صينية سيراميك من كربيد السيليكون، أنبوب سيراميك من كربيد السيليكون، توريد، تلبيد بدرجة حرارة عالية، معالجة مخصصة
الميزات الرئيسية:
1. صينية سيراميك من كربيد السيليكون
- صلابة عالية ومقاومة للتآكل: الصلابة قريبة من صلابة الماس، ويمكنها تحمل التآكل الميكانيكي في معالجة الرقائق لفترة طويلة.
- موصلية حرارية عالية ومعامل تمدد حراري منخفض: تبديد سريع للحرارة واستقرار الأبعاد، وتجنب التشوه الناتج عن الإجهاد الحراري.
- استواء عالٍ وتشطيب سطحي ممتاز: يصل استواء السطح إلى مستوى الميكرون، مما يضمن اتصالاً كاملاً بين الرقاقة والقرص، ويقلل من التلوث والتلف.
الاستقرار الكيميائي: مقاومة قوية للتآكل، مناسبة لعمليات التنظيف الرطب والحفر في صناعة أشباه الموصلات.
2. أنبوب سيراميك من كربيد السيليكون
- مقاومة درجات الحرارة العالية: يمكنه العمل في بيئة ذات درجة حرارة عالية تزيد عن 1600 درجة مئوية لفترة طويلة، وهو مناسب لعمليات أشباه الموصلات ذات درجات الحرارة العالية.
مقاومة ممتازة للتآكل: مقاومة للأحماض والقلويات ومجموعة متنوعة من المذيبات الكيميائية، مناسبة لبيئات العمليات القاسية.
- صلابة عالية ومقاومة للتآكل: مقاومة لتآكل الجسيمات والتآكل الميكانيكي، مما يطيل عمر الخدمة.
- موصلية حرارية عالية ومعامل تمدد حراري منخفض: توصيل سريع للحرارة واستقرار الأبعاد، مما يقلل من التشوه أو التصدع الناتج عن الإجهاد الحراري.
معلمات المنتج:
مواصفات صينية السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون:
| (خاصية مادية) | (وحدة) | (ssic) | |
| (محتوى كربيد السيليكون) | (وزن)٪ | >99 | |
| (متوسط حجم الحبوب) | ميكرون | 4-10 | |
| (كثافة) | كجم/ديسيمتر مكعب | >3.14 | |
| (المسامية الظاهرية) | Vo1% | <0.5 | |
| (صلابة فيكرز) | HV 0.5 | معدل تراكمي | 28 |
| *() قوة الانحناء* (ثلاث نقاط) | 20 درجة مئوية | ميجا باسكال | 450 |
| (قوة الضغط) | 20 درجة مئوية | ميجا باسكال | 3900 |
| (معامل المرونة) | 20 درجة مئوية | معدل تراكمي | 420 |
| (صلابة الكسر) | ميجا باسكال/م'% | 3.5 | |
| (التوصيل الحراري) | 20 درجة مئوية | واط/(م*ك) | 160 |
| (المقاومة الكهربائية) | 20 درجة مئوية | أوم.سم | 106-108 |
(معامل التمدد الحراري) | أ(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(أقصى درجة حرارة تشغيل) | درجة مئوية | 1700 | |
معلمات أنبوب السيراميك المصنوع من كربيد السيليكون:
| أغراض | فِهرِس |
| α-SIC | 99% كحد أدنى |
| المسامية الظاهرية | 16% كحد أقصى |
| الكثافة الظاهرية | 2.7 جم/سم3 دقيقة |
| قوة الانحناء عند درجات الحرارة العالية | 100 ميجا باسكال كحد أدنى |
| معامل التمدد الحراري | K-1 4.7x10 -6 |
| معامل التوصيل الحراري (1400 درجة مئوية) | 24 واط/متر كلفن |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 1650 درجة مئوية |
التطبيقات الرئيسية:
1. صفيحة سيراميك من كربيد السيليكون
- تقطيع وتلميع الرقاقات: يعمل كمنصة تحميل لضمان دقة عالية واستقرار أثناء القطع والتلميع.
- عملية الطباعة الحجرية: يتم تثبيت الرقاقة في آلة الطباعة الحجرية لضمان تحديد المواقع بدقة عالية أثناء التعريض.
- التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP): يعمل كمنصة دعم لوسادات التلميع، مما يوفر ضغطًا وتوزيعًا متساويًا للحرارة.
2. أنبوب سيراميك من كربيد السيليكون
- أنبوب فرن ذو درجة حرارة عالية: يستخدم في المعدات ذات درجة الحرارة العالية مثل فرن الانتشار وفرن الأكسدة لحمل الرقائق لمعالجة العمليات ذات درجة الحرارة العالية.
- عملية الترسيب الكيميائي للبخار/الترسيب الفيزيائي للبخار: كأنبوب حامل في غرفة التفاعل، مقاوم لدرجات الحرارة العالية والغازات المسببة للتآكل.
- ملحقات معدات أشباه الموصلات: للمبادلات الحرارية وخطوط أنابيب الغاز وما إلى ذلك، لتحسين كفاءة الإدارة الحرارية للمعدات.
تقدم XKH مجموعة متكاملة من الخدمات المخصصة لصواني السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون، وأكواب الشفط، وأنابيب السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون. يمكن تخصيص صواني السيراميك وأكواب الشفط من كربيد السيليكون وفقًا لمتطلبات العملاء من حيث الأحجام والأشكال وخشونة السطح المختلفة، كما تدعم معالجة الطلاء الخاصة لتعزيز مقاومة التآكل والصدأ. أما بالنسبة لأنابيب السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون، فيمكن لـ XKH تخصيص مجموعة متنوعة من الأقطار الداخلية والخارجية والأطوال والهياكل المعقدة (مثل الأنابيب ذات الأشكال الخاصة أو الأنابيب المسامية)، بالإضافة إلى توفير خدمات التلميع والطلاء المضاد للأكسدة وغيرها من عمليات معالجة السطح. تضمن XKH لعملائها الاستفادة الكاملة من مزايا الأداء لمنتجات السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون لتلبية المتطلبات الصارمة لمجالات التصنيع المتطورة مثل أشباه الموصلات، ومصابيح LED، والخلايا الكهروضوئية.
رسم تخطيطي مفصل
