كذا SIC Ceramic Chuck Tray Cups Cups Cups Precision Machining مخصصة
خصائص المواد:
1. الصلابة العالية: صلابة Mohs من كربيد السيليكون هي 9.2-9.5 ، في المرتبة الثانية فقط إلى الماس ، مع مقاومة لبس قوية.
2. الموصلية الحرارية العالية: الموصلية الحرارية لكربريد السيليكون تصل إلى 120-200 واط/م ، والتي يمكن أن تبدد الحرارة بسرعة وهي مناسبة لبيئة درجة الحرارة العالية.
3. معامل التمدد الحراري المنخفض: لا يزال معامل التمدد الحراري للسيليكون منخفض (4.0-4.5 × 10⁻⁶/ك) ، لا يزال بإمكانه الحفاظ على الاستقرار الأبعاد عند درجة حرارة عالية.
4. الاستقرار الكيميائي: حمض كاربريد السيليكون ومقاومة التآكل القلوية ، مناسبة للاستخدام في بيئة التآكل الكيميائي.
5. القوة الميكانيكية العالية: كربيد السيليكون لديه قوة الانحناء العالية وقوة الضغط ، ويمكنها تحمل الإجهاد الميكانيكي الكبير.
سمات:
1. في صناعة أشباه الموصلات ، يجب وضع رقائق رقيقة للغاية على كوب شفط فراغ ، ويتم استخدام شفط الفراغ لإصلاح الرقاقات ، ويتم إجراء عملية الشمع والتخفيف والشمع والتنظيف والقطع على الرقاقات.
2. Silicon Carbide Sucker لديه توصيل حراري جيد ، يمكن أن يقصر بشكل فعال وقت الصبح والشمع ، وتحسين كفاءة الإنتاج.
3. Silicon Carbide Carbide Sucker لديه أيضًا مقاومة جيدة للحمض والتآكل القلوي.
4. Compared مع لوحة حامل Corundum التقليدية ، تقصير التحميل وتفريغ وقت التدفئة والتبريد ، وتحسين كفاءة العمل ؛ في الوقت نفسه ، يمكن أن يقلل من التآكل بين اللوحات العلوية والسفلية ، والحفاظ على دقة الطائرة الجيدة ، وتمديد عمر الخدمة بنحو 40 ٪.
5. نسبة المواد صغيرة ، خفيفة الوزن. من الأسهل على المشغلين حمل المنصات ، مما يقلل من خطر تلف التصادم الناجم عن صعوبات النقل بنحو 20 ٪.
6. الحجم: الحد الأقصى للقطر 640mm ؛ التسطيح: 3um أو أقل
حقل التطبيق:
1. تصنيع أشباه الموصلات
● معالجة الرقاقة:
لتثبيت الرقاقة في التصوير الفوتوغرافي الضوئي ، والحفر ، وترسب الأفلام الرقيقة وغيرها من العمليات ، وضمان دقة عالية واتساق العملية. مقاومة درجة الحرارة المرتفعة والمقاومة للتآكل مناسبة لبيئات تصنيع أشباه الموصلات القاسية.
● النمو الفوقي:
في نمو SIC أو GAN الفوقي ، كحامل لتسخين وإصلاح الرقاقات ، مما يضمن توحيد درجة الحرارة وجودة البلورة في درجات حرارة عالية ، مما يؤدي إلى تحسين أداء الجهاز.
2. المعدات الكهروضوئية
● تصنيع LED:
تستخدم لإصلاح الركيزة الياقوت أو كذا ، وكحاملة تسخين في عملية MOCVD ، لضمان توحيد النمو الفوقي ، وتحسين الكفاءة والجودة المضيئة LED.
● الصمام الثنائي بالليزر:
بصفتها مجموعة من الدقة العالية ، قم بتثبيت الركيزة وتسخينها لضمان استقرار درجة حرارة العملية ، وتحسين طاقة الخرج وموثوقية الصمام الثنائي بالليزر.
3
● معالجة المكون البصري:
يتم استخدامه لتثبيت مكونات الدقة مثل العدسات البصرية والمرشحات لضمان دقة عالية وانخفاض التلوث أثناء المعالجة ، وهي مناسبة للآلات عالية الكثافة.
● معالجة السيراميك:
باعتباره لاعبا أساسيا في الثبات ، فهي مناسبة للآلية الدقيقة للمواد الخزفية لضمان دقة الآلات والاتساق تحت درجة حرارة عالية وبيئة تآكل.
4. التجارب العلمية
● تجربة درجات الحرارة العالية:
كجهاز تثبيت عينة في بيئات درجات الحرارة العالية ، فإنه يدعم تجارب درجات الحرارة القصوى فوق 1600 درجة مئوية لضمان توحيد درجة الحرارة واستقرار العينة.
● اختبار الفراغ:
كحامل تثبيت وتدفئة عينة في بيئة الفراغ ، لضمان دقة وتكرار التجربة ، مناسبة لطلاء الفراغ والمعالجة الحرارية.
المواصفات الفنية ：
| (خاصية المواد) | (وحدة) | (SSIC) | |
| (محتوى كذا) |
| (بالوزن) ٪ | > 99 |
| (متوسط حجم الحبوب) |
| ميكرون | 4-10 |
| (كثافة) |
| kg/dm3 | > 3.14 |
| (مسامية ظاهرة) |
| VO1 ٪ | <0.5 |
| (صلابة فيكرز) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *(قوة الانثناء) | 20 درجة مئوية | MPA | 450 |
| (قوة الضغط) | 20 درجة مئوية | MPA | 3900 |
| (معامل مرن) | 20 درجة مئوية | GPA | 420 |
| (صلابة الكسر) |
| MPA/M '٪ | 3.5 |
| (الموصلية الحرارية) | 20 درجة مئوية | ث/(م*ك) | 160 |
| (المقاومة) | 20 درجة مئوية | Ohm.cm | 106-108 |
|
| A (RT ** ... 80 درجة مئوية) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| OºC | 1700 |
مع سنوات من التراكم التقني وخبرة الصناعة ، فإن XKH قادرة على تخصيص المعلمات الرئيسية مثل الحجم وطريقة التدفئة وتصميم امتصاص الفراغ في Chuck وفقًا للاحتياجات المحددة للعميل ، مما يضمن تكييف المنتج تمامًا مع عملية العميل. أصبحت الخزانة السيليكون السيليكون كربيد مكونات لا غنى عنها في معالجة الرقاقة والنمو الفوقي والعمليات الرئيسية الأخرى بسبب الموصلية الحرارية الممتازة واستقرار درجة الحرارة العالية والاستقرار الكيميائي. خاصة في تصنيع مواد أشباه الموصلات من الجيل الثالث مثل SIC و GAN ، يستمر الطلب على ركوب السيراميك السيليكون في النمو. في المستقبل ، مع التطور السريع لـ 5G ، والسيارات الكهربائية والذكاء الاصطناعي والتقنيات الأخرى ، ستكون آفاق تطبيق Cilicon Carbide Ceramic chucks في صناعة أشباه الموصلات أوسع.
رسم تخطيطي مفصل
