مرحلة محمل هوائي من كربيد السيليكون فائقة الدقة

صورة مميزة لمنصة محمل هوائي من كربيد السيليكون فائقة الدقة

وصف مختصر:

مع التطور المستمر لصناعة أشباه الموصلات، تتطلب معدات المعالجة والفحص أداءً أعلى باستمرار. وانطلاقاً من خبرتنا الواسعة في التحكم بالحركة وتحديد المواقع على مستوى النانومتر، قمنا بتطوير منصة هوائية ثنائية المحور فائقة الدقة من النوع H.

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا

سمات

رسم تخطيطي مفصل

ملخص

صُممت هذه المنصة بهيكل سيراميكي من كربيد السيليكون (SiC) مُحسَّن باستخدام طريقة العناصر المحدودة، وتقنية محامل هوائية مُعوَّضة، مما يوفر دقة وصلابة واستجابة ديناميكية فائقة. وهي مناسبة تمامًا لما يلي:

معالجة وفحص أشباه الموصلات
التصنيع والقياس على المستوى الميكروي/النانوي
القطع والتلميع بتقنية النانومتر
مسح ضوئي عالي السرعة والدقة

الميزات الرئيسية

دليل محمل هوائي من كربيد السيليكونلصلابة ودقة فائقة
ديناميكية عاليةسرعة تصل إلى 1 م/ث، تسارع يصل إلى 4 جم، هبوط سريع
محور Y مزدوج المحركيضمن قدرة تحمل عالية وثباتًا
خيارات المُشفّر: محزز بصري أو مقياس تداخل ليزري
دقة تحديد المواقع: ±0.15 ميكرومتر؛قابلية التكرار: ±75 نانومتر
تحسين مسارات الكابلاتلتصميم أنيق وموثوقية طويلة الأمد
تكوينات قابلة للتخصيصلتلبية الاحتياجات الخاصة بالتطبيق

تصميم فائق الدقة وهيكل ذو محرك مباشر بدون تلامس

إطار من السيراميك السيليكوني كاربايد: صلابة تفوق صلابة سبائك الألومنيوم بحوالي 5 أضعاف، وتمدد حراري أقل بحوالي 5 أضعاف، مما يضمن استقرارًا عالي السرعة ومتانة حرارية.
محمل هوائي معوضيعزز التصميم الخاص الصلابة وقدرة التحميل واستقرار الحركة.
أداء ديناميكييدعم سرعة 1 م/ث وتسارع 4 جم، وهو مثالي للعمليات ذات الإنتاجية العالية.
تكامل سلسمتوافق مع أنظمة عزل الاهتزازات، والمراحل الدوارة، ووحدات الإمالة، ومنصات معالجة الرقائق.
إدارة الكابلات: يقلل نصف قطر الانحناء المتحكم به من الإجهاد لإطالة عمر الخدمة.

محرك خطي بدون قلبحركة سلسة بدون قوة تعشيق.
محرك متعدديؤدي وضع المحرك في مستوى الحمل إلى تحسين الاستقامة والتسطيح والدقة الزاوية.
العزل الحراري: يتم عزل المحركات عن هيكل المسرح؛ تبريد اختياري بالهواء أو الماء لدورات التشغيل العالية.

تحديد

نموذج	400-400	500-500	600-600
محاور	X (مسح) / Y (خطوة)	X (مسح) / Y (خطوة)	X (مسح) / Y (خطوة)
مسافة الحركة (مم)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
الدقة (ميكرومتر)	±0.15	±0.2	±0.2
قابلية التكرار (نانومتر)	±75	±100	±100
الدقة (نانومتر)	0.3	0.3	0.3
السرعة القصوى (م/ث)	1	1	1
التسارع (g)	4	4	4
الاستقامة (ميكرومتر)	±0.2	±0.3	±0.4
الاستقرار (نانومتر)	±5	±5	±5
أقصى حمولة (كجم)	20	20	20
الميل/الدوران/الانحراف (ثانية قوسية)	±1	±1	±1

شروط الاختبار:

إمداد الهواء: نظيف وجاف؛ نقطة الندى ≤ 0 درجة فهرنهايت؛ ترشيح الجسيمات ≤ 0.25 ميكرومتر؛ أو 99.99% نيتروجين.
تم قياس الدقة على بعد 25 مم فوق مركز المسرح عند درجة حرارة 20±1 درجة مئوية، ورطوبة نسبية 40-60%.

التطبيقات

الطباعة الحجرية لأشباه الموصلات، والفحص، ومعالجة الرقائق
التصنيع الدقيق/النانوي والقياس الدقيق
تصنيع البصريات المتطورة وقياس التداخل
أبحاث الفضاء والبحوث العلمية المتقدمة

الأسئلة الشائعة – منصة محمل هوائي من كربيد السيليكون

1. ما هي المرحلة ذات المحمل الهوائي؟

تستخدم المنصة الهوائية طبقة رقيقة من الهواء المضغوط بين المنصة والمسار لتوفيرحركة سلسة للغاية وخالية من الاحتكاك والتآكلعلى عكس المحامل الميكانيكية التقليدية، فإنها تقضي على ظاهرة الانزلاق والالتصاق، وتوفر دقة على مستوى النانومتر، وتدعم الموثوقية على المدى الطويل.

2. لماذا يتم استخدام كربيد السيليكون (SiC) لهيكل المسرح؟

صلابة عالية: ~5 أضعاف ما هو عليه الحال في سبائك الألومنيوم، مما يقلل من التشوه أثناء الحركة الديناميكية.
تمدد حراري منخفض: أقل بنحو 5 مرات من الألومنيوم، مع الحفاظ على الدقة في ظل تغيرات درجة الحرارة.
خفيف الوزن: كثافة أقل مقارنة بالفولاذ، مما يتيح التشغيل بسرعات عالية وتسارع عالٍ.
ثبات ممتاز: تخميد وصلابة فائقة لتحديد المواقع بدقة فائقة.

3. هل تتطلب المنصة تزييتًا أو صيانة؟

لا حاجة إلى مواد التشحيم التقليدية لوجودلا يوجد تلامس ميكانيكيتشمل الصيانة الموصى بها ما يلي:

التوريدهواء مضغوط نظيف وجاف أو نيتروجين
الفحص الدوري للفلاتر والمجففات
كابلات المراقبة وأنظمة التبريد

4. ما هي متطلبات إمداد الهواء؟

نقطة الندى: ≤ 0 درجة فهرنهايت (≈ –18 درجة مئوية)
ترشيح الجسيمات: ≤ 0.25 ميكرومتر
هواء نظيف وجاف أو نيتروجين نقي بنسبة 99.99%
ضغط مستقر مع أدنى حد من التقلبات

معلومات عنا

تتخصص شركة XKH في تطوير وإنتاج وبيع الزجاج البصري الخاص ومواد الكريستال الجديدة بتقنيات متطورة. تخدم منتجاتنا قطاعات الإلكترونيات البصرية والإلكترونيات الاستهلاكية والقطاع العسكري. نقدم مكونات بصرية من الياقوت، وأغطية عدسات الهواتف المحمولة، والسيراميك، وتقنية LT، وكربيد السيليكون (SIC)، والكوارتز، ورقائق الكريستال شبه الموصلة. بفضل خبرتنا الواسعة ومعداتنا المتطورة، نتفوق في معالجة المنتجات غير القياسية، ونسعى لنكون شركة رائدة في مجال المواد الكهروضوئية عالية التقنية.