مصاصة صينية سيراميك كربيد السيليكون، أنبوب سيراميك كربيد السيليكون، معالجة مخصصة للتلبيد في درجات الحرارة العالية
المميزات الرئيسية:
1. صينية سيراميك كربيد السيليكون
- صلابة عالية ومقاومة للتآكل: الصلابة قريبة من الماس، ويمكنها تحمل التآكل الميكانيكي في معالجة الرقاقة لفترة طويلة.
- موصلية حرارية عالية ومعامل تمدد حراري منخفض: تبديد سريع للحرارة واستقرار أبعادي، وتجنب التشوه الناجم عن الإجهاد الحراري.
- تسطيح عالي وتشطيب سطحي: تصل تسطيح السطح إلى مستوى الميكرون، مما يضمن الاتصال الكامل بين الرقاقة والقرص، مما يقلل من التلوث والتلف.
الاستقرار الكيميائي: مقاومة قوية للتآكل، مناسبة لعمليات التنظيف الرطب والحفر في تصنيع أشباه الموصلات.
2. أنبوب سيراميك كربيد السيليكون
- مقاومة درجات الحرارة العالية: يمكنها العمل في بيئة ذات درجة حرارة عالية تزيد عن 1600 درجة مئوية لفترة طويلة، وهي مناسبة لعملية أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية.
مقاومة ممتازة للتآكل: مقاومة للأحماض والقلويات ومجموعة متنوعة من المذيبات الكيميائية، ومناسبة لبيئات العمليات القاسية.
- صلابة عالية ومقاومة للتآكل: مقاومة تآكل الجسيمات والتآكل الميكانيكي، وإطالة عمر الخدمة.
- موصلية حرارية عالية ومعامل تمدد حراري منخفض: توصيل سريع للحرارة واستقرار أبعادي، مما يقلل من التشوه أو التشقق الناتج عن الإجهاد الحراري.
معلمات المنتج:
معلمات صينية سيراميك كربيد السيليكون:
| (الملكية المادية) | (وحدة) | (هكذا) | |
| (محتوى SiC) | (وزن)% | >99 | |
| (متوسط حجم الحبوب) | ميكرون | 4-10 | |
| (كثافة) | كجم/دسم3 | >3.14 | |
| (المسامية الظاهرة) | 1% من الأكسجين | <0.5 | |
| (صلادة فيكرز) | الجهد العالي 0.5 | المعدل التراكمي | 28 |
| *() قوة الانحناء* (ثلاث نقاط) | 20 درجة مئوية | ميجا باسكال | 450 |
| (قوة الضغط) | 20 درجة مئوية | ميجا باسكال | 3900 |
| (معامل المرونة) | 20 درجة مئوية | المعدل التراكمي | 420 |
| (صلابة الكسر) | ميجا باسكال/م³% | 3.5 | |
| (التوصيل الحراري) | 20 درجة مئوية | و/(م*ك) | 160 |
| (المقاومة) | 20 درجة مئوية | أوم.سم | 106-108 |
(معامل التمدد الحراري) | أ(RT**...80 درجة مئوية) | ك-1*10-6 | 4.3 |
(أقصى درجة حرارة تشغيل) | درجة مئوية | 1700 | |
معلمة أنبوب السيراميك كربيد السيليكون:
| أغراض | فِهرِس |
| α-SIC | 99% دقيقة |
| المسامية الظاهرة | 16% كحد أقصى |
| الكثافة الظاهرية | 2.7 جم/سم3 دقيقة |
| قوة الانحناء عند درجة حرارة عالية | 100 ميجا باسكال دقيقة |
| معامل التمدد الحراري | ك-1 4.7x10-6 |
| معامل التوصيل الحراري (1400 درجة مئوية) | 24 واط/متر مكعب |
| أقصى درجة حرارة للعمل | 1650 درجة مئوية |
التطبيقات الرئيسية:
1. لوحة سيراميك كربيد السيليكون
- قطع وتلميع الرقاقة: يعمل كمنصة تحمل لضمان الدقة العالية والاستقرار أثناء القطع والتلميع.
- عملية الطباعة الحجرية: يتم تثبيت الرقاقة داخل آلة الطباعة الحجرية لضمان تحديد موضع عالي الدقة أثناء التعرض.
- التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP): يعمل كمنصة دعم لمنصات التلميع، مما يوفر ضغطًا موحدًا وتوزيعًا للحرارة.
2. أنبوب سيراميك كربيد السيليكون
- أنبوب الفرن ذو درجة الحرارة العالية: يستخدم للمعدات ذات درجة الحرارة العالية مثل فرن الانتشار وفرن الأكسدة لحمل الرقائق لمعالجة عملية درجة الحرارة العالية.
- عملية CVD/PVD: كأنبوب محمل في غرفة التفاعل، مقاوم لدرجات الحرارة العالية والغازات المسببة للتآكل.
- ملحقات معدات أشباه الموصلات: للمبادلات الحرارية، وأنابيب الغاز، وما إلى ذلك، لتحسين كفاءة الإدارة الحرارية للمعدات.
تقدم XKH مجموعة متكاملة من الخدمات المخصصة لصواني سيراميك كربيد السيليكون، وأكواب الشفط، وأنابيب سيراميك كربيد السيليكون. يمكن تخصيص صواني سيراميك كربيد السيليكون وأكواب الشفط وفقًا لمتطلبات العملاء من مختلف الأحجام والأشكال وخشونة الأسطح، مع دعم معالجة طلاء خاصة، وتعزيز مقاومة التآكل والتآكل. بالنسبة لأنابيب سيراميك كربيد السيليكون، يمكن لـ XKH تخصيص مجموعة متنوعة من الأقطار الداخلية والخارجية والأطوال والهياكل المعقدة (مثل الأنابيب المشكلة أو المسامية)، وتوفير عمليات التلميع والطلاء المضاد للأكسدة، وغيرها من عمليات معالجة الأسطح. تضمن XKH للعملاء الاستفادة الكاملة من مزايا أداء منتجات سيراميك كربيد السيليكون لتلبية المتطلبات الصارمة لمجالات التصنيع المتطورة مثل أشباه الموصلات، ومصابيح LED، والخلايا الكهروضوئية.
مخطط تفصيلي
