رقاقة نيوبات الليثيوم LiNbO3 مقاس 8 بوصات
معلومات تفصيلية
| القطر | 200±0.2 مم |
| تسطح رئيسي | 57.5 مم، شق |
| توجيه | 128Y-Cut، X-Cut، Z-Cut |
| سماكة | 0.5±0.025 مم، 1.0±0.025 مم |
| سطح | DSP و SSP |
| TTV | < 5 ميكرومتر |
| قَوس | ± (20 ميكرومتر ~ 40 ميكرومتر) |
| الالتواء | ≤ 20 ميكرومتر ~ 50 ميكرومتر |
| LTV (5 مم × 5 مم) | <1.5 ميكرومتر |
| PLTV(<0.5um) | ≥98% (5 مم × 5 مم) مع استبعاد حافة 2 مم |
| Ra | Ra<=5A |
| اخدش واحفر (S/D) | 20/10، 40/20، 60/40 |
| حافة | متوافق مع SEMI M1.2@ مع GC800#. عادي من النوع C |
مواصفات محددة
القطر: 8 بوصات (حوالي 200 مم)
السُمك: تتراوح السماكات القياسية الشائعة من 0.5 مم إلى 1 مم. ويمكن تخصيص سماكات أخرى وفقًا لمتطلبات محددة.
اتجاه البلورة: الاتجاه البلوري الأكثر شيوعًا هو اتجاه القطع Y، واتجاه القطع Z، واتجاه القطع X، ويمكن توفير اتجاهات بلورية أخرى حسب التطبيق المحدد.
مزايا الحجم: تتميز رقائق سمك الكارب سيراتا مقاس 8 بوصات بعدة مزايا في الحجم مقارنة بالرقائق الأصغر حجماً:
مساحة أكبر: بالمقارنة مع رقائق السيليكون مقاس 6 بوصات أو 4 بوصات، توفر رقائق السيليكون مقاس 8 بوصات مساحة سطح أكبر ويمكنها استيعاب المزيد من الأجهزة والدوائر المتكاملة، مما يؤدي إلى زيادة كفاءة الإنتاج والإنتاجية.
كثافة أعلى: باستخدام رقائق السيليكون مقاس 8 بوصات، يمكن تحقيق المزيد من الأجهزة والمكونات في نفس المنطقة، مما يزيد من التكامل وكثافة الأجهزة، الأمر الذي بدوره يعزز أداء الجهاز.
اتساق أفضل: تتميز الرقائق الأكبر حجماً باتساق أفضل في عملية الإنتاج، مما يساعد على تقليل التباين في عملية التصنيع وتحسين موثوقية المنتج واتساقه.
تتميز رقائق السيليكون L و LN مقاس 8 بوصات بنفس قطر رقائق السيليكون الشائعة، وهي سهلة الربط. وتُستخدم كمادة عالية الأداء لمرشحات الموجات الصوتية السطحية المفصلية، قادرة على التعامل مع نطاقات الترددات العالية.
رسم تخطيطي مفصل





