ذراع/يد شوكة من كربيد السيليكون والسيراميك لأنظمة المناولة الحرجة
مخطط تفصيلي
مقدمة عن ذراع/يد الشوكة المصنوعة من سيراميك كربيد السيليكون
الذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونهو مكون متطور مُطوّر للأتمتة الصناعية المتقدمة، ومعالجة أشباه الموصلات، والبيئات فائقة النظافة. تصميمه المتشعب المميز وسطحه الخزفي فائق النحافة يجعله مثاليًا للتعامل مع الركائز الحساسة، بما في ذلك رقائق السيليكون، والألواح الزجاجية، والأجهزة البصرية. صُمم بدقة عالية، ومصنوع من كربيد السيليكون فائق النقاء.ذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونيقدم قوة ميكانيكية لا مثيل لها، وموثوقية حرارية، والتحكم في التلوث.
على عكس الأذرع المعدنية أو البلاستيكية التقليدية،ذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونيُقدّم أداءً مستقرًا في الظروف الحرارية والكيميائية والفراغية القاسية. سواءً كان العمل في غرفة نظيفة من الفئة الأولى أو داخل غرفة بلازما عالية التفريغ، يضمن هذا المكوّن نقلًا آمنًا وفعالًا وخاليًا من الرواسب للأجزاء القيّمة.
بفضل هيكل مصمم خصيصًا للأذرع الروبوتية، ومناولي الرقاقات، وأدوات النقل الآلية،ذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونهو ترقية ذكية لأي نظام عالي الدقة.
عملية تصنيع ذراع/يد الشوكة المصنوعة من سيراميك كربيد السيليكون
صياغة عالية الأداءذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونيتضمن سير عمل هندسيًا سيراميكيًا يتم التحكم فيه بشكل صارم والذي يضمن إمكانية التكرار والموثوقية ومعدلات العيوب المنخفضة للغاية.
1. هندسة المواد
يتم استخدام مسحوق كربيد السيليكون عالي النقاء فقط في تصنيعذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونمما يضمن تلوثًا أيونيًا منخفضًا وقوة تحمل عالية. تُمزج المساحيق بدقة مع إضافات التلبيد والمواد الرابطة لتحقيق تكثيف مثالي.
2. تشكيل الهيكل الأساسي
الهندسة الأساسية لـذراع/يد الشوكةيُشكَّل باستخدام الضغط المتساوي الضغط على البارد أو القولبة بالحقن، مما يضمن كثافة خضراء عالية وتوزيعًا متساويًا للإجهاد. صُمِّمَ شكل حرف U لتحقيق نسبة صلابة إلى وزن واستجابة ديناميكية.
3. عملية التلبيد
الجسم الأخضر للذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونيُلبَّد في فرن غاز خامد عالي الحرارة، بدرجة حرارة تزيد عن ٢٠٠٠ درجة مئوية. تضمن هذه الخطوة كثافةً شبه نظرية، مما يُنتج مُكوِّنًا يقاوم التشقق والتشوه والانحراف البُعدي تحت الأحمال الحرارية الفعلية.
4. الطحن والتشغيل الدقيق
يتم استخدام أدوات الماس CNC المتقدمة لتشكيل الأبعاد النهائية لـذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكون. تقلل التحملات الضيقة (±0.01 مم) واللمسة النهائية للسطح على مستوى المرآة من إطلاق الجسيمات والإجهاد الميكانيكي.
5. تكييف وتنظيف الأسطح
تشمل عملية التشطيب النهائي للسطح التلميع الكيميائي والتنظيف بالموجات فوق الصوتية للتحضيرذراع/يد الشوكةللدمج المباشر في أنظمة فائقة النظافة. تتوفر أيضًا طلاءات اختيارية (CVD-SiC، طبقات مضادة للانعكاس).
وتضمن هذه العملية الدقيقة أن كلذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونيتوافق مع المعايير الصناعية الأكثر صرامة، بما في ذلك متطلبات الغرف النظيفة SEMI و ISO.
معلمات ذراع/يد الشوكة المصنوعة من سيراميك كربيد السيليكون
| غرض | شروط الاختبار | بيانات | وحدة |
| محتوى كربيد السيليكون | / | >99.5 | % |
| متوسط حجم الحبوب | / | 4-10 | ميكرون |
| كثافة | / | >3.14 | جم/سم3 |
| المسامية الظاهرة | / | <0.5 | الحجم % |
| صلابة فيكرز | HV0.5 | 2800 | كجم/مم2 |
| معامل الكسر (3 نقاط) | حجم شريط الاختبار: 3 × 4 × 40 مم | 450 | ميجا باسكال |
| قوة الضغط | 20 درجة مئوية | 3900 | ميجا باسكال |
| معامل المرونة | 20 درجة مئوية | 420 | المعدل التراكمي |
| صلابة الكسر | / | 3.5 | ميجا باسكال/م1/2 |
| الموصلية الحرارية | 20 درجة مئوية | 160 | وات/(م ك) |
| المقاومة الكهربائية | 20 درجة مئوية | 106-108 | أوم سم |
| معامل التمدد الحراري | 20 درجة مئوية - 800 درجة مئوية | 4.3 | K-110-6 |
| أقصى درجة حرارة للتطبيق | الغلاف الجوي للأكسيد | 1600 | درجة مئوية |
| أقصى درجة حرارة للتطبيق | جو خامد | 1950 | درجة مئوية |
تطبيقات ذراع/يد الشوكة المصنوعة من سيراميك كربيد السيليكون
الذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونمُصمم للاستخدام في التطبيقات عالية الدقة، عالية المخاطر، والحساسة للتلوث. يُتيح التعامل مع المكونات الحيوية ونقلها ودعمها بكفاءة عالية دون أي تنازلات.
➤ صناعة أشباه الموصلات
-
يتم استخدامه كشوكة روبوتية في محطات نقل الرقاقة الأمامية وFOUP.
-
مُدمج في غرف التفريغ لحفر البلازما وعمليات PVD/CVD.
-
تعمل كذراع حاملة في أدوات القياس ومحاذاة الرقاقة.
الذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونيقضي على مخاطر التفريغ الكهروستاتيكي (ESD)، ويدعم الدقة الأبعادية، ويقاوم التآكل البلازمي.
➤ الفوتونيات والبصريات
-
يدعم العدسات الحساسة، وبلورات الليزر، وأجهزة الاستشعار أثناء التصنيع أو التفتيش.
تمنع صلابتها العالية الاهتزاز، بينما يقاوم الجسم الخزفي تلوث الأسطح البصرية.
➤ إنتاج الشاشات واللوحات
-
يتعامل مع الزجاج الرقيق ووحدات OLED وركائز LCD أثناء النقل أو التفتيش.
المسطحة والخاملة كيميائياذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونيحمي من الخدش أو الحفر الكيميائي.
➤ أجهزة الفضاء والعلم
-
يتم استخدامه في تجميع بصريات الأقمار الصناعية، والروبوتات الفراغية، وإعدادات خطوط شعاع السنكروترون.
يؤدي عمله بشكل لا تشوبه شائبة في غرف نظيفة عالية الجودة وبيئات معرضة للإشعاع.
في كل مجال،ذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونيعمل على تعزيز كفاءة النظام، ويقلل من فشل الأجزاء، ويقلل من وقت التوقف.
الأسئلة الشائعة - الأسئلة الشائعة حول ذراع/يد الشوكة المصنوعة من سيراميك كربيد السيليكون
س1: ما الذي يجعل ذراع/يد الشوكة المصنوعة من سيراميك كربيد السيليكون أفضل من البدائل المعدنية؟
الذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونيتميز بصلابة فائقة، وكثافة أقل، ومقاومة كيميائية أفضل، وتمدد حراري أقل بكثير من المعادن. كما أنه متوافق مع غرف الأبحاث النظيفة، وخالٍ من التآكل أو تكوين الجسيمات.
س2: هل يمكنني طلب أبعاد مخصصة لذراع/يد الشوكة المصنوعة من سيراميك كربيد السيليكون؟
نعم. نقدم خدمة تخصيص كاملة، تشمل عرض الشوكة، وسمكها، وفتحات التركيب، والفتحات، ومعالجة الأسطح. سواءً لرقائق بقياس 6 أو 8 أو 12 بوصة،ذراع/يد الشوكةيمكن تعديلها لتناسب.
س3: ما هي المدة التي يستمر فيها ذراع/يد الشوكة المصنوعة من سيراميك كربيد السيليكون تحت البلازما أو الفراغ؟
بفضل مادة SiC عالية الكثافة والطبيعة الخاملة،ذراع/يد الشوكةيظل فعالاً حتى بعد آلاف دورات المعالجة. يُظهر تآكلًا طفيفًا تحت أحمال البلازما أو التفريغ الحرارية الشديدة.
س4: هل المنتج مناسب لغرف النظافة من الفئة 1 ISO؟
بالتأكيد.ذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونيتم تصنيعها وتعبئتها في مرافق غرف نظيفة معتمدة، مع مستويات الجسيمات أقل بكثير من متطلبات الفئة 1 ISO.
س5: ما هي أقصى درجة حرارة تشغيل لذراع/يد الشوكة هذه؟
الذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكونيمكن أن تعمل بشكل مستمر حتى عند درجة حرارة 1500 درجة مئوية، مما يجعلها مناسبة للاستخدام المباشر في غرف المعالجة ذات درجة الحرارة العالية وأنظمة الفراغ الحراري.
تعكس هذه الأسئلة الشائعة المخاوف الفنية الأكثر شيوعًا لدى المهندسين ومديري المختبرات ومُدمجي النظام الذين يستخدمونذراع/يد شوكة من سيراميك كربيد السيليكون.
معلومات عنا
تتخصص شركة XKH في تطوير وإنتاج وبيع الزجاج البصري الخاص ومواد الكريستال الجديدة عالية التقنية. تخدم منتجاتنا الإلكترونيات البصرية، والإلكترونيات الاستهلاكية، والقطاعات العسكرية. نقدم مكونات بصرية من الياقوت، وأغطية عدسات الهواتف المحمولة، والسيراميك، وLT، وSIC كربيد السيليكون، والكوارتز، ورقائق الكريستال شبه الموصل. بفضل خبرتنا الماهرة ومعداتنا المتطورة، نتميز في معالجة المنتجات غير القياسية، ونسعى لأن نكون شركة رائدة في مجال المواد البصرية الإلكترونية عالية التقنية.
