صينية سيراميك من كربيد السيليكون مع طلاء كربيد التبخيري للمعدات

لا تُستخدم سيراميك كربيد السيليكون فقط في مرحلة ترسيب الأغشية الرقيقة، مثل الترقيع أو MOCVD، أو في معالجة الرقاقة، حيث يتم في قلبها أولاً تعريض صواني حاملات الرقاقة لـ MOCVD لبيئة الترسيب، وبالتالي فهي مقاومة للغاية للحرارة والتآكل. كما تتمتع حاملات SiC المغلفة بموصلية حرارية عالية وخصائص توزيع حراري ممتازة.

حاملات رقائق كربيد السيليكون بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار النقي (CVD SiC) لمعالجة الترسيب الكيميائي للبخار المعدني العضوي (MOCVD) في درجات حرارة عالية.

تتفوق حاملات رقائق كربيد السيليكون المُرَكَّبة بالبخار الكيميائي النقي (CVD) بشكل ملحوظ على حاملات الرقائق التقليدية المستخدمة في هذه العملية، والمصنوعة من الجرافيت والمطلية بطبقة من كربيد السيليكون المُرَكَّبة بالبخار الكيميائي. لا تتحمل هذه الحاملات المطلية القائمة على الجرافيت درجات الحرارة العالية (1100 إلى 1200 درجة مئوية) اللازمة لترسيب نيتريد الغاليوم (GaN) لمصابيح LED الزرقاء والبيضاء عالية السطوع الحالية. تتسبب درجات الحرارة العالية في تكوين ثقوب صغيرة في الطلاء، مما يؤدي إلى تآكل الجرافيت تحته من خلال المواد الكيميائية المستخدمة في العملية. ثم تتقشر جزيئات الجرافيت وتُلوث نيتريد الغاليوم، مما يؤدي إلى استبدال حامل الرقاقة المطلي.

يتميز كربيد السيليكون المُرَكَّب بترسيب البخار الكيميائي (CVD) بنقاء 99.999% أو أكثر، ويتميز بموصلية حرارية عالية ومقاومة للصدمات الحرارية. لذلك، يتحمل درجات الحرارة العالية والبيئات القاسية لتصنيع مصابيح LED عالية السطوع. وهو مادة صلبة متجانسة تصل كثافتها النظرية إلى الحد الأدنى، وتُنتج جزيئات قليلة، وتتميز بمقاومة عالية جدًا للتآكل والتآكل. كما يُمكن للمادة تغيير العتامة والموصلية دون إضافة شوائب معدنية. يبلغ قطر حاملات الرقاقات عادةً 17 بوصة، وتتسع لما يصل إلى 40 رقاقة بقياس 2-4 بوصات.