لوحة/صينية سيراميكية من كربيد السيليكون لحامل رقائق السيليكون مقاس 4 بوصات و6 بوصات لتقنية ICP

وصف مختصر:

تُعدّ صفيحة السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون (SiC) مكونًا عالي الأداء، مُصنّعًا من كربيد السيليكون عالي النقاء، ومُصممًا للاستخدام في بيئات حرارية وكيميائية وميكانيكية قاسية. تشتهر هذه الصفيحة بصلابتها الاستثنائية، وموصليتها الحرارية العالية، ومقاومتها للتآكل، وتُستخدم على نطاق واسع كحامل للرقائق، أو مُستقبِل، أو مُكوّن هيكلي في صناعات أشباه الموصلات، ومصابيح LED، والخلايا الكهروضوئية، والفضاء.

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا

سمات

ملخص لوحة سيراميك كربيد السيليكون

بفضل استقرارها الحراري المتميز حتى 1600 درجة مئوية ومقاومتها الفائقة للغازات التفاعلية وبيئات البلازما، تضمن صفيحة كربيد السيليكون أداءً ثابتًا أثناء عمليات الحفر والترسيب والانتشار في درجات الحرارة العالية. كما أن بنيتها المجهرية الكثيفة غير المسامية تقلل من توليد الجسيمات، مما يجعلها مثالية للتطبيقات فائقة النظافة في بيئات الفراغ أو غرف الأبحاث النظيفة.

تطبيق ألواح السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون

1. تصنيع أشباه الموصلات

تُستخدم ألواح سيراميك كربيد السيليكون (SiC) على نطاق واسع كحوامل للرقائق، وقواعد تثبيت، وألواح أساسية في معدات تصنيع أشباه الموصلات، مثل أنظمة الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) وأنظمة الحفر. تتيح موصليتها الحرارية الممتازة وتمددها الحراري المنخفض الحفاظ على توزيع متجانس لدرجة الحرارة، وهو أمر بالغ الأهمية لمعالجة الرقائق بدقة عالية. كما تضمن مقاومة كربيد السيليكون للغازات والبلازما المسببة للتآكل متانته في البيئات القاسية، مما يُسهم في تقليل تلوث الجسيمات وصيانة المعدات.

2. صناعة مصابيح LED - الحفر بتقنية ICP

في قطاع تصنيع مصابيح LED، تُعدّ ألواح كربيد السيليكون (SiC) مكونات أساسية في أنظمة الحفر بالبلازما المقترنة حثيًا (ICP). فهي بمثابة حوامل للرقائق، وتوفر منصة مستقرة ومقاومة للحرارة لدعم رقائق الياقوت أو نتريد الغاليوم (GaN) أثناء معالجة البلازما. وتساعد مقاومتها الممتازة للبلازما، ونعومة سطحها، وثبات أبعادها على ضمان دقة عالية وتجانس في عملية الحفر، مما يؤدي إلى زيادة الإنتاجية وتحسين أداء أجهزة LED.

3. الخلايا الكهروضوئية والطاقة الشمسية

تُستخدم ألواح سيراميك كربيد السيليكون أيضًا في إنتاج الخلايا الشمسية، لا سيما خلال مراحل التلبيد والتلدين عند درجات حرارة عالية. ويضمن خمولها عند درجات الحرارة المرتفعة ومقاومتها للتشوه معالجة متسقة لرقائق السيليكون. إضافةً إلى ذلك، يُعد انخفاض خطر التلوث فيها أمرًا بالغ الأهمية للحفاظ على كفاءة الخلايا الكهروضوئية.

خصائص ألواح السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون

1. قوة وصلابة ميكانيكية استثنائية

تتميز ألواح السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون بقوة ميكانيكية عالية جدًا، حيث تتجاوز قوة الانحناء النموذجية 400 ميجا باسكال، وتصل صلابة فيكرز إلى أكثر من 2000 HV. وهذا يجعلها مقاومة للغاية للتآكل الميكانيكي والتآكل والتشوه، مما يضمن عمرًا تشغيليًا طويلًا حتى في ظل الأحمال العالية أو دورات التبريد والتسخين المتكررة.

2. موصلية حرارية عالية

يتميز كربيد السيليكون بموصلية حرارية ممتازة (عادةً ما بين 120 و200 واط/متر·كلفن)، مما يسمح له بتوزيع الحرارة بالتساوي على سطحه. وتُعد هذه الخاصية بالغة الأهمية في عمليات مثل حفر الرقائق، والترسيب، والتلبيد، حيث يؤثر تجانس درجة الحرارة بشكل مباشر على إنتاجية المنتج وجودته.

3. استقرار حراري فائق

بفضل درجة انصهارها العالية (2700 درجة مئوية) ومعامل تمددها الحراري المنخفض (4.0 × 10⁻⁶/كلفن)، تحافظ ألواح السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون على دقة أبعادها وسلامتها الهيكلية حتى في ظل دورات التسخين والتبريد السريعة. وهذا ما يجعلها مثالية للاستخدام في أفران درجات الحرارة العالية، وغرف التفريغ، وبيئات البلازما.

الخصائص التقنية
فِهرِس	وحدة	قيمة
اسم المادة		كربيد السيليكون المتلبد بالتفاعل	كربيد السيليكون المتلبد بدون ضغط	كربيد السيليكون المعاد بلورته
تعبير		RBSiC	SSiC	كربيد السيليكون المقاوم
الكثافة الظاهرية	جم/سم3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
قوة الانحناء	ميجا باسكال (كيلو باسكال)	338(49)	380(55)	80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية)
قوة الضغط	ميجا باسكال (كيلو باسكال)	1120(158)	3970(560)	> 600
صلابة	كنوب	2700	2800	/
كسر العزيمة	ميجا باسكال متر 1/2	4.5	4	/
الموصلية الحرارية	W/mk	95	120	23
معامل التمدد الحراري	10^-60.1/°C	5	4	4.7
الحرارة النوعية	جول/غرام 0 كيلوجول	0.8	0.67	/
أعلى درجة حرارة في الهواء	درجة مئوية	1200	1500	1600
معامل المرونة	المعدل التراكمي	360	410	240

أسئلة وأجوبة حول ألواح السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون

س: ما هي خصائص صفيحة كربيد السيليكون؟

أ: تُعرف ألواح كربيد السيليكون (SiC) بقوتها وصلابتها العالية، بالإضافة إلى ثباتها الحراري الممتاز. فهي تتميز بموصلية حرارية فائقة وتمدد حراري منخفض، مما يضمن أداءً موثوقًا به في درجات الحرارة القصوى. كما أن كربيد السيليكون خامل كيميائيًا، ومقاوم للأحماض والقلويات وبيئات البلازما، مما يجعله مثاليًا لمعالجة أشباه الموصلات ومصابيح LED. ويقلل سطحه الكثيف والناعم من توليد الجسيمات، مما يحافظ على توافقه مع معايير غرف الأبحاث النظيفة. تُستخدم ألواح كربيد السيليكون على نطاق واسع كحوامل للرقائق، ومستقبلات، ومكونات داعمة في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والبيئات المسببة للتآكل في صناعات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية والفضاء.