ماكينة قطع أسلاك كربيد السيليكون الماسية 4/6/8/12 بوصة لمعالجة سبائك كربيد السيليكون

وصف مختصر:

آلة قطع أسلاك كربيد السيليكون الماسية هي نوع من معدات المعالجة عالية الدقة المُخصصة لتقطيع سبائك كربيد السيليكون (SiC) إلى شرائح. تستخدم هذه الآلة تقنية منشار الأسلاك الماسية، حيث تقوم بتحريك سلك ماسي عالي السرعة (قطر السلك 0.1-0.3 مم) لقطع سبائك كربيد السيليكون إلى شرائح متعددة، مما يُحقق دقة عالية في تحضير الرقائق مع تقليل التلف. تُستخدم هذه الآلة على نطاق واسع في معالجة ركائز أشباه موصلات الطاقة المصنوعة من كربيد السيليكون (MOSFET/SBD)، وأجهزة الترددات الراديوية (GaN-on-SiC)، والأجهزة الكهروضوئية، وتُعدّ من المعدات الأساسية في سلسلة صناعة كربيد السيليكون.

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا

سمات

مبدأ العمل:

1. تثبيت السبيكة: يتم تثبيت سبيكة SiC (4H/6H-SiC) على منصة القطع من خلال أداة التثبيت لضمان دقة الموضع (±0.02 مم).

2. حركة خط الماس: يتم تحريك خط الماس (جزيئات الماس المطلية بالكهرباء على السطح) بواسطة نظام عجلة التوجيه للدوران عالي السرعة (سرعة الخط 10 ~ 30 م/ث).

3. تغذية القطع: يتم تغذية السبيكة على طول الاتجاه المحدد، ويتم قطع خط الماس في وقت واحد مع خطوط متوازية متعددة (100 ~ 500 خط) لتشكيل رقائق متعددة.

4. التبريد وإزالة الرقائق: رش سائل التبريد (ماء منزوع الأيونات + إضافات) في منطقة القطع لتقليل الضرر الناتج عن الحرارة وإزالة الرقائق.

المعايير الرئيسية:

1. سرعة القطع: 0.2 ~ 1.0 مم / دقيقة (حسب اتجاه البلورة وسمك SiC).

2. شد الخيط: 20~50 نيوتن (الشد العالي جدًا يؤدي إلى قطع الخيط بسهولة، والشد المنخفض جدًا يؤثر على دقة القطع).

3. سمك الرقاقة: قياسي 350 ~ 500 ميكرومتر، ويمكن أن تصل الرقاقة إلى 100 ميكرومتر.

الميزات الرئيسية:

(1) دقة القطع
تفاوت السماكة: ±5 ميكرومتر (عند رقاقة 350 ميكرومتر)، أفضل من القطع التقليدي بالملاط (±20 ميكرومتر).

خشونة السطح: Ra<0.5μm (لا حاجة إلى طحن إضافي لتقليل كمية المعالجة اللاحقة).

الانحناء: <10 ميكرومتر (يقلل من صعوبة التلميع اللاحق).

(2) كفاءة المعالجة
القطع متعدد الخطوط: قطع 100 إلى 500 قطعة في المرة الواحدة، مما يزيد من الطاقة الإنتاجية من 3 إلى 5 مرات (مقارنة بالقطع أحادي الخط).

عمر الخط: يمكن لخط الماس قطع 100 إلى 300 كيلومتر من كربيد السيليكون (اعتمادًا على صلابة السبيكة وتحسين العملية).

(3) معالجة منخفضة الضرر
كسر الحواف: <15 ميكرومتر (القطع التقليدي >50 ميكرومتر)، تحسين إنتاجية الرقاقة.

طبقة التلف تحت السطح: <5 ميكرومتر (تقليل إزالة التلميع).

(4) حماية البيئة والاقتصاد
عدم تلوث الملاط: انخفاض تكاليف التخلص من النفايات السائلة مقارنة بقطع الملاط.

استخدام المواد: فقدان القطع <100 ميكرومتر/ قاطع، مما يوفر المواد الخام من كربيد السيليكون.

تأثير القطع:

1. جودة الرقاقة: لا توجد تشققات ظاهرة على السطح، وعيوب مجهرية قليلة (امتداد انخلاعي قابل للتحكم). يمكن إدخالها مباشرة في مرحلة التلميع الأولي، مما يختصر خطوات العملية.

2. الاتساق: انحراف سمك الرقاقة في الدفعة أقل من ±3%، وهو مناسب للإنتاج الآلي.

3. قابلية التطبيق: يدعم قطع سبائك 4H/6H-SiC، متوافق مع النوع الموصل/شبه المعزول.

المواصفات الفنية:

مواصفة	تفاصيل
الأبعاد (الطول × العرض × الارتفاع)	2500×2300×2500 أو حسب الطلب
نطاق حجم مواد المعالجة	4، 6، 8، 10، 12 بوصة من كربيد السيليكون
خشونة السطح	Ra≤0.3u
متوسط القطع	0.3 مم/دقيقة
وزن	5.5 طن
خطوات ضبط عملية القطع	≤30 خطوة
ضوضاء المعدات	≤80 ديسيبل
شد سلك الفولاذ	0~110 نيوتن (شد السلك عند 0.25 يساوي 45 نيوتن)
سرعة سلك الفولاذ	0~30 م/ث
القوة الكاملة	50 كيلوواط
قطر سلك الماس	≥0.18 مم
تسطح النهاية	≤0.05 مم
معدل القطع والكسر	≤1% (باستثناء الأسباب البشرية، ومواد السيليكون، والخطوط، والصيانة، وأسباب أخرى)

خدمات XKH:

تقدم شركة XKH خدمات متكاملة لماكينات قطع أسلاك كربيد السيليكون الماسية، تشمل اختيار المعدات (مطابقة قطر السلك وسرعته)، وتطوير العمليات (تحسين معايير القطع)، وتوفير المواد الاستهلاكية (سلك الماس، وعجلة التوجيه)، وخدمات ما بعد البيع (صيانة المعدات، وتحليل جودة القطع)، وذلك لمساعدة العملاء على تحقيق إنتاجية عالية (>95%) وتكلفة منخفضة لإنتاج رقائق كربيد السيليكون بكميات كبيرة. كما توفر الشركة ترقيات مخصصة (مثل القطع فائق الرقة، والتحميل والتفريغ الآلي) خلال فترة تسليم تتراوح بين 4 و8 أسابيع.