سيليكون كربيد صينية سيراميك مصاصة سيليكون كربيد أنبوب سيراميك توريد درجة حرارة عالية تلبد المعالجة المخصصة
الميزات الرئيسية:
1. صينية سيراميك كربيد السيليكون
- صلابة عالية ومقاومة للارتداء: الصلابة قريبة من الماس ، ويمكنها تحمل التآكل الميكانيكي في معالجة الرقاقة لفترة طويلة.
- الموصلية الحرارية العالية ومعامل التمدد الحراري المنخفض: تبديد الحرارة السريعة والاستقرار الأبعاد ، وتجنب التشوه الناجم عن الإجهاد الحراري.
- ارتفاع التسطيح والانتهاء من السطح: يصل تسطيح السطح إلى مستوى الميكرون ، مما يضمن التلامس الكامل بين الرقاقة والقرص ، مما يقلل من التلوث والأضرار.
الاستقرار الكيميائي: مقاومة تآكل قوية ، مناسبة لعمليات التنظيف والحفر الرطب في تصنيع أشباه الموصلات.
2. أنبوب سيراميك كربيد السيليكون
- مقاومة درجات الحرارة العالية: يمكن أن تعمل في بيئة عالية من درجة الحرارة أعلى من 1600 درجة مئوية لفترة طويلة ، مناسبة لعملية درجات الحرارة العالية أشباه الموصلات.
مقاومة تآكل ممتازة: مقاومة للأحماض والقلويات ومجموعة متنوعة من المذيبات الكيميائية ، مناسبة لبيئات العمليات القاسية.
- صلابة عالية ومقاومة التآكل: مقاومة تآكل الجسيمات والارتداء الميكانيكي ، مد عمر الخدمة.
- الموصلية الحرارية العالية ومعامل منخفض للتوسع الحراري: التوصيل السريع للحرارة والاستقرار الأبعاد ، وتقليل التشوه أو التكسير الناجم عن الإجهاد الحراري.
معلمة المنتج :
معلمة صينية السيراميك السيليكون كاربايد:
(خاصية المواد) | (وحدة) | (SSIC) | |
(محتوى كذا) | (بالوزن) ٪ | > 99 | |
(متوسط حجم الحبوب) | ميكرون | 4-10 | |
(كثافة) | kg/dm3 | > 3.14 | |
(مسامية ظاهرة) | VO1 ٪ | <0.5 | |
(صلابة فيكرز) | HV 0.5 | GPA | 28 |
*() قوة الانثناء* (ثلاث نقاط) | 20 درجة مئوية | MPA | 450 |
(قوة الضغط) | 20 درجة مئوية | MPA | 3900 |
(معامل مرن) | 20 درجة مئوية | GPA | 420 |
(صلابة الكسر) | MPA/M '٪ | 3.5 | |
(الموصلية الحرارية) | 20 درجة مئوية | ث/(م*ك) | 160 |
(المقاومة) | 20 درجة مئوية | Ohm.cm | 106-108 |
(معامل التمدد الحراري) | A (RT ** ... 80 درجة مئوية) | K-1*10-6 | 4.3 |
(أقصى درجة حرارة التشغيل) | OºC | 1700 |
معلمة أنبوب السيراميك السيليكون:
أغراض | فِهرِس |
α-SIC | 99 ٪ دقيقة |
مسامية واضحة | 16 ٪ كحد أقصى |
كثافة كبيرة | 2.7g/cm3 دقيقة |
قوة الانحناء في درجة حرارة عالية | 100 ميجا باسكال دقيقة |
معامل التمدد الحراري | K -1 4.7x10 -6 |
معامل الموصلية الحرارية (1400 درجة مئوية) | 24 W/MK |
الأعلى. درجة حرارة العمل | 1650 درجة مئوية |
التطبيقات الرئيسية:
1. لوحة سيراميك كربيد السيليكون
- قطع الرقاقة والتلميع: بمثابة منصة تحمل لضمان الدقة والاستقرار العالي أثناء القطع والتلميع.
- عملية الطباعة الحجرية: يتم تثبيت الرقاقة في آلة الطباعة الحجرية لضمان وضع عالي الدقة أثناء التعرض.
- التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP): يعمل كمنصة دعم لمنصات التلميع ، مما يوفر ضغطًا موحدًا وتوزيع الحرارة.
2. أنبوب سيراميك كربيد السيليكون
- أنبوب الفرن ذو درجة حرارة عالية: يستخدم لمعدات درجة الحرارة العالية مثل فرن الانتشار وفرن الأكسدة لحمل رقائق لمعالجة عملية درجة الحرارة العالية.
- عملية CVD/PVD: كأنبوب محمل في غرفة التفاعل ، مقاومة لدرجات الحرارة العالية والغازات المآمجة.
- إكسسوارات معدات أشباه الموصلات: بالنسبة للمبادلات الحرارية ، وخطوط أنابيب الغاز ، وما إلى ذلك ، لتحسين كفاءة الإدارة الحرارية للمعدات.
تقدم XKH مجموعة كاملة من الخدمات المخصصة لصواني السيليكون كربيد السيراميك ، وأكواب الشفط وأنابيب سيراميك السيليكون. صواني السيليكون كربيد السيراميك وكؤوس الشفط ، يمكن تخصيص XKH وفقًا لمتطلبات العملاء بأحجام مختلفة ، وأشكال وخشونة سطحية ، ودعم معالجة الطلاء الخاصة ، وتعزيز مقاومة التآكل ومقاومة التآكل ؛ بالنسبة لأنابيب سيراميك سيليكون كربيد ، يمكن لـ XKH تخصيص مجموعة متنوعة من القطر الداخلي والقطر الخارجي والطول والبنية المعقدة (مثل أنبوب الشكل أو أنبوب مسامي) ، وتوفير تلميع ، وطلاء مضاد للأكسدة وغيرها من عمليات المعالجة السطحية. يضمن XKH أن يتمكن العملاء من الاستفادة الكاملة من فوائد أداء منتجات السيراميك السيليكون لتلبية المتطلبات الصعبة لمجالات التصنيع المتطورة مثل أشباه الموصلات والمصابيح LED والخلايا الكهروضوئية.
رسم تخطيطي مفصل



