مجداف ناتئ من كربيد السيليكون (مجداف ناتئ من كربيد السيليكون)

وصف مختصر:

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا

سمات

رسم تخطيطي مفصل

نظرة عامة على المنتج

يُعد مجداف الكابولي المصنوع من كربيد السيليكون، والمصنوع من كربيد السيليكون عالي الأداء المرتبط بالتفاعل (RBSiC)، مكونًا أساسيًا يستخدم في أنظمة تحميل ومعالجة الرقائق لتطبيقات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية.
بالمقارنة مع مجاديف الكوارتز أو الجرافيت التقليدية، توفر مجاديف السيليكون كاربايد ذات الناتئ قوة ميكانيكية فائقة، وصلابة عالية، وتمدد حراري منخفض، ومقاومة ممتازة للتآكل. كما أنها تحافظ على استقرار هيكلي ممتاز في درجات الحرارة العالية، ما يلبي المتطلبات الصارمة لأحجام الرقاقات الكبيرة، وعمر الخدمة الممتد، وانخفاض التلوث إلى أدنى حد.

مع التطور المستمر لعمليات أشباه الموصلات نحو أقطار رقائق أكبر، وإنتاجية أعلى، وبيئات معالجة أنظف، حلت مجاديف SiC الكابولية تدريجياً محل المواد التقليدية، لتصبح الخيار المفضل لأفران الانتشار، و LPCVD، والمعدات ذات درجات الحرارة العالية ذات الصلة.

ميزات المنتج

ثبات ممتاز في درجات الحرارة العالية
- يعمل بشكل موثوق عند درجة حرارة تتراوح بين 1000 و 1300 درجة مئوية دون تشوه.
- أقصى درجة حرارة تشغيل تصل إلى 1380 درجة مئوية.
قدرة تحمل عالية للأحمال
- قوة الانحناء تصل إلى 250-280 ميجا باسكال، وهي أعلى بكثير من قوة مجاديف الكوارتز.
- قادرة على التعامل مع الرقاقات ذات الأقطار الكبيرة (300 مم وما فوق).
عمر خدمة ممتد وصيانة منخفضة
- معامل تمدد حراري منخفض (4.5 × 10⁻⁶ كلفن⁻¹)، يتناسب بشكل جيد مع مواد طلاء LPCVD.
- يقلل من التشققات والتقشير الناتج عن الإجهاد، مما يؤدي إلى إطالة دورات التنظيف والصيانة بشكل كبير.
مقاومة التآكل والنقاء
- مقاومة ممتازة للأحماض والقلويات.
- بنية دقيقة كثيفة ذات مسامية مفتوحة <0.1%، مما يقلل من توليد الجسيمات وإطلاق الشوائب.
تصميم متوافق مع الأتمتة
- هندسة مقطعية مستقرة بدقة أبعاد عالية.
- يتكامل بسلاسة مع أنظمة تحميل وتفريغ الرقائق الروبوتية، مما يتيح الإنتاج الآلي بالكامل.

الخصائص الفيزيائية والكيميائية

غرض	وحدة	بيانات
أقصى درجة حرارة تشغيل	درجة مئوية	1380
كثافة	جم/سم³	3.04 – 3.08
مسامية مفتوحة	%	< 0.1
قوة الانحناء	ميجا باسكال	250 (20 درجة مئوية)، 280 (1200 درجة مئوية)
معامل المرونة	معدل تراكمي	330 (20 درجة مئوية)، 300 (1200 درجة مئوية)
الموصلية الحرارية	واط/متر·كلفن	45 (1200 درجة مئوية)
معامل التمدد الحراري	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
صلابة فيكرز	HV2	≥ 2100
مقاومة الأحماض/القلويات	-	ممتاز

الأطوال القياسية:2378 مم، 2550 مم، 2660 مم
تتوفر أبعاد مخصصة عند الطلب

التطبيقات

صناعة أشباه الموصلات
- LPCVD (الترسيب الكيميائي للبخار تحت ضغط منخفض)
- عمليات الانتشار (الفوسفور، البورون، إلخ)
- الأكسدة الحرارية
صناعة الخلايا الكهروضوئية
- انتشار وتغطية رقائق السيليكون متعدد البلورات وأحادية البلورة
- التلدين والتخميل عند درجات حرارة عالية
مجالات أخرى
- بيئات تآكل ذات درجات حرارة عالية
- أنظمة معالجة الرقائق الدقيقة التي تتطلب عمر خدمة طويل وتلوثًا منخفضًا

مزايا العميل

انخفاض تكاليف التشغيل– عمر أطول مقارنة بمجاديف الكوارتز، مما يقلل من وقت التوقف عن العمل وتكرار الاستبدال.
عائد أعلى- يضمن التلوث المنخفض للغاية نظافة سطح الرقاقة ويقلل من معدلات العيوب.
مقاوم للمستقبل- متوافق مع أحجام الرقاقات الكبيرة وعمليات أشباه الموصلات من الجيل التالي.
تحسين الإنتاجية– متوافق تمامًا مع أنظمة الأتمتة الروبوتية، ويدعم التصنيع بكميات كبيرة.

الأسئلة الشائعة – مجداف ناتئ من كربيد السيليكون

س1: ما هو مجداف الكابولي المصنوع من كربيد السيليكون؟
ج: هو مكون لدعم ومعالجة الرقاقات مصنوع من كربيد السيليكون المرتبط بالتفاعل (RBSiC). ويستخدم على نطاق واسع في أفران الانتشار، وتقنية الترسيب الكيميائي للبخار عند ضغط منخفض (LPCVD)، وغيرها من عمليات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية ذات درجات الحرارة العالية.

س2: لماذا نختار مجاديف كربيد السيليكون بدلاً من مجاديف الكوارتز؟
ج: بالمقارنة مع مجاديف الكوارتز، توفر مجاديف كربيد السيليكون ما يلي:

قوة ميكانيكية أعلى وقدرة تحمل أكبر
استقرار حراري أفضل عند درجات حرارة تصل إلى 1380 درجة مئوية
عمر خدمة أطول بكثير ودورات صيانة أقل
انخفاض توليد الجسيمات وخطر التلوث
التوافق مع أحجام الرقاقات الأكبر (300 مم وما فوق)

س3: ما هي أحجام الرقاقات التي يمكن أن يدعمها ذراع الرافعة المصنوع من كربيد السيليكون؟
ج: تتوفر مجاديف قياسية لأنظمة الأفران بأحجام 2378 مم، و2550 مم، و2660 مم. كما تتوفر أبعاد مخصصة لدعم رقائق السيليكون حتى 300 مم وما فوق.

معلومات عنا

تتخصص شركة XKH في تطوير وإنتاج وبيع الزجاج البصري الخاص ومواد الكريستال الجديدة بتقنيات متطورة. تخدم منتجاتنا قطاعات الإلكترونيات البصرية والإلكترونيات الاستهلاكية والقطاع العسكري. نقدم مكونات بصرية من الياقوت، وأغطية عدسات الهواتف المحمولة، والسيراميك، وتقنية LT، وكربيد السيليكون (SIC)، والكوارتز، ورقائق الكريستال شبه الموصلة. بفضل خبرتنا الواسعة ومعداتنا المتطورة، نتفوق في معالجة المنتجات غير القياسية، ونسعى لنكون شركة رائدة في مجال المواد الكهروضوئية عالية التقنية.