لوحة صينية سيراميك SiC من الجرافيت مع طلاء CVD SiC للمعدات

وصف قصير:

تنتج شركة Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. قرص نقش أشباه الموصلات بقطر Φ380mm – Φ600mm، قرص محمل الرقاقة، صينية كربيد السيليكون، صينية SIC، صينية كربيد السيليكون، صينية النقش ICP، صينية النقش، نقاء كربيد السيليكون > 99.9%، عمر خدمة صينية SIC هو أربعة أضعاف صينية CVD القائمة على الجرافيت، والاستخدام طويل الأمد دون تشوه، ومقاوم لحمض FH، والتآكل المركز H2So4.

إرسال البريد الإلكتروني لنا

تفاصيل المنتج

علامات المنتج

لا يتم استخدام سيراميك كربيد السيليكون فقط في مرحلة ترسيب الأغشية الرقيقة، مثل الفوقية أو MOCVD، أو في معالجة الرقاقات، حيث تتعرض صواني حامل الرقاقات الخاصة بـ MOCVD لأول مرة لبيئة الترسيب، وبالتالي فهي مقاومة للغاية الحرارة والتآكل. تتميز الناقلات المطلية بـ SiC أيضًا بموصلية حرارية عالية وخصائص توزيع حراري ممتازة.

حاملات الرقاقة لترسيب البخار الكيميائي النقي من كربيد السيليكون (CVD SiC) لمعالجة ترسيب البخار الكيميائي العضوي المعدني (MOCVD) بدرجة حرارة عالية.

تتفوق حاملات الرقاقة النقية CVD SiC بشكل كبير على حاملات الرقاقة التقليدية المستخدمة في هذه العملية، والتي تكون من الجرافيت ومغطاة بطبقة من CVD SiC. لا تستطيع هذه الحاملات المطلية القائمة على الجرافيت تحمل درجات الحرارة المرتفعة (1100 إلى 1200 درجة مئوية) المطلوبة لترسيب GaN لمصباح LED الأزرق والأبيض عالي السطوع اليوم. تتسبب درجات الحرارة المرتفعة في تكوين ثقوب صغيرة في الطلاء تعمل من خلالها المواد الكيميائية المعالجة على تآكل الجرافيت الموجود أسفله. تتقشر جزيئات الجرافيت بعد ذلك وتلوث GaN، مما يتسبب في استبدال حامل الرقاقة المطلية.

يتمتع CVD SiC بنقاء يبلغ 99.999٪ أو أكثر، كما أنه يتمتع بموصلية حرارية عالية ومقاومة للصدمات الحرارية. ولذلك، فإنه يمكن أن يتحمل درجات الحرارة العالية والبيئات القاسية لتصنيع LED عالي السطوع. إنها مادة صلبة متجانسة تصل إلى الكثافة النظرية، وتنتج الحد الأدنى من الجزيئات، وتظهر مقاومة عالية جدًا للتآكل والتآكل. يمكن للمادة تغيير العتامة والموصلية دون إدخال شوائب معدنية. يبلغ قطر حاملات الويفر عادةً 17 بوصة ويمكنها استيعاب ما يصل إلى 40 رقاقة بحجم 2-4 بوصة.