رقاقة سيليكون كاربيد 4H/6H-P مقاس 6 بوصات، درجة إنتاجية صفرية، درجة وهمية
جدول المعلمات المشتركة للركائز المركبة من كربيد السيليكون من النوع 4H/6H-P
6 ركيزة من كربيد السيليكون (SiC) بقطر بوصة مواصفة
| درجة | إنتاج صفري من MPDالدرجة (Z) درجة) | الإنتاج القياسيالدرجة (P) درجة) | مستوى وهمي (D درجة) | ||
| القطر | 145.5 مم ~ 150.0 مم | ||||
| سماكة | 350 ميكرومتر ± 25 ميكرومتر | ||||
| توجيه الرقاقة | -Offالمحور: 2.0°-4.0° باتجاه [1120] ± 0.5° لـ 4H/6H-P، على المحور: 〈111〉 ± 0.5° لـ 3C-N | ||||
| كثافة الأنابيب الدقيقة | 0 سم-2 | ||||
| المقاومة النوعية | النوع p 4H/6H-P | ≤0.1 أوم سم | ≤0.3 أوم سم | ||
| النوع n 3C-N | ≤0.8 ملي أوم سم | ≤1 م أوم سم | |||
| اتجاه الشقق الأساسية | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| الطول الأساسي المسطح | 32.5 مم ± 2.0 مم | ||||
| الطول المسطح الثانوي | 18.0 مم ± 2.0 مم | ||||
| اتجاه الشقة الثانوية | وجه السيليكون لأعلى: 90 درجة باتجاه عقارب الساعة. من السطح المستوي الأساسي ± 5.0 درجة | ||||
| استبعاد الحواف | 3 مم | 6 مم | |||
| LTV/TTV/Bow /Warp | .52.5 ميكرومتر/55 ميكرومتر/15 ميكرومتر/30 ميكرومتر | ≥10 ميكرومتر / ≥15 ميكرومتر / ≥25 ميكرومتر / ≥40 ميكرومتر | |||
| خشونة | صقل Ra≤1 نانومتر | ||||
| CMP Ra≤0.2 نانومتر | Ra≤0.5 نانومتر | ||||
| تشققات الحواف الناتجة عن الضوء عالي الكثافة | لا أحد | الطول التراكمي ≤ 10 مم، الطول الفردي ≤ 2 مم | |||
| ألواح سداسية بواسطة ضوء عالي الكثافة | المساحة التراكمية ≤ 0.05% | المساحة التراكمية ≤ 0.1% | |||
| مناطق متعددة الأنماط بواسطة ضوء عالي الكثافة | لا أحد | المساحة التراكمية ≤ 3% | |||
| شوائب الكربون المرئية | المساحة التراكمية ≤ 0.05% | المساحة التراكمية ≤3% | |||
| خدوش سطح السيليكون بفعل الضوء عالي الكثافة | لا أحد | الطول التراكمي ≤ 1 × قطر الرقاقة | |||
| رقائق الحواف عالية الكثافة | لا يُسمح بأي شيء بعرض وعمق ≥ 0.2 مم | يُسمح بخمسة، كل منها ≤ 1 مم | |||
| تلوث سطح السيليكون بفعل الكثافة العالية | لا أحد | ||||
| التغليف | علبة متعددة الرقائق أو حاوية رقاقة واحدة | ||||
ملحوظات:
※ تنطبق حدود العيوب على سطح الرقاقة بالكامل باستثناء منطقة الاستبعاد على الحافة. # يجب فحص الخدوش على وجه السيليكون o
تُستخدم رقائق السيليكون كاربيد (SiC) من النوع 4H/6H-P مقاس 6 بوصات، المصنفة بدرجة صفر عيوب التصنيع (Zero MPD) ودرجة الإنتاج أو الدرجة التجريبية، على نطاق واسع في التطبيقات الإلكترونية المتقدمة. وتجعلها موصليتها الحرارية الممتازة، وجهد انهيارها العالي، ومقاومتها للظروف البيئية القاسية، مثاليةً لإلكترونيات الطاقة، مثل مفاتيح ومحولات الجهد العالي. وتضمن درجة صفر عيوب التصنيع (Zero MPD) الحد الأدنى من العيوب، وهو أمر بالغ الأهمية للأجهزة عالية الموثوقية. أما رقائق درجة الإنتاج فتُستخدم في التصنيع واسع النطاق لأجهزة الطاقة وتطبيقات الترددات الراديوية، حيث يُعد الأداء والدقة عنصرين حاسمين. في المقابل، تُستخدم رقائق الدرجة التجريبية في معايرة العمليات، واختبار المعدات، وإنشاء النماذج الأولية، مما يُمكّن من مراقبة الجودة بشكل متسق في بيئات إنتاج أشباه الموصلات.
تشمل مزايا ركائز السيليكون كاربيد المركبة من النوع N ما يلي:
- موصلية حرارية عالية: تعمل رقاقة السيليكون كاربيد 4H/6H-P بكفاءة على تبديد الحرارة، مما يجعلها مناسبة للتطبيقات الإلكترونية ذات درجات الحرارة العالية والطاقة العالية.
- جهد انهيار عاليإن قدرتها على التعامل مع الفولتية العالية دون حدوث أعطال تجعلها مثالية لتطبيقات إلكترونيات الطاقة وتطبيقات التبديل ذات الفولتية العالية.
- درجة صفر عيوب الأنابيب الدقيقةيضمن الحد الأدنى من كثافة العيوب موثوقية وأداءً أعلى، وهو أمر بالغ الأهمية للأجهزة الإلكترونية المتطلبة.
- درجة إنتاجية للتصنيع بكميات كبيرة: مناسب للإنتاج واسع النطاق لأجهزة أشباه الموصلات عالية الأداء ذات معايير الجودة الصارمة.
- نموذج اختبار ومعايرة: يُمكّن من تحسين العمليات واختبار المعدات والنماذج الأولية دون استخدام رقائق السيليكون عالية التكلفة ذات الجودة الإنتاجية.
بشكل عام، توفر رقائق السيليكون كاربيد (SiC) مقاس 6 بوصات من نوع 4H/6H-P، المصنفة إلى ثلاث فئات: فئة خالية من العيوب (Zero MPD)، وفئة إنتاجية، وفئة تجريبية، مزايا كبيرة لتطوير الأجهزة الإلكترونية عالية الأداء. وتُعد هذه الرقائق مفيدة بشكل خاص في التطبيقات التي تتطلب التشغيل في درجات حرارة عالية، وكثافة طاقة عالية، وكفاءة عالية في تحويل الطاقة. تضمن الفئة الخالية من العيوب (Zero MPD) الحد الأدنى من العيوب لأداء موثوق ومستقر للأجهزة، بينما تدعم الرقائق المصنفة للإنتاج عمليات التصنيع واسعة النطاق مع ضوابط جودة صارمة. أما الرقائق التجريبية، فتُوفر حلاً فعالاً من حيث التكلفة لتحسين العمليات ومعايرة المعدات، مما يجعلها ضرورية لتصنيع أشباه الموصلات عالية الدقة.
رسم تخطيطي مفصل
