معدات قطع حلقات الرقاقة الأوتوماتيكية بالكامل بحجم عمل 8 بوصة/12 بوصة لقطع حلقات الرقاقة
المعايير الفنية
المعلمة | وحدة | مواصفة |
الحد الأقصى لحجم قطعة العمل | mm | ø12 بوصة |
مغزل | إعدادات | المغزل الفردي |
سرعة | 3000–60000 دورة في الدقيقة | |
طاقة الإخراج | 1.8 كيلو وات (2.4 اختياري) عند 30000 دقيقة⁻¹ | |
أقصى قطر للشفرة. | Ø58 ملم | |
المحور السيني | نطاق القطع | 310 ملم |
المحور Y | نطاق القطع | 310 ملم |
زيادة الخطوة | 0.0001 ملم | |
دقة تحديد المواقع | ≤0.003 مم/310 مم، ≤0.002 مم/5 مم (خطأ واحد) | |
المحور Z | دقة الحركة | 0.00005 ملم |
القدرة على التكرار | 0.001 ملم | |
المحور θ | أقصى دوران | 380 درجة |
نوع المغزل | مغزل واحد مزود بشفرة صلبة لقطع الحلقات | |
دقة قطع الحلقات | ميكرومتر | ±50 |
دقة وضع الرقاقة | ميكرومتر | ±50 |
كفاءة الرقاقة الفردية | دقيقة/رقاقة | 8 |
كفاءة الرقاقات المتعددة | تتم معالجة ما يصل إلى 4 رقائق في وقت واحد | |
وزن المعدات | kg | ≈3,200 |
أبعاد المعدات (العرض × العمق × الارتفاع) | mm | 2,730 × 1,550 × 2,070 |
مبدأ التشغيل
يحقق النظام أداءً استثنائيًا في التشذيب من خلال هذه التقنيات الأساسية:
1.نظام التحكم الذكي في الحركة:
· محرك خطي عالي الدقة (دقة تحديد المواقع المتكررة: ±0.5 ميكرومتر)
· التحكم المتزامن بستة محاور يدعم تخطيط المسار المعقد
· خوارزميات قمع الاهتزاز في الوقت الفعلي لضمان استقرار القطع
2. نظام الكشف المتقدم:
· مستشعر ارتفاع ليزر ثلاثي الأبعاد متكامل (دقة: 0.1 ميكرومتر)
· تحديد المواقع البصرية عالية الدقة باستخدام CCD (5 ميجابكسل)
· وحدة فحص الجودة عبر الإنترنت
3. عملية آلية بالكامل:
· التحميل/التفريغ التلقائي (متوافق مع واجهة FOUP القياسية)
· نظام فرز ذكي
· وحدة تنظيف ذات حلقة مغلقة (النظافة: الفئة 10)
التطبيقات النموذجية
توفر هذه المعدات قيمة كبيرة عبر تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات:
مجال التطبيق | مواد العملية | المزايا التقنية |
تصنيع الدوائر المتكاملة | رقائق السيليكون مقاس 8/12 بوصة | يعزز محاذاة الطباعة الحجرية |
أجهزة الطاقة | رقائق SiC/GaN | يمنع عيوب الحافة |
أجهزة استشعار MEMS | رقائق SOI | يضمن موثوقية الجهاز |
أجهزة التردد اللاسلكي | رقائق GaAs | تحسين أداء التردد العالي |
التعبئة والتغليف المتقدمة | رقائق معاد تكوينها | يزيد من إنتاجية التعبئة والتغليف |
سمات
1. تكوين أربع محطات لكفاءة معالجة عالية؛
2. إزالة وتفكيك حلقات TAIKO المستقرة؛
3. التوافق العالي مع المواد الاستهلاكية الرئيسية؛
4. تضمن تقنية التشذيب المتزامن متعدد المحاور قطع الحافة بدقة؛
5. إن سير العملية المؤتمت بالكامل يقلل بشكل كبير من تكاليف العمالة؛
6. تصميم طاولة العمل المخصصة يتيح المعالجة المستقرة للهياكل الخاصة؛
الوظائف
1.نظام الكشف عن سقوط الحلقة؛
2. تنظيف طاولة العمل تلقائيًا؛
3. نظام إزالة الترابط بالأشعة فوق البنفسجية الذكي؛
4. تسجيل سجل التشغيل؛
5.تكامل وحدة أتمتة المصنع؛
الالتزام بالخدمة
توفر XKH خدمات دعم شاملة لدورة حياة كاملة مصممة لتعظيم أداء المعدات والكفاءة التشغيلية طوال رحلة الإنتاج الخاصة بك.
1. خدمات التخصيص
· تكوين المعدات المخصصة: يتعاون فريق الهندسة لدينا بشكل وثيق مع العملاء لتحسين معلمات النظام (سرعة القطع، واختيار الشفرة، وما إلى ذلك) بناءً على خصائص المواد المحددة (Si / SiC / GaAs) ومتطلبات العملية.
· دعم تطوير العملية: نحن نقدم معالجة العينات مع تقارير تحليل مفصلة بما في ذلك قياس خشونة الحافة ورسم خرائط العيوب.
· التطوير المشترك للمواد الاستهلاكية: بالنسبة للمواد الجديدة (على سبيل المثال، Ga₂O₃)، فإننا نتعاون مع الشركات المصنعة الرائدة للمواد الاستهلاكية لتطوير شفرات/بصريات ليزر خاصة بالتطبيق.
2. الدعم الفني المهني
· دعم مخصص في الموقع: تعيين مهندسين معتمدين لمراحل الإعداد الحرجة (عادةً من 2 إلى 4 أسابيع)، والتي تغطي:
معايرة المعدات وضبط العمليات
تدريب كفاءة المشغل
دليل تكامل الغرف النظيفة وفقًا لمعايير ISO الفئة 5
· الصيانة التنبؤية: فحوصات صحية ربع سنوية مع تحليل الاهتزاز وتشخيص المحرك المؤازر لمنع التوقف غير المخطط له.
· المراقبة عن بعد: تتبع أداء المعدات في الوقت الفعلي من خلال منصة إنترنت الأشياء (JCFront Connect®) مع تنبيهات الشذوذ الآلية.
3. الخدمات ذات القيمة المضافة
· قاعدة معرفة العملية: الوصول إلى أكثر من 300 وصفة قطع معتمدة لمواد مختلفة (يتم تحديثها ربع سنويًا).
· مواءمة خارطة الطريق التكنولوجية: تأمين استثماراتك في المستقبل من خلال مسارات ترقية الأجهزة/البرامج (على سبيل المثال، وحدة الكشف عن العيوب المستندة إلى الذكاء الاصطناعي).
· الاستجابة للطوارئ: ضمان التشخيص عن بعد لمدة 4 ساعات والتدخل في الموقع لمدة 48 ساعة (تغطية عالمية).
4. البنية التحتية للخدمة
· ضمان الأداء: التزام تعاقدي بتوفير وقت تشغيل للمعدات بنسبة ≥98% مع أوقات استجابة مدعومة باتفاقية مستوى الخدمة.
التحسين المستمر
نُجري استطلاعات رأي نصف سنوية لرضا العملاء ونُطبّق مبادرات كايزن لتحسين تقديم الخدمات. يُترجم فريق البحث والتطوير لدينا رؤىً ميدانيةً إلى ترقياتٍ في المعدات - 30% من تحسينات البرامج الثابتة نابعة من ملاحظات العملاء.

