رقاقة LNOI من نيوبات الليثيوم أحادية البلورة مقاس 4 بوصات و6 بوصات
تنقسم عملية تحضير مواد LNOI بشكل أساسي إلى الخطوات الأربع التالية
(1) تم حقن أيونات الهيليوم في مادة نيوبات الليثيوم المقطوعة على شكل X عند طاقة معينة، وتم إدخالها في طبقة العيب على عمق معين أسفل الطبقة السطحية من نيوبات الليثيوم؛
(2) يتم ربط مادة نيوبات الليثيوم المزروعة بالأيونات بركيزة السيليكون بطبقة أكسيد لتشكيل بنية رابطة؛
(3) تم تسخين بنية الرابطة لجعل العيوب الناتجة عن غرس أيونات الهيليوم تتطور وتتجمع لتكوين شقوق. وأخيرًا، تم فصل نيوبات الليثيوم على طول طبقة العيوب لتشكيل شرائح نيوبات الليثيوم المتبقية ورقائق LNOI.
تطبيقات ومزايا رقاقة LNOI
١- تتميز أغشية نيوبات الليثيوم الكهرضغطية (LNOI) بمعامل كهرضغطي وثابت عزل كهربائي عاليين، مما يسمح بتحويل الطاقة الميكانيكية إلى طاقة كهربائية أو تحويل الطاقة الكهربائية إلى طاقة ميكانيكية. لذلك، تُستخدم على نطاق واسع في مجال المستشعرات، مثل مستشعرات الضغط، ومستشعرات التسارع، ومستشعرات درجة الحرارة، وغيرها. كما تُستخدم أغشية نيوبات الليثيوم الكهرضغطية في الأجهزة الصوتية وأجهزة الاهتزاز، مثل مُركّبات المحولات الخزفية الكهرضغطية والمرشحات الخزفية الكهرضغطية.
٢- من مزايا غشاء نيوبات الليثيوم الكهرضغطي استقرار بنيته البلورية وخموله الكيميائي. بفضل ثبات بنيته البلورية وخموله الكيميائي، يُمكنه العمل في درجات حرارة عالية ورطوبة عالية وأحماض قوية وقلويات قوية وغيرها من البيئات القاسية، مع مقاومة ممتازة للتآكل ومتانة عالية.
3- غشاء كهرضغطي من نيوبات الليثيوم هو مادة كهرضغطية جديدة تتميز بأداء واستقرار ممتازين، ولها تطبيقات واسعة. مع التطور المستمر للعلوم والتكنولوجيا، سيتم استخدام غشاء كهرضغطي من نيوبات الليثيوم في المزيد من المدن، مما يوفر المزيد من الراحة والابتكار في حياة الناس.
مخطط تفصيلي
