رقاقة P-type SiC 4H/6H-P 3C-N 6 بوصة سماكة 350 ميكرومتر مع اتجاه مسطح أساسي
المواصفات4H/6H-P نوع SiC الركائز المركبة جدول المعلمات المشتركة
6 بوصة قطرها كربيد السيليكون (SiC) الركيزة مواصفة
| درجة | إنتاج صفر MPDالصف (ز درجة) | الإنتاج القياسيالصف (ف درجة) | الصف الوهمي (D درجة) | ||
| القطر | 145.5 ملم ~ 150.0 ملم | ||||
| سماكة | 350 ميكرومتر ± 25 ميكرومتر | ||||
| اتجاه الرقاقة | -Offالمحور: 2.0°-4.0° باتجاه [1120] ± 0.5° لـ 4H/6H-P، على المحور: 〈111〉± 0.5° لـ 3C-N | ||||
| كثافة الأنابيب الدقيقة | 0 سم-2 | ||||
| المقاومة | ف-نوع 4H/6H-P | .10.1 أوم.سم | .30.3 أوم.سم | ||
| ن-نوع 3C-N | ≥0.8 مΩꞏسم | ≥1 م Ωꞏسم | |||
| التوجه المسطح الأساسي | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| الطول المسطح الأساسي | 32.5 ملم ± 2.0 ملم | ||||
| الطول المسطح الثانوي | 18.0 ملم ± 2.0 ملم | ||||
| التوجه المسطح الثانوي | وجه السيليكون لأعلى: 90 درجة مئوية. من Prime flat ± 5.0° | ||||
| استبعاد الحافة | 3 ملم | 6 ملم | |||
| LTV/TTV/القوس/الاعوجاج | .52.5 ميكرومتر/55 ميكرومتر/15 ميكرومتر/30 ميكرومتر | ≥10 ميكرومتر / ≥15 ميكرومتر / ≥25 ميكرومتر / ≥40 ميكرومتر | |||
| خشونة | البولندية Ra 1 نانومتر | ||||
| CMP Ra ≥0.2 نانومتر | Ra<0.5 نانومتر | ||||
| شقوق الحواف بواسطة ضوء عالي الكثافة | لا أحد | الطول التراكمي ≥ 10 مم، الطول المفرد ≥2 مم | |||
| لوحات سداسية بواسطة ضوء عالي الكثافة | المساحة التراكمية .050.05% | المساحة التراكمية .10.1% | |||
| مناطق Polytype بواسطة ضوء عالي الكثافة | لا أحد | المساحة التراكمية ≥3% | |||
| ادراج الكربون المرئي | المساحة التراكمية .050.05% | المساحة التراكمية ≥3% | |||
| خدوش سطح السيليكون بواسطة ضوء عالي الكثافة | لا أحد | الطول التراكمي ≥1 × قطر الرقاقة | |||
| رقائق الحافة عالية بواسطة ضوء الشدة | لا شيء مسموح به بعرض وعمق ≥0.2 مم | 5 مسموح بها، 1 مم لكل منها | |||
| تلوث سطح السيليكون بكثافة عالية | لا أحد | ||||
| التعبئة والتغليف | علبة بسكويت الويفر المتعددة أو حاوية الويفر المفردة | ||||
ملحوظات:
※ تنطبق حدود العيوب على سطح الرقاقة بأكمله باستثناء منطقة استبعاد الحافة. # يجب فحص الخدوش على وجه Si o
تلعب رقاقة SiC من النوع P، 4H/6H-P 3C-N، بحجمها 6 بوصة وسمكها 350 ميكرومتر، دورًا حاسمًا في الإنتاج الصناعي لإلكترونيات الطاقة عالية الأداء. إن موصليتها الحرارية الممتازة وجهد الانهيار العالي يجعلها مثالية لتصنيع المكونات مثل مفاتيح الطاقة، والثنائيات، والترانزستورات المستخدمة في البيئات ذات درجات الحرارة العالية مثل السيارات الكهربائية وشبكات الطاقة وأنظمة الطاقة المتجددة. تضمن قدرة الرقاقة على العمل بكفاءة في الظروف القاسية أداءً موثوقًا به في التطبيقات الصناعية التي تتطلب كثافة طاقة عالية وكفاءة في استخدام الطاقة. بالإضافة إلى ذلك، يساعد اتجاهه المسطح الأساسي في المحاذاة الدقيقة أثناء تصنيع الجهاز، مما يعزز كفاءة الإنتاج واتساق المنتج.
تشمل مزايا الركائز المركبة من النوع N SiC
- الموصلية الحرارية العالية: تعمل رقائق SiC من النوع P على تبديد الحرارة بكفاءة، مما يجعلها مثالية لتطبيقات درجات الحرارة العالية.
- ارتفاع الجهد انهيار: قادر على تحمل الفولتية العالية، مما يضمن الموثوقية في إلكترونيات الطاقة وأجهزة الجهد العالي.
- مقاومة البيئات القاسية: متانة ممتازة في الظروف القاسية، مثل درجات الحرارة المرتفعة والبيئات المسببة للتآكل.
- تحويل الطاقة بكفاءة: يسهل التطعيم من النوع P التعامل بكفاءة مع الطاقة، مما يجعل الرقاقة مناسبة لأنظمة تحويل الطاقة.
- التوجه المسطح الأساسي: يضمن المحاذاة الدقيقة أثناء التصنيع، مما يحسن دقة الجهاز واتساقه.
- هيكل رقيق (350 ميكرومتر): السُمك الأمثل للرقاقة يدعم التكامل مع الأجهزة الإلكترونية المتقدمة ذات المساحة المحدودة.
بشكل عام، توفر رقاقة SiC من النوع P، 4H/6H-P 3C-N، مجموعة من المزايا التي تجعلها مناسبة للغاية للتطبيقات الصناعية والإلكترونية. تتيح الموصلية الحرارية العالية والجهد الكهربي التشغيل الموثوق به في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والجهد العالي، بينما تضمن مقاومتها للظروف القاسية المتانة. يسمح التطعيم من النوع P بتحويل الطاقة بكفاءة، مما يجعله مثاليًا لإلكترونيات الطاقة وأنظمة الطاقة. بالإضافة إلى ذلك، يضمن الاتجاه المسطح الأساسي للرقاقة محاذاة دقيقة أثناء عملية التصنيع، مما يعزز اتساق الإنتاج. بسمك 350 ميكرومتر، فهو مناسب تمامًا للدمج في الأجهزة المتقدمة والمدمجة.
مخطط تفصيلي
