معدات قطع حلقات الرقاقة الأوتوماتيكية بالكامل بحجم عمل 8 بوصة/12 بوصة لقطع حلقات الرقاقة

وصف مختصر:

طورت شركة XKH بشكل مستقل نظامًا آليًا بالكامل لتشذيب حواف الرقاقات، وهو حل متطور مصمم لعمليات تصنيع أشباه الموصلات الأولية. يتضمن هذا الجهاز تقنية تحكم متزامنة متعددة المحاور مبتكرة، ويتميز بنظام مغزل عالي الصلابة (أقصى سرعة دوران: 60,000 دورة في الدقيقة)، مما يوفر تشذيبًا دقيقًا للحواف بدقة قطع تصل إلى ±5 ميكرومتر. يتميز النظام بتوافق ممتاز مع مختلف ركائز أشباه الموصلات، بما في ذلك على سبيل المثال لا الحصر:
1. رقائق السيليكون (Si): مناسبة لمعالجة حواف الرقائق مقاس 8-12 بوصة؛
2. أشباه الموصلات المركبة: مواد أشباه الموصلات من الجيل الثالث مثل GaAs وSiC؛
3. ركائز خاصة: رقائق المواد الكهرضغطية بما في ذلك LT/LN؛

يدعم التصميم المعياري الاستبدال السريع للعديد من المواد الاستهلاكية، بما في ذلك شفرات الماس ورؤوس القطع بالليزر، بتوافق يفوق معايير الصناعة. لتلبية متطلبات العمليات المتخصصة، نقدم حلولاً شاملة تشمل:
· توريد مواد استهلاكية مخصصة للقطع
· خدمات المعالجة المخصصة
· حلول تحسين معلمات العملية


  • :
  • سمات

    المعايير الفنية

    المعلمة وحدة مواصفة
    الحد الأقصى لحجم قطعة العمل mm ø12 بوصة
    مغزل    إعدادات المغزل الفردي
    سرعة 3000–60000 دورة في الدقيقة
    طاقة الإخراج 1.8 كيلو وات (2.4 اختياري) عند 30000 دقيقة⁻¹
    أقصى قطر للشفرة. Ø58 ملم
    المحور السيني نطاق القطع 310 ملم
    المحور Y   نطاق القطع 310 ملم
    زيادة الخطوة 0.0001 ملم
    دقة تحديد المواقع ≤0.003 مم/310 مم، ≤0.002 مم/5 مم (خطأ واحد)
    المحور Z  دقة الحركة 0.00005 ملم
    القدرة على التكرار 0.001 ملم
    المحور θ أقصى دوران 380 درجة
    نوع المغزل   مغزل واحد مزود بشفرة صلبة لقطع الحلقات
    دقة قطع الحلقات ميكرومتر ±50
    دقة وضع الرقاقة ميكرومتر ±50
    كفاءة الرقاقة الفردية دقيقة/رقاقة 8
    كفاءة الرقاقات المتعددة   تتم معالجة ما يصل إلى 4 رقائق في وقت واحد
    وزن المعدات kg ≈3,200
    أبعاد المعدات (العرض × العمق × الارتفاع) mm 2,730 × 1,550 × 2,070

    مبدأ التشغيل

    يحقق النظام أداءً استثنائيًا في التشذيب من خلال هذه التقنيات الأساسية:

    1.نظام التحكم الذكي في الحركة:
    · محرك خطي عالي الدقة (دقة تحديد المواقع المتكررة: ±0.5 ميكرومتر)
    · التحكم المتزامن بستة محاور يدعم تخطيط المسار المعقد
    · خوارزميات قمع الاهتزاز في الوقت الفعلي لضمان استقرار القطع

    2. نظام الكشف المتقدم:
    · مستشعر ارتفاع ليزر ثلاثي الأبعاد متكامل (دقة: 0.1 ميكرومتر)
    · تحديد المواقع البصرية عالية الدقة باستخدام CCD (5 ميجابكسل)
    · وحدة فحص الجودة عبر الإنترنت

    3. عملية آلية بالكامل:
    · التحميل/التفريغ التلقائي (متوافق مع واجهة FOUP القياسية)
    · نظام فرز ذكي
    · وحدة تنظيف ذات حلقة مغلقة (النظافة: الفئة 10)

    التطبيقات النموذجية

    توفر هذه المعدات قيمة كبيرة عبر تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات:

    مجال التطبيق مواد العملية المزايا التقنية
    تصنيع الدوائر المتكاملة رقائق السيليكون مقاس 8/12 بوصة يعزز محاذاة الطباعة الحجرية
    أجهزة الطاقة رقائق SiC/GaN يمنع عيوب الحافة
    أجهزة استشعار MEMS رقائق SOI يضمن موثوقية الجهاز
    أجهزة التردد اللاسلكي رقائق GaAs تحسين أداء التردد العالي
    التعبئة والتغليف المتقدمة رقائق معاد تكوينها يزيد من إنتاجية التعبئة والتغليف

    سمات

    1. تكوين أربع محطات لكفاءة معالجة عالية؛
    2. إزالة وتفكيك حلقات TAIKO المستقرة؛
    3. التوافق العالي مع المواد الاستهلاكية الرئيسية؛
    4. تضمن تقنية التشذيب المتزامن متعدد المحاور قطع الحافة بدقة؛
    5. إن سير العملية المؤتمت بالكامل يقلل بشكل كبير من تكاليف العمالة؛
    6. تصميم طاولة العمل المخصصة يتيح المعالجة المستقرة للهياكل الخاصة؛

    الوظائف

    1.نظام الكشف عن سقوط الحلقة؛
    2. تنظيف طاولة العمل تلقائيًا؛
    3. نظام إزالة الترابط بالأشعة فوق البنفسجية الذكي؛
    4. تسجيل سجل التشغيل؛
    5.تكامل وحدة أتمتة المصنع؛

    الالتزام بالخدمة

    توفر XKH خدمات دعم شاملة لدورة حياة كاملة مصممة لتعظيم أداء المعدات والكفاءة التشغيلية طوال رحلة الإنتاج الخاصة بك.
    1. خدمات التخصيص
    · تكوين المعدات المخصصة: يتعاون فريق الهندسة لدينا بشكل وثيق مع العملاء لتحسين معلمات النظام (سرعة القطع، واختيار الشفرة، وما إلى ذلك) بناءً على خصائص المواد المحددة (Si / SiC / GaAs) ومتطلبات العملية.
    · دعم تطوير العملية: نحن نقدم معالجة العينات مع تقارير تحليل مفصلة بما في ذلك قياس خشونة الحافة ورسم خرائط العيوب.
    · التطوير المشترك للمواد الاستهلاكية: بالنسبة للمواد الجديدة (على سبيل المثال، Ga₂O₃)، فإننا نتعاون مع الشركات المصنعة الرائدة للمواد الاستهلاكية لتطوير شفرات/بصريات ليزر خاصة بالتطبيق.

    2. الدعم الفني المهني
    · دعم مخصص في الموقع: تعيين مهندسين معتمدين لمراحل الإعداد الحرجة (عادةً من 2 إلى 4 أسابيع)، والتي تغطي:
    معايرة المعدات وضبط العمليات
    تدريب كفاءة المشغل
    دليل تكامل الغرف النظيفة وفقًا لمعايير ISO الفئة 5
    · الصيانة التنبؤية: فحوصات صحية ربع سنوية مع تحليل الاهتزاز وتشخيص المحرك المؤازر لمنع التوقف غير المخطط له.
    · المراقبة عن بعد: تتبع أداء المعدات في الوقت الفعلي من خلال منصة إنترنت الأشياء (JCFront Connect®) مع تنبيهات الشذوذ الآلية.

    3. الخدمات ذات القيمة المضافة
    · قاعدة معرفة العملية: الوصول إلى أكثر من 300 وصفة قطع معتمدة لمواد مختلفة (يتم تحديثها ربع سنويًا).
    · مواءمة خارطة الطريق التكنولوجية: تأمين استثماراتك في المستقبل من خلال مسارات ترقية الأجهزة/البرامج (على سبيل المثال، وحدة الكشف عن العيوب المستندة إلى الذكاء الاصطناعي).
    · الاستجابة للطوارئ: ضمان التشخيص عن بعد لمدة 4 ساعات والتدخل في الموقع لمدة 48 ساعة (تغطية عالمية).

    4. البنية التحتية للخدمة
    · ضمان الأداء: التزام تعاقدي بتوفير وقت تشغيل للمعدات بنسبة ≥98% مع أوقات استجابة مدعومة باتفاقية مستوى الخدمة.

    التحسين المستمر

    نُجري استطلاعات رأي نصف سنوية لرضا العملاء ونُطبّق مبادرات كايزن لتحسين تقديم الخدمات. يُترجم فريق البحث والتطوير لدينا رؤىً ميدانيةً إلى ترقياتٍ في المعدات - 30% من تحسينات البرامج الثابتة نابعة من ملاحظات العملاء.

    معدات قطع حلقات الرقاقة الأوتوماتيكية بالكامل 7
    معدات قطع حلقات الرقاقة الأوتوماتيكية بالكامل 8

  • سابق:
  • التالي:

  • اكتب رسالتك هنا وأرسلها لنا