آلة تلميع الشعاع الأيوني للياقوت SiC Si

وصف مختصر:

تعتمد آلة تشكيل وتلميع الحزم الأيونية على مبدأرش الأيوناتداخل حجرة عالية التفريغ، يُولّد مصدر أيوني بلازما، تُسرّع إلى شعاع أيوني عالي الطاقة. يقصف هذا الشعاع سطح المكوّن البصري، مزيلًا المادة على المستوى الذري لتحقيق تصحيح سطحي وتشطيب فائق الدقة.

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا

سمات

مخطط تفصيلي

نظرة عامة على منتج آلة تلميع الشعاع الأيوني

تعتمد آلة تشكيل وتلميع شعاع الأيونات على مبدأ الرش الأيوني. داخل حجرة عالية التفريغ، يُولّد مصدر أيوني بلازما، تُسرّع إلى شعاع أيوني عالي الطاقة. يقصف هذا الشعاع سطح المكون البصري، مزيلًا المادة على المستوى الذري لتحقيق تصحيح سطحي وتشطيب فائق الدقة.

باعتبارها عملية غير تلامسية، تعمل عملية تلميع حزمة الأيونات على التخلص من الضغط الميكانيكي وتجنب الأضرار تحت السطح، مما يجعلها مثالية لتصنيع البصريات عالية الدقة المستخدمة في علم الفلك والفضاء وأشباه الموصلات وتطبيقات البحث المتقدمة.

مبدأ عمل آلة تلميع الشعاع الأيوني

توليد الأيونات
يتم إدخال الغاز الخامل (على سبيل المثال الأرجون) إلى حجرة التفريغ ويتم تأينه من خلال التفريغ الكهربائي لتكوين البلازما.

التسارع وتكوين الشعاع
يتم تسريع الأيونات إلى عدة مئات أو آلاف فولت الإلكترون (eV) وتشكيلها في بقعة شعاع مستقرة ومركزة.

إزالة المواد
يقوم شعاع الأيونات بطرد الذرات من السطح دون إثارة تفاعلات كيميائية.

اكتشاف الأخطاء وتخطيط المسار
تُقاس انحرافات شكل السطح باستخدام قياس التداخل. وتُطبّق دوال الإزالة لتحديد أوقات البقاء وإنشاء مسارات أدوات مُحسّنة.

تصحيح الحلقة المغلقة
تستمر الدورات التكرارية للمعالجة والقياس حتى يتم تحقيق أهداف الدقة RMS/PV.

الميزات الرئيسية لآلة تلميع الشعاع الأيوني

التوافق العالمي للأسطح- معالجة الأسطح المسطحة والكروية وغير الكروية والحرة

معدل إزالة فائق الاستقرار- تمكين تصحيح الشكل الفرعي للنانومتر

معالجة خالية من التلف- لا توجد عيوب تحت السطح أو تغييرات هيكلية

أداء ثابت- يعمل بشكل جيد على المواد ذات الصلابة المتفاوتة

تصحيح التردد المنخفض/المتوسط- يزيل الأخطاء دون توليد آثار ترددات متوسطة/عالية

متطلبات صيانة منخفضة- تشغيل مستمر لفترة طويلة مع الحد الأدنى من وقت التوقف

المواصفات الفنية الرئيسية لآلة تلميع الشعاع الأيوني

غرض	مواصفة
طريقة المعالجة	رش الأيونات في بيئة عالية الفراغ
نوع المعالجة	تشكيل وتلميع الأسطح غير التلامسية
الحد الأقصى لحجم قطعة العمل	Φ4000 مم
محاور الحركة	3 محاور / 5 محاور
استقرار الإزالة	≥95%
دقة السطح	PV < 10 نانومتر؛ RMS ≤ 0.5 نانومتر (RMS نموذجي < 1 نانومتر؛ PV < 15 نانومتر)
قدرة تصحيح التردد	يزيل أخطاء التردد المنخفض والمتوسط دون إدخال أخطاء التردد المتوسط/العالي
التشغيل المستمر	3-5 أسابيع بدون صيانة الفراغ
تكلفة الصيانة	قليل

قدرات المعالجة لآلة تلميع الحزم الأيونية

أنواع الأسطح المدعومة

بسيط: مسطح، كروي، منشوري

مركب: كرة غير متماثلة/غير متماثلة، كرة غير محورية، أسطوانية

خاص: البصريات فائقة الرقة، البصريات الشرائحية، البصريات نصف الكروية، البصريات المطابقة، صفائح الطور، الأسطح ذات الشكل الحر

المواد المدعومة

الزجاج البصري: الكوارتز، والميكروكريستالين، وK9، وما إلى ذلك.

المواد تحت الحمراء: السيليكون، الجرمانيوم، الخ.

المعادن: الألومنيوم، الفولاذ المقاوم للصدأ، سبائك التيتانيوم، الخ.

البلورات: YAG، كربيد السيليكون أحادي البلورة، إلخ.

المواد الصلبة/الهشة: كربيد السيليكون، وما إلى ذلك.

جودة السطح / الدقة

PV < 10 نانومتر

RMS ≤ 0.5 نانومتر

دراسات حالة معالجة آلة تلميع الحزم الأيونية

الحالة 1 – المرآة المسطحة القياسية

قطعة العمل: كوارتز مسطح D630 مم

النتيجة: PV 46.4 نانومتر؛ RMS 4.63 نانومتر

الحالة 2 – المرآة العاكسة للأشعة السينية

قطعة العمل: 150 × 30 مم من السيليكون المسطح

النتيجة: PV 8.3 نانومتر؛ RMS 0.379 نانومتر؛ الميل 0.13 ميكروراد

الحالة 3 - المرآة خارج المحور

قطعة العمل: مرآة أرضية خارج المحور مقاس D326 مم

النتيجة: PV 35.9 نانومتر؛ RMS 3.9 نانومتر

الأسئلة الشائعة حول نظارات الكوارتز

الأسئلة الشائعة – آلة تلميع الشعاع الأيوني

س1: ما هو تلميع شعاع الأيونات؟
أ1:تلميع الحزم الأيونية عملية غير تلامسية تستخدم شعاعًا مُركّزًا من الأيونات (مثل أيونات الأرجون) لإزالة المواد من سطح قطعة العمل. تُسرّع الأيونات وتُوجّه نحو السطح، مما يُؤدي إلى إزالة المواد على المستوى الذري، وينتج عنه تشطيبات فائقة النعومة. تُزيل هذه العملية الإجهاد الميكانيكي والتلف تحت السطح، مما يجعلها مثالية للمكونات البصرية الدقيقة.

س2: ما هي أنواع الأسطح التي يمكن لآلة تلميع شعاع الأيونات معالجتها؟
أ2:الآلة تلميع الشعاع الأيونييمكنه معالجة مجموعة متنوعة من الأسطح، بما في ذلك المكونات البصرية البسيطة مثلالمسطحات والكرات والمناشير، وكذلك الهندسة المعقدة مثلالكرات غير المحورية، الكرات غير المحورية، والأسطح ذات الشكل الحروهو فعال بشكل خاص على المواد مثل الزجاج البصري، والبصريات تحت الحمراء، والمعادن، والمواد الصلبة/الهشة.

س3: ما هي المواد التي يمكن لآلة تلميع شعاع الأيونات العمل معها؟
أ3:الآلة تلميع الشعاع الأيونييمكن تلميع مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك:

الزجاج البصري: الكوارتز، الميكروبلوري، K9، الخ.
المواد تحت الحمراء:السيليكون والجرمانيوم وما إلى ذلك.
المعادن:الألومنيوم، الفولاذ المقاوم للصدأ، سبائك التيتانيوم، الخ.
المواد البلورية:YAG، كربيد السيليكون أحادي البلورة، وما إلى ذلك.
مواد صلبة/هشة أخرى:كربيد السيليكون، الخ.

معلومات عنا

تتخصص شركة XKH في تطوير وإنتاج وبيع الزجاج البصري الخاص ومواد الكريستال الجديدة عالية التقنية. تخدم منتجاتنا الإلكترونيات البصرية، والإلكترونيات الاستهلاكية، والقطاعات العسكرية. نقدم مكونات بصرية من الياقوت، وأغطية عدسات الهواتف المحمولة، والسيراميك، وLT، وSIC كربيد السيليكون، والكوارتز، ورقائق الكريستال شبه الموصل. بفضل خبرتنا الماهرة ومعداتنا المتطورة، نتميز في معالجة المنتجات غير القياسية، ونسعى لأن نكون شركة رائدة في مجال المواد البصرية الإلكترونية عالية التقنية.