آلة قطع أسلاك الماس من كربيد السيليكون لمعالجة سبائك SiC مقاس 4/6/8/12 بوصة

وصف مختصر:

آلة قطع أسلاك كربيد السيليكون الماسية هي نوع من معدات المعالجة عالية الدقة المخصصة لتقطيع سبائك كربيد السيليكون (SiC). تستخدم هذه الآلة تقنية منشار الأسلاك الماسية، حيث يتم تحريك سلك الماس عالي السرعة (قطر الخط 0.1-0.3 مم) لقطع سبائك كربيد السيليكون متعدد الأسلاك، مما يحقق دقة عالية وتلفًا منخفضًا للرقائق. تُستخدم هذه الآلة على نطاق واسع في معالجة أشباه موصلات الطاقة كربيد السيليكون (MOSFET/SBD)، وأجهزة التردد اللاسلكي (GaN-on-SiC)، والركائز البصرية الإلكترونية، وهي معدات أساسية في سلسلة صناعة كربيد السيليكون.

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا

تفاصيل المنتج

علامات المنتج

مبدأ العمل:

1. تثبيت السبائك: يتم تثبيت سبيكة SiC (4H/6H-SiC) على منصة القطع من خلال التثبيت لضمان دقة الموضع (±0.02 مم).

2. حركة خط الماس: يتم تشغيل خط الماس (جزيئات الماس المطلية كهربائيًا على السطح) بواسطة نظام عجلة التوجيه للدوران عالي السرعة (سرعة الخط 10~30 م/ث).

3. تغذية القطع: يتم تغذية السبائك على طول الاتجاه المحدد، ويتم قطع خط الماس في وقت واحد باستخدام خطوط متوازية متعددة (100~500 خط) لتشكيل رقائق متعددة.

4. التبريد وإزالة الرقائق: رش سائل التبريد (ماء منزوع الأيونات + إضافات) في منطقة القطع لتقليل الضرر الناتج عن الحرارة وإزالة الرقائق.

المعلمات الرئيسية:

1. سرعة القطع: 0.2~1.0 مم/دقيقة (اعتمادًا على اتجاه البلورة وسمك SiC).

2. شد الخط: 20~50 نيوتن (شد الخط مرتفع للغاية ويسهل كسره، وشد منخفض للغاية يؤثر على دقة القطع).

3. سمك الرقاقة: قياسي 350~500 ميكرومتر، يمكن أن تصل الرقاقة إلى 100 ميكرومتر.

المميزات الرئيسية:

(1) دقة القطع
التسامح في السُمك: ±5 ميكرومتر (رقاقة @350 ميكرومتر)، أفضل من قطع الملاط التقليدي (±20 ميكرومتر).

خشونة السطح: Ra<0.5μm (لا يتطلب طحنًا إضافيًا لتقليل كمية المعالجة اللاحقة).

الانحناء: <10 ميكرومتر (تقليل صعوبة التلميع اللاحق).

(2) كفاءة المعالجة
القطع متعدد الخطوط: قطع 100~500 قطعة في المرة الواحدة، مما يزيد من القدرة الإنتاجية بمقدار 3~5 مرات (مقارنة بالقطع بخط واحد).

عمر الخط: يمكن لخط الماس قطع 100~300 كم من SiC (اعتمادًا على صلابة السبيكة وتحسين العملية).

(3) معالجة الضرر المنخفض
كسر الحافة: <15 ميكرومتر (القطع التقليدي >50 ميكرومتر)، تحسين إنتاج الرقاقة.

طبقة الضرر تحت السطح: <5 ميكرومتر (تقليل إزالة التلميع).

(4) حماية البيئة والاقتصاد
عدم تلوث الملاط: انخفاض تكاليف التخلص من السوائل المهدرة مقارنة بقطع الملاط.

استغلال المواد: خسارة القطع <100 ميكرومتر/ القاطع، مما يوفر المواد الخام SiC.

تأثير القطع:

١. جودة الرقاقة: سطحها خالٍ من الشقوق الكبيرة، وعيوبها المجهرية قليلة (امتداد خلع يمكن التحكم فيه). يمكن إدخالها مباشرةً في وصلة التلميع الخشنة، مما يُقلل من مدة العملية.

2. الاتساق: انحراف سمك الرقاقة في الدفعة هو <±3٪، ومناسبة للإنتاج الآلي.

3. قابلية التطبيق: دعم قطع سبائك 4H/6H-SiC، متوافق مع النوع الموصل/شبه المعزول.

المواصفات الفنية:

مواصفة	تفاصيل
الأبعاد (الطول × العرض × الارتفاع)	2500x2300x2500 أو تخصيص
نطاق حجم مادة المعالجة	4، 6، 8، 10، 12 بوصة من كربيد السيليكون
خشونة السطح	را ≤ 0.3 وحدة
متوسط سرعة القطع	0.3 مم/دقيقة
وزن	5.5 طن
خطوات ضبط عملية القطع	≤30 خطوة
ضوضاء المعدات	≤80 ديسيبل
شد الأسلاك الفولاذية	0~110 نيوتن (شد السلك 0.25 يساوي 45 نيوتن)
سرعة الأسلاك الفولاذية	0~30م/ثانية
إجمالي الطاقة	50 كيلو وات
قطر السلك الماسي	≥0.18 مم
تسطيح النهاية	≤0.05 مم
معدل القطع والكسر	≤1% (باستثناء الأسباب البشرية، ومادة السيليكون، والخط، والصيانة وغيرها من الأسباب)

خدمات XKH:

تقدم شركة XKH خدمات شاملة لآلات قطع أسلاك كربيد السيليكون الماسية، بما في ذلك اختيار المعدات (مطابقة قطر السلك وسرعته)، وتطوير العملية (تحسين معلمات القطع)، وتوريد المواد الاستهلاكية (سلك الماس، عجلة التوجيه)، ودعم ما بعد البيع (صيانة المعدات، وتحليل جودة القطع)، وذلك لمساعدة العملاء على تحقيق إنتاجية عالية (>95%) وبتكلفة منخفضة لرقائق كربيد السيليكون بكميات كبيرة. كما توفر الشركة ترقيات مخصصة (مثل القطع فائق الرقة، والتحميل والتفريغ الآلي) خلال فترة تسليم تتراوح بين 4 و8 أسابيع.