلوث والتلف. وتجعله مقاومته العالية للحرارة والتآكل مناسبًا لبيئات التصنيع القاسية. في الوقت نفسه، يساهم تصميمه خفيف الوزن وعمره الطويل في خفض تكاليف الإنتاج، مما يجعله مكونًا أساسيًا لا غنى عنه في عمليات قطع الرقاقات وتلميعها وطباعتها وغيرها من العمليات.


سمات

خصائص المادة:

1. صلابة عالية: تبلغ صلابة كربيد السيليكون على مقياس موس 9.2-9.5، وهي ثاني أعلى صلابة بعد الماس، مع مقاومة قوية للتآكل.
2. الموصلية الحرارية العالية: تصل الموصلية الحرارية لكربيد السيليكون إلى 120-200 واط/م·ك، مما يسمح بتبديد الحرارة بسرعة وهو مناسب للبيئات ذات درجات الحرارة العالية.
3. معامل التمدد الحراري المنخفض: معامل التمدد الحراري لكربيد السيليكون منخفض (4.0-4.5×10⁻⁶/K)، ويمكنه الحفاظ على استقرار الأبعاد عند درجات الحرارة العالية.
4. الاستقرار الكيميائي: مقاومة كربيد السيليكون للتآكل الحمضي والقلوي، مناسب للاستخدام في بيئة كيميائية أكالة.
5. قوة ميكانيكية عالية: يتميز كربيد السيليكون بقوة انحناء عالية وقوة ضغط عالية، ويمكنه تحمل إجهاد ميكانيكي كبير.

سمات:

1. في صناعة أشباه الموصلات، يجب وضع الرقائق الرقيقة للغاية على كوب شفط فراغي، ويتم استخدام الشفط الفراغي لتثبيت الرقائق، ويتم إجراء عملية التشميع والترقيق والتنظيف والقطع على الرقائق.
2. يتميز ماصة كربيد السيليكون بموصلية حرارية جيدة، ويمكنها تقصير وقت التشميع بشكل فعال، وتحسين كفاءة الإنتاج.
3. يتميز جهاز شفط الفراغ المصنوع من كربيد السيليكون أيضًا بمقاومة جيدة للتآكل الناتج عن الأحماض والقلويات.
4. بالمقارنة مع لوحة حامل الكوروندوم التقليدية، فإنها تقلل من وقت التسخين والتبريد أثناء التحميل والتفريغ، وتحسن كفاءة العمل؛ وفي الوقت نفسه، يمكنها تقليل التآكل بين الألواح العلوية والسفلية، والحفاظ على دقة سطح جيدة، وإطالة عمر الخدمة بنسبة 40٪ تقريبًا.
5. نسبة المواد صغيرة وخفيفة الوزن. يسهل على المشغلين حمل المنصات، مما يقلل من خطر التلف الناتج عن الاصطدام بسبب صعوبات النقل بنسبة 20% تقريبًا.
6. الحجم: أقصى قطر 640 مم؛ التسطيح: 3 ميكرومتر أو أقل

مجال التطبيق:

1. تصنيع أشباه الموصلات
● معالجة الرقاقات:
يُستخدم لتثبيت الرقاقات في عمليات الطباعة الضوئية، والحفر، وترسيب الأغشية الرقيقة، وغيرها من العمليات، مما يضمن دقة عالية واتساقًا في العملية. كما أن مقاومته العالية للحرارة والتآكل تجعله مناسبًا لبيئات تصنيع أشباه الموصلات القاسية.
●النمو فوق المحوري:
في نمو طبقات السيليكون كاربيد أو الغاليوم نتريد، كحامل لتسخين وتثبيت الرقائق، مما يضمن توحيد درجة الحرارة وجودة البلورة في درجات الحرارة العالية، مما يحسن أداء الجهاز.
2. المعدات الكهروضوئية
● تصنيع مصابيح LED:
يستخدم لتثبيت ركيزة الياقوت أو كربيد السيليكون، وكحامل تسخين في عملية MOCVD، لضمان توحيد النمو الطبقي، وتحسين كفاءة وجودة الإضاءة في مصابيح LED.
● الصمام الثنائي الليزري:
باعتبارها أداة تثبيت عالية الدقة، تقوم بتثبيت وتسخين الركيزة لضمان استقرار درجة حرارة العملية، وتحسين طاقة الإخراج وموثوقية الصمام الثنائي الليزري.
3. التصنيع الدقيق
● معالجة المكونات البصرية:
يُستخدم لتثبيت المكونات الدقيقة مثل العدسات البصرية والمرشحات لضمان دقة عالية وتلوث منخفض أثناء المعالجة، وهو مناسب للتشغيل عالي الكثافة.
● معالجة السيراميك:
باعتبارها أداة تثبيت عالية الاستقرار، فهي مناسبة للتشغيل الدقيق للمواد الخزفية لضمان دقة التشغيل واتساقه في ظل درجات الحرارة العالية والبيئة المسببة للتآكل.
4. التجارب العلمية
● تجربة درجة الحرارة العالية:
باعتباره جهاز تثبيت العينات في بيئات ذات درجات حرارة عالية، فإنه يدعم التجارب التي تُجرى في درجات حرارة قصوى تزيد عن 1600 درجة مئوية لضمان توحيد درجة الحرارة واستقرار العينة.
● اختبار الفراغ:
كحامل لتثبيت العينات وتسخينها في بيئة مفرغة من الهواء، لضمان دقة التجربة وقابليتها للتكرار، وهو مناسب للطلاء الفراغي والمعالجة الحرارية.

المواصفات الفنية:

(خاصية مادية)

(وحدة)

(ssic)

(محتوى كربيد السيليكون)

 

(وزن)٪

>99

(متوسط ​​حجم الحبوب)

 

ميكرون

4-10

(كثافة)

 

كجم/ديسيمتر مكعب

>3.14

(المسامية الظاهرية)

 

Vo1%

<0.5

(صلابة فيكرز)

HV 0.5

معدل تراكمي

28

(قوة الانحناء)
* (ثلاث نقاط)

20 درجة مئوية

ميجا باسكال

450

(قوة الضغط)

20 درجة مئوية

ميجا باسكال

3900

(معامل المرونة)

20 درجة مئوية

معدل تراكمي

420

(صلابة الكسر)

 

ميجا باسكال/م'%

3.5

(التوصيل الحراري)

20 درجة مئوية

واط/(م*ك)

160

(المقاومة الكهربائية)

20 درجة مئوية

أوم.سم

106-108


(معامل التمدد الحراري)

أ(RT**...80ºC)

K-1*10-6

4.3


(أقصى درجة حرارة تشغيل)

 

درجة مئوية

1700

بفضل سنوات من الخبرة التقنية والصناعية، تستطيع XKH تصميم معايير أساسية، كالحجم وطريقة التسخين وتصميم الامتزاز الفراغي، لظرف التثبيت وفقًا لاحتياجات العميل، ما يضمن ملاءمة المنتج تمامًا لعملياته. أصبحت ظروف تثبيت سيراميك كربيد السيليكون (SiC) مكونات لا غنى عنها في معالجة الرقائق، والنمو الطبقي، وغيرها من العمليات الرئيسية، نظرًا لموصليتها الحرارية الممتازة، وثباتها العالي في درجات الحرارة المرتفعة، واستقرارها الكيميائي. ويتزايد الطلب على ظروف تثبيت سيراميك كربيد السيليكون باستمرار، لا سيما في تصنيع مواد أشباه الموصلات من الجيل الثالث، مثل كربيد السيليكون (SiC) ونيتريد الغاليوم (GaN). وفي المستقبل، ومع التطور السريع لتقنيات الجيل الخامس (5G)، والمركبات الكهربائية، والذكاء الاصطناعي، وغيرها، ستتسع آفاق استخدام ظروف تثبيت سيراميك كربيد السيليكون في صناعة أشباه الموصلات.

الصورة3
الصورة 2
الصورة1
الصورة4

رسم تخطيطي مفصل

ظرف سيراميك SiC 6
ظرف سيراميك SiC 5
ظرف سيراميك SiC 4

  • سابق:
  • التالي:

  • اكتب رسالتك هنا وأرسلها إلينا