ركيزة من كربيد السيليكون مقاس 12 بوصة، قطرها 300 مم، وسماكتها 750 ميكرومتر، من النوع 4H-N، قابلة للتخصيص
المعايير الفنية
| مواصفات ركيزة كربيد السيليكون (SiC) مقاس 12 بوصة | |||||
| درجة | إنتاج زيرو إم بي دي الدرجة (الدرجة Z) | الإنتاج القياسي الدرجة (الدرجة P) | مستوى وهمي (الدرجة د) | ||
| القطر | 300 مم ~ 1305 مم | ||||
| سماكة | 4H-N | 750 ميكرومتر ± 15 ميكرومتر | 750 ميكرومتر ± 25 ميكرومتر | ||
| 4H-SI | 750 ميكرومتر ± 15 ميكرومتر | 750 ميكرومتر ± 25 ميكرومتر | |||
| توجيه الرقاقة | خارج المحور: 4.0° باتجاه <1120 >±0.5° لـ 4H-N، على المحور: <0001>±0.5° لـ 4H-SI | ||||
| كثافة الأنابيب الدقيقة | 4H-N | ≤0.4 سم-2 | ≤4 سم-2 | ≤25 سم-2 | |
| 4H-SI | ≤5 سم-2 | ≤10 سم-2 | ≤25 سم-2 | ||
| المقاومة النوعية | 4H-N | 0.015~0.024 أوم·سم | 0.015~0.028 أوم·سم | ||
| 4H-SI | ≥1E10 أوم·سم | ≥1E5 أوم·سم | |||
| اتجاه الشقق الأساسية | {10-10} ±5.0° | ||||
| الطول الأساسي المسطح | 4H-N | غير متوفر | |||
| 4H-SI | شق | ||||
| استبعاد الحواف | 3 مم | ||||
| LTV/TTV/Bow /Warp | .55μm/-15μm/-35 μm/-55 μm | .55μm/-15μm/-35 □ ميكرومتر/555 □ ميكرومتر | |||
| خشونة | صقل Ra≤1 نانومتر | ||||
| CMP Ra≤0.2 نانومتر | Ra≤0.5 نانومتر | ||||
| تشققات الحواف الناتجة عن الضوء عالي الكثافة ألواح سداسية بواسطة ضوء عالي الكثافة مناطق متعددة الأنماط بواسطة ضوء عالي الكثافة شوائب الكربون المرئية خدوش سطح السيليكون بفعل الضوء عالي الكثافة | لا أحد المساحة التراكمية ≤ 0.05% لا أحد المساحة التراكمية ≤ 0.05% لا أحد | الطول التراكمي ≤ 20 مم، الطول الفردي ≤ 2 مم المساحة التراكمية ≤ 0.1% المساحة التراكمية ≤ 3% المساحة التراكمية ≤3% الطول التراكمي ≤ 1 × قطر الرقاقة | |||
| تشققات الحواف بفعل الضوء عالي الكثافة | لا يُسمح بأي شيء بعرض وعمق ≥ 0.2 مم | يُسمح بـ 7، ≤ 1 مم لكل منها | |||
| (TSD) خلع لولب التثبيت | ≤500 سم-2 | غير متوفر | |||
| (BPD) خلع مستوى القاعدة | ≤1000 سم-2 | غير متوفر | |||
| تلوث سطح السيليكون بالضوء عالي الكثافة | لا أحد | ||||
| التغليف | علبة متعددة الرقائق أو حاوية رقاقة واحدة | ||||
| ملحوظات: | |||||
| 1. تنطبق حدود العيوب على سطح الرقاقة بالكامل باستثناء منطقة استبعاد الحواف. 2- يجب فحص الخدوش على وجه Si فقط. 3- بيانات الانخلاع مأخوذة فقط من رقائق السيليكون المحفورة بـ KOH. | |||||
الميزات الرئيسية
1. مزايا الطاقة الإنتاجية والتكلفة: يُمثل الإنتاج الضخم لركائز كربيد السيليكون (SiC) مقاس 12 بوصة بداية حقبة جديدة في صناعة أشباه الموصلات. يصل عدد الرقائق التي يمكن الحصول عليها من رقاقة واحدة إلى 2.25 ضعف عدد الرقائق التي يمكن الحصول عليها من ركائز مقاس 8 بوصات، مما يُحقق قفزة نوعية في كفاءة الإنتاج. وتشير آراء العملاء إلى أن اعتماد ركائز مقاس 12 بوصة قد خفض تكاليف إنتاج وحدات الطاقة بنسبة 28%، مما منحهم ميزة تنافسية حاسمة في سوق شديدة التنافس.
٢. خصائص فيزيائية متميزة: تتميز ركيزة كربيد السيليكون مقاس ١٢ بوصة بجميع مزايا مادة كربيد السيليكون، حيث تبلغ موصليتها الحرارية ثلاثة أضعاف موصلية السيليكون، بينما تصل قوة مجال انهيارها الكهربائي إلى عشرة أضعاف قوة مجال انهيار السيليكون. تُمكّن هذه الخصائص الأجهزة القائمة على ركائز مقاس ١٢ بوصة من العمل بثبات في بيئات ذات درجات حرارة عالية تتجاوز ٢٠٠ درجة مئوية، مما يجعلها مناسبة بشكل خاص للتطبيقات التي تتطلب أداءً عاليًا مثل المركبات الكهربائية.
3. تقنية معالجة الأسطح: لقد طورنا عملية تلميع كيميائي ميكانيكي (CMP) مبتكرة خصيصًا لركائز كربيد السيليكون (SiC) مقاس 12 بوصة، مما يحقق استواءً سطحيًا على المستوى الذري (Ra<0.15 نانومتر). يحل هذا الإنجاز التحدي العالمي المتمثل في معالجة أسطح رقائق كربيد السيليكون ذات الأقطار الكبيرة، مما يزيل العقبات أمام نمو الطبقات الرقيقة عالي الجودة.
4. أداء إدارة الحرارة: في التطبيقات العملية، تُظهر ركائز كربيد السيليكون (SiC) مقاس 12 بوصة قدراتٍ فائقةً في تبديد الحرارة. تُشير بيانات الاختبار إلى أنه عند نفس كثافة الطاقة، تعمل الأجهزة التي تستخدم ركائز مقاس 12 بوصة عند درجات حرارة أقل بمقدار 40-50 درجة مئوية من الأجهزة القائمة على السيليكون، مما يُطيل عمر الخدمة للمعدات بشكلٍ ملحوظ.
التطبيقات الرئيسية
1. منظومة مركبات الطاقة الجديدة: تُحدث ركيزة كربيد السيليكون مقاس 12 بوصة ثورةً في بنية مجموعة نقل الحركة للمركبات الكهربائية. فمن أجهزة الشحن المدمجة إلى محولات القيادة الرئيسية وأنظمة إدارة البطاريات، تُسهم التحسينات في الكفاءة التي توفرها هذه الركائز في زيادة مدى المركبة بنسبة تتراوح بين 5 و8%. وتشير تقارير من إحدى شركات صناعة السيارات الرائدة إلى أن اعتماد ركائزنا مقاس 12 بوصة قد خفّض فقد الطاقة في نظام الشحن السريع بنسبة مذهلة بلغت 62%.
٢. قطاع الطاقة المتجددة: في محطات الطاقة الكهروضوئية، لا تتميز العواكس القائمة على ركائز كربيد السيليكون مقاس ١٢ بوصة بصغر حجمها فحسب، بل تحقق أيضًا كفاءة تحويل تتجاوز ٩٩٪. وفي سيناريوهات التوليد الموزع على وجه الخصوص، تُترجم هذه الكفاءة العالية إلى وفورات سنوية تصل إلى مئات الآلاف من اليوانات في خسائر الكهرباء للمشغلين.
3. الأتمتة الصناعية: تُظهر محولات التردد التي تستخدم ركائز مقاس 12 بوصة أداءً ممتازًا في الروبوتات الصناعية، وأدوات آلات التحكم الرقمي الحاسوبي، وغيرها من المعدات. تعمل خصائص التبديل عالية التردد على تحسين سرعة استجابة المحرك بنسبة 30% مع تقليل التداخل الكهرومغناطيسي إلى ثلث الحلول التقليدية.
4. ابتكارات الإلكترونيات الاستهلاكية: بدأت تقنيات الشحن السريع للهواتف الذكية من الجيل التالي في استخدام ركائز كربيد السيليكون بحجم 12 بوصة. ومن المتوقع أن تتحول منتجات الشحن السريع التي تتجاوز قدرتها 65 واط بالكامل إلى حلول كربيد السيليكون، مع بروز ركائز 12 بوصة كخيار أمثل من حيث التكلفة والأداء.
خدمات XKH المخصصة لركائز كربيد السيليكون مقاس 12 بوصة
لتلبية المتطلبات المحددة لركائز كربيد السيليكون مقاس 12 بوصة، تقدم XKH دعمًا شاملاً للخدمات:
1. تخصيص السماكة:
نحن نوفر ركائز مقاس 12 بوصة بمواصفات سمك مختلفة بما في ذلك 725 ميكرومتر لتلبية احتياجات التطبيقات المختلفة.
2. تركيز المنشطات:
يدعم تصنيعنا أنواعًا متعددة من الموصلية بما في ذلك الركائز من النوع n والنوع p، مع تحكم دقيق في المقاومة في نطاق 0.01-0.02 أوم·سم.
3. خدمات الاختبار:
بفضل معدات الاختبار الكاملة على مستوى الرقاقة، نقدم تقارير فحص شاملة.
تُدرك شركة XKH أن لكل عميل متطلبات فريدة فيما يتعلق بركائز كربيد السيليكون مقاس 12 بوصة. ولذلك، نقدم نماذج تعاون تجاري مرنة لتوفير الحلول الأكثر تنافسية، سواءً لـ:
· عينات البحث والتطوير
· مشتريات الإنتاج بكميات كبيرة
تضمن خدماتنا المخصصة قدرتنا على تلبية احتياجاتك التقنية والإنتاجية المحددة لركائز كربيد السيليكون مقاس 12 بوصة.
