صينية تثبيت سيراميك SiC وأكواب شفط سيراميك وتصنيع دقيق حسب الطلب
خصائص المواد:
1. صلابة عالية: صلابة موس لكربيد السيليكون هي 9.2-9.5، وهي الثانية بعد الماس، مع مقاومة قوية للتآكل.
2. الموصلية الحرارية العالية: تصل الموصلية الحرارية لكربيد السيليكون إلى 120-200 واط/م·ك، مما يمكنه تبديد الحرارة بسرعة وهو مناسب للبيئة ذات درجات الحرارة العالية.
3. معامل التمدد الحراري المنخفض: معامل التمدد الحراري لكربيد السيليكون منخفض (4.0-4.5×10⁻⁶/K)، ولا يزال بإمكانه الحفاظ على الاستقرار الأبعادي في درجات الحرارة العالية.
4. الاستقرار الكيميائي: مقاومة حمض كربيد السيليكون والتآكل القلوي، ومناسبة للاستخدام في بيئة التآكل الكيميائي.
5. قوة ميكانيكية عالية: يتمتع كربيد السيليكون بقوة انحناء وقوة ضغط عالية، ويمكنه تحمل الضغوط الميكانيكية الكبيرة.
سمات:
1. في صناعة أشباه الموصلات، هناك حاجة إلى وضع رقائق رقيقة للغاية على كأس شفط مفرغ من الهواء، ويتم استخدام الشفط المفرغ لتثبيت الرقائق، ويتم تنفيذ عملية الشمع والتخفيف والتشمع والتنظيف والقطع على الرقائق.
2. تتمتع مصاصة كربيد السيليكون بموصلية حرارية جيدة، ويمكنها تقصير وقت الشمع والتشمع بشكل فعال، وتحسين كفاءة الإنتاج.
3. تتمتع مصاصة الفراغ المصنوعة من كربيد السيليكون أيضًا بمقاومة جيدة للتآكل الحمضي والقلوي.
4. بالمقارنة مع لوحة حاملة الكوراندوم التقليدية، يتم تقصير وقت التحميل والتفريغ والتسخين والتبريد، وتحسين كفاءة العمل؛ في الوقت نفسه، يمكن أن يقلل من التآكل بين اللوحات العلوية والسفلية، والحفاظ على دقة الطائرة الجيدة، وإطالة عمر الخدمة بنحو 40٪.
٥. نسبة المواد صغيرة وخفيفة الوزن، مما يُسهّل على المشغلين حمل المنصات، مما يُقلل من خطر الاصطدام الناتج عن صعوبات النقل بنسبة ٢٠٪ تقريبًا.
6. الحجم: الحد الأقصى للقطر 640 مم؛ التسطح: 3 ميكرومتر أو أقل
مجال التطبيق:
1. تصنيع أشباه الموصلات
●معالجة الرقاقة:
لتثبيت الرقاقات في الطباعة الضوئية، والحفر، وترسيب الأغشية الرقيقة، وغيرها من العمليات، مما يضمن دقة عالية وتناسقًا في العملية. مقاومته العالية للحرارة والتآكل مناسبة لبيئات تصنيع أشباه الموصلات القاسية.
●النمو الطبقي:
في النمو الطبقي SiC أو GaN، كحامل لتسخين وتثبيت الرقائق، مما يضمن توحيد درجة الحرارة وجودة البلورة في درجات الحرارة العالية، وتحسين أداء الجهاز.
2. المعدات الكهروضوئية
●تصنيع الصمام:
يتم استخدامه لتثبيت الياقوت أو ركيزة SiC، وكحامل تسخين في عملية MOCVD، لضمان اتساق النمو الطبقي، وتحسين كفاءة وجودة إضاءة LED.
●ثنائي الليزر:
كتركيبة عالية الدقة، وركيزة التثبيت والتسخين لضمان استقرار درجة حرارة العملية، وتحسين طاقة الإخراج وموثوقية الصمام الثنائي الليزر.
3. التصنيع الدقيق
●معالجة المكونات البصرية:
يتم استخدامه لتثبيت المكونات الدقيقة مثل العدسات البصرية والمرشحات لضمان الدقة العالية والتلوث المنخفض أثناء المعالجة، وهو مناسب للتصنيع عالي الكثافة.
●معالجة السيراميك:
باعتبارها تركيبًا عالي الاستقرار، فهي مناسبة للتصنيع الدقيق للمواد الخزفية لضمان دقة التصنيع وتناسقه في ظل درجات الحرارة العالية والبيئة المسببة للتآكل.
4. التجارب العلمية
●تجربة درجة الحرارة العالية:
باعتباره جهاز تثبيت للعينات في البيئات ذات درجات الحرارة العالية، فهو يدعم تجارب درجات الحرارة القصوى التي تزيد عن 1600 درجة مئوية لضمان اتساق درجة الحرارة واستقرار العينة.
●اختبار الفراغ:
كحامل لتثبيت العينة وتسخينها في بيئة الفراغ، لضمان دقة وإمكانية تكرار التجربة، ومناسبة للطلاء الفراغي والمعالجة الحرارية.
المواصفات الفنية:
| (الملكية المادية) | (وحدة) | (هكذا) | |
| (محتوى SiC) |
| (وزن)% | >99 |
| (متوسط حجم الحبوب) |
| ميكرون | 4-10 |
| (كثافة) |
| كجم/دسم3 | >3.14 |
| (المسامية الظاهرة) |
| 1% من الأكسجين | <0.5 |
| (صلادة فيكرز) | الجهد العالي 0.5 | المعدل التراكمي | 28 |
| *(قوة الانحناء) | 20 درجة مئوية | ميجا باسكال | 450 |
| (قوة الضغط) | 20 درجة مئوية | ميجا باسكال | 3900 |
| (معامل المرونة) | 20 درجة مئوية | المعدل التراكمي | 420 |
| (صلابة الكسر) |
| ميجا باسكال/م³% | 3.5 |
| (التوصيل الحراري) | 20 درجة مئوية | و/(م*ك) | 160 |
| (المقاومة) | 20 درجة مئوية | أوم.سم | 106-108 |
|
| أ(RT**...80 درجة مئوية) | ك-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| درجة مئوية | 1700 |
بفضل سنوات من الخبرة التقنية والصناعية، تُمكّن XKH من تصميم معايير رئيسية، مثل حجم وطريقة التسخين وتصميم الامتزاز الفراغي، وفقًا لاحتياجات العميل المحددة، مما يضمن ملاءمة المنتج تمامًا لعملية العميل. أصبحت خراطيش سيراميك كربيد السيليكون SiC مكونات لا غنى عنها في معالجة الرقاقات، والنمو الطبقي، وغيرها من العمليات الرئيسية، نظرًا لموصليتها الحرارية الممتازة، واستقرارها في درجات الحرارة العالية، وثباتها الكيميائي. ولا سيما في تصنيع مواد أشباه الموصلات من الجيل الثالث، مثل SiC وGaN، يستمر الطلب على خراطيش سيراميك كربيد السيليكون في النمو. وفي المستقبل، ومع التطور السريع لتقنيات الجيل الخامس، والمركبات الكهربائية، والذكاء الاصطناعي، وغيرها من التقنيات، ستتسع آفاق تطبيق خراطيش سيراميك كربيد السيليكون في صناعة أشباه الموصلات.
مخطط تفصيلي
