لوحة/صينية سيراميك SiC لحامل رقاقة مقاس 4 بوصات و6 بوصات لـ ICP

وصف مختصر:

صفيحة سيراميك SiC هي مكوّن عالي الأداء، مصنوع من كربيد السيليكون عالي النقاء، ومُصمم للاستخدام في البيئات الحرارية والكيميائية والميكانيكية القاسية. تشتهر صفيحة SiC بصلابتها الاستثنائية، وموصليتها الحرارية، ومقاومتها للتآكل، وتُستخدم على نطاق واسع كحامل للرقاقة، أو مُستقبل، أو مُكوّن هيكلي في صناعات أشباه الموصلات، ومصابيح LED، والطاقة الكهروضوئية، والطيران.

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا

سمات

لوحة سيراميك SiC ملخص

بفضل ثباتها الحراري المتميز حتى 1600 درجة مئوية ومقاومتها الممتازة للغازات التفاعلية وبيئات البلازما، تضمن صفيحة كربيد السيليكون أداءً ثابتًا أثناء عمليات الحفر والترسيب والانتشار عالية الحرارة. كما أن بنيتها الدقيقة الكثيفة وغير المسامية تقلل من تكوّن الجسيمات، مما يجعلها مثالية للتطبيقات فائقة النظافة في بيئات الفراغ أو الغرف النظيفة.

تطبيق لوحة السيراميك SiC

1. تصنيع أشباه الموصلات

تُستخدم ألواح سيراميك كربيد السيليكون (SiC) بشكل شائع كحاملات للرقائق، ومستقبلات، وألواح قاعدية في معدات تصنيع أشباه الموصلات، مثل الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)، وأنظمة الحفر. بفضل موصليتها الحرارية الممتازة وتمددها الحراري المنخفض، تحافظ هذه الألواح على توزيع متساوٍ للحرارة، وهو أمر بالغ الأهمية لمعالجة الرقائق بدقة عالية. كما تضمن مقاومة كربيد السيليكون للغازات المسببة للتآكل والبلازما المتانة في البيئات القاسية، مما يساعد على تقليل تلوث الجسيمات وصيانة المعدات.

2. صناعة LED - نقش ICP

في قطاع تصنيع مصابيح LED، تُعدّ صفائح SiC مكونات أساسية في أنظمة حفر البلازما المقترنة بالحث (ICP). وبصفتها حاملات للرقائق، توفر هذه الصفائح منصةً ثابتةً ومتينةً حرارياً لدعم رقائق الياقوت أو نيتريد الغاليوم أثناء معالجة البلازما. وتساعد مقاومتها الممتازة للبلازما، وتسطيح سطحها، وثبات أبعادها، على ضمان دقة حفر عالية وتجانس، مما يؤدي إلى زيادة الإنتاجية وأداء الجهاز في رقائق LED.

3. الطاقة الكهروضوئية (PV) والطاقة الشمسية

تُستخدم ألواح سيراميك كربيد السيليكون (SiC) أيضًا في إنتاج الخلايا الشمسية، وخاصةً خلال مراحل التلدين والتلدين في درجات حرارة عالية. يضمن خمولها عند درجات الحرارة المرتفعة وقدرتها على مقاومة الانحناء معالجةً متسقةً لرقائق السيليكون. كما أن انخفاض مخاطر التلوث فيها أمرٌ بالغ الأهمية للحفاظ على كفاءة الخلايا الكهروضوئية.

خصائص لوحة السيراميك SiC

1. قوة ميكانيكية وصلابة استثنائية

تتميز ألواح سيراميك SiC بقوة ميكانيكية عالية جدًا، حيث تتجاوز قوة انثناءها النموذجية 400 ميجا باسكال، وتصل صلابة فيكرز إلى أكثر من 2000 فولت عالي. هذا يجعلها شديدة المقاومة للتآكل والتشوه الميكانيكي، مما يضمن عمرًا افتراضيًا طويلًا حتى في ظل الأحمال العالية أو الدورات الحرارية المتكررة.

2. الموصلية الحرارية العالية

يتميز كربيد السيليكون (SiC) بموصلية حرارية ممتازة (عادةً ما تتراوح بين 120 و200 واط/متر·كلفن)، مما يسمح له بتوزيع الحرارة بالتساوي على سطحه. تُعد هذه الخاصية بالغة الأهمية في عمليات مثل نقش الرقاقات، والترسيب، والتلبيد، حيث يؤثر اتساق درجة الحرارة بشكل مباشر على إنتاجية وجودة المنتج.

3. استقرار حراري فائق

بفضل درجة انصهارها العالية (2700 درجة مئوية) ومعامل تمددها الحراري المنخفض (4.0 × 10⁻⁶/ك)، تحافظ ألواح سيراميك كربيد السيليكون على دقة أبعادها وسلامتها الهيكلية في دورات التسخين والتبريد السريعة. هذا يجعلها مثالية للاستخدام في الأفران عالية الحرارة، وغرف التفريغ، وبيئات البلازما.

الخصائص التقنية
فِهرِس	وحدة	قيمة
اسم المادة		كربيد السيليكون المتكلس بالتفاعل	كربيد السيليكون المتكلس بدون ضغط	كربيد السيليكون المعاد تبلوره
تعبير		RBSiC	SSiC	R-SiC
الكثافة الظاهرية	جم/سم3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
قوة الانحناء	ميجا باسكال (كيلو رطل لكل بوصة مربعة)	338(49)	380(55)	80-90 (20 درجة مئوية) 90-100 (1400 درجة مئوية)
قوة الضغط	ميجا باسكال (كيلو رطل لكل بوصة مربعة)	1120(158)	3970(560)	> 600
صلابة	نوب	2700	2800	/
كسر المثابرة	ميجا باسكال م1/2	4.5	4	/
الموصلية الحرارية	وات/مك	95	120	23
معامل التمدد الحراري	10^-6.1/°م	5	4	4.7
الحرارة النوعية	جول/جم 0 كيلو أوم	0.8	0.67	/
أقصى درجة حرارة في الهواء	درجة مئوية	1200	1500	1600
معامل المرونة	المعدل التراكمي	360	410	240

الأسئلة والأجوبة حول صفيحة سيراميك SiC

س: ما هي خصائص لوحة كربيد السيليكون؟

أ: تُعرف صفائح كربيد السيليكون (SiC) بمتانتها وصلابتها العالية وثباتها الحراري. فهي توفر موصلية حرارية ممتازة وتمددًا حراريًا منخفضًا، مما يضمن أداءً موثوقًا به في درجات الحرارة العالية. كما أن كربيد السيليكون خامل كيميائيًا، ومقاوم للأحماض والقلويات وبيئات البلازما، مما يجعله مثاليًا لمعالجة أشباه الموصلات ومصابيح LED. يقلل سطحه الكثيف والناعم من توليد الجسيمات، مما يحافظ على توافقه مع غرف العمليات النظيفة. تُستخدم صفائح كربيد السيليكون على نطاق واسع كحاملات للرقائق، ومستقبلات، ومكونات داعمة في البيئات عالية الحرارة والتآكل في صناعات أشباه الموصلات، والطاقة الكهروضوئية، والفضاء الجوي.