معدات قطع حلقات الرقائق الأوتوماتيكية بالكامل، مقاس العمل 8 بوصة / 12 بوصة

معدات تقطيع حلقات الرقاقات الأوتوماتيكية بالكامل، مقاس العمل 8 بوصة / 12 بوصة، صورة توضيحية

وصف مختصر:

طورت شركة XKH بشكل مستقل نظامًا آليًا بالكامل لتشذيب حواف الرقاقات، يمثل حلاً متطورًا مصممًا لعمليات تصنيع أشباه الموصلات في المراحل الأولى. يشتمل هذا الجهاز على تقنية تحكم متزامنة متعددة المحاور مبتكرة، ويتميز بنظام مغزل عالي الصلابة (سرعة دوران قصوى: 60,000 دورة في الدقيقة)، مما يوفر تشذيبًا دقيقًا للحواف بدقة قطع تصل إلى ±5 ميكرومتر. يتميز النظام بتوافق ممتاز مع مختلف ركائز أشباه الموصلات، بما في ذلك على سبيل المثال لا الحصر:
1. رقائق السيليكون (Si): مناسبة لمعالجة حواف الرقائق التي يتراوح قطرها بين 8 و12 بوصة؛
2. أشباه الموصلات المركبة: مواد أشباه الموصلات من الجيل الثالث مثل GaAs و SiC؛
3. ركائز خاصة: رقائق من المواد الكهروإجهادية بما في ذلك LT/LN؛

يدعم التصميم المعياري الاستبدال السريع للعديد من المواد الاستهلاكية، بما في ذلك شفرات الماس ورؤوس القطع بالليزر، مع توافق يتجاوز معايير الصناعة. ولتلبية متطلبات العمليات المتخصصة، نقدم حلولاً شاملة تتضمن ما يلي:
· توريد مخصص لمواد القطع الاستهلاكية
· خدمات المعالجة المخصصة
· حلول تحسين معلمات العملية

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا

سمات

المعايير الفنية

المعلمة	وحدة	مواصفة
أقصى حجم لقطعة العمل	mm	ø12"
مغزل	إعدادات	مغزل واحد
	سرعة	3000–60000 دورة في الدقيقة
	طاقة الخرج	1.8 كيلوواط (2.4 كيلوواط اختياري) عند 30,000 دورة في الدقيقة⁻¹
	أقصى قطر للشفرة	Ø58 مم
المحور السيني	نطاق القطع	310 مم
المحور الصادي	نطاق القطع	310 مم
	زيادة الخطوة	0.0001 مم
	دقة تحديد المواقع	≤0.003 مم/310 مم، ≤0.002 مم/5 مم (خطأ واحد)
المحور Z	قرار الحركة	0.00005 مم
المحور Z	قابلية التكرار	0.001 مم
محور θ	أقصى دوران	380 درجة
نوع المغزل		مغزل واحد، مزود بشفرة صلبة لقطع الحلقات
دقة قطع الخواتم	ميكرومتر	±50
دقة تحديد موضع الرقاقة	ميكرومتر	±50
كفاءة الرقاقة الواحدة	رقاقة صغيرة/رقاقة	8
كفاءة متعددة الرقاقات		معالجة ما يصل إلى 4 رقائق في وقت واحد
وزن المعدات	kg	≈3200
أبعاد المعدات (العرض × العمق × الارتفاع)	mm	2730 × 1550 × 2070

مبدأ التشغيل

يحقق النظام أداءً استثنائياً في التشذيب من خلال هذه التقنيات الأساسية:

1. نظام التحكم الذكي في الحركة:
· محرك خطي عالي الدقة (دقة تحديد المواقع المتكررة: ±0.5 ميكرومتر)
• نظام تحكم متزامن سداسي المحاور يدعم تخطيط المسارات المعقدة
· خوارزميات كبح الاهتزاز في الوقت الفعلي لضمان استقرار القطع

2. نظام الكشف المتقدم:
• مستشعر ارتفاع ليزري ثلاثي الأبعاد مدمج (الدقة: 0.1 ميكرومتر)
• تحديد المواقع البصرية باستخدام مستشعر CCD عالي الدقة (5 ميجابكسل)
· وحدة فحص الجودة عبر الإنترنت

3. عملية مؤتمتة بالكامل:
• التحميل/التفريغ التلقائي (متوافق مع واجهة معيار FOUP)
نظام فرز ذكي
• وحدة تنظيف ذات حلقة مغلقة (مستوى النظافة: الفئة 10)

التطبيقات النموذجية

توفر هذه المعدات قيمة كبيرة في تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات:

مجال التطبيق	مواد المعالجة	المزايا التقنية
تصنيع الدوائر المتكاملة	رقائق سيليكون 8/12 بوصة	تحسين محاذاة الطباعة الحجرية
أجهزة الطاقة	رقائق السيليكون كاربيد/الغاليوم نتريد	يمنع عيوب الحواف
مستشعرات MEMS	رقائق السيليكون على العازل (SOI)	يضمن موثوقية الجهاز
أجهزة الترددات اللاسلكية	رقائق زرنيخيد الغاليوم	يحسن الأداء عالي التردد
التغليف المتقدم	رقائق معاد تشكيلها	يزيد من إنتاجية التعبئة والتغليف

سمات

1. تكوين بأربع محطات لتحقيق كفاءة معالجة عالية؛
2. فك وإزالة حلقات تايكو المستقرة؛
3. توافق عالٍ مع المواد الاستهلاكية الرئيسية؛
4. تضمن تقنية التشذيب المتزامن متعدد المحاور دقة قطع الحواف؛
5. يساهم تدفق العمليات المؤتمت بالكامل في خفض تكاليف العمالة بشكل كبير؛
6. تصميم طاولة العمل حسب الطلب يتيح معالجة مستقرة للهياكل الخاصة؛

الوظائف

1. نظام كشف سقوط الحلقة؛
2. تنظيف طاولة العمل تلقائيًا؛
3. نظام ذكي لإزالة الوصلات بالأشعة فوق البنفسجية؛
4. تسجيل سجل العمليات؛
5. دمج وحدة أتمتة المصنع؛

التزام الخدمة

تقدم شركة XKH خدمات دعم شاملة ومتكاملة لدورة حياة المعدات، مصممة لزيادة أداء المعدات وكفاءة التشغيل إلى أقصى حد طوال رحلة الإنتاج الخاصة بك.
1. خدمات التخصيص
· تكوين المعدات المصممة خصيصًا: يتعاون فريقنا الهندسي بشكل وثيق مع العملاء لتحسين معلمات النظام (سرعة القطع، واختيار الشفرة، وما إلى ذلك) بناءً على خصائص المواد المحددة (Si/SiC/GaAs) ومتطلبات العملية.
· دعم تطوير العمليات: نقدم معالجة العينات مع تقارير تحليل مفصلة تشمل قياس خشونة الحواف ورسم خرائط العيوب.
• التطوير المشترك للمواد الاستهلاكية: بالنسبة للمواد الجديدة (مثل Ga₂O₃)، فإننا نتعاون مع الشركات المصنعة الرائدة للمواد الاستهلاكية لتطوير شفرات/بصريات ليزر خاصة بالتطبيقات.

2. الدعم الفني الاحترافي
• دعم ميداني متخصص: تعيين مهندسين معتمدين لمراحل التشغيل الحرجة (عادةً من أسبوعين إلى أربعة أسابيع)، والتي تغطي ما يلي:
معايرة المعدات وضبط العمليات بدقة
التدريب على كفاءة المشغل
إرشادات دمج غرف التنظيف من الفئة ISO 5
• الصيانة التنبؤية: فحوصات صحية ربع سنوية مع تحليل الاهتزازات وتشخيص محركات المؤازرة لمنع التوقف غير المخطط له.
• المراقبة عن بعد: تتبع أداء المعدات في الوقت الفعلي من خلال منصة إنترنت الأشياء الخاصة بنا (JCFront Connect®) مع تنبيهات تلقائية عن الحالات الشاذة.

3. الخدمات ذات القيمة المضافة
• قاعدة المعرفة بالعمليات: الوصول إلى أكثر من 300 وصفة قطع معتمدة لمختلف المواد (يتم تحديثها كل ثلاثة أشهر).
• مواءمة خارطة الطريق التكنولوجية: احمِ استثمارك من خلال مسارات ترقية الأجهزة/البرامج (على سبيل المثال، وحدة الكشف عن العيوب القائمة على الذكاء الاصطناعي).
· الاستجابة الطارئة: تشخيص عن بعد 4 ساعات مضمون وتدخل في الموقع خلال 48 ساعة (تغطية عالمية).

4. البنية التحتية للخدمات
· ضمان الأداء: التزام تعاقدي بنسبة تشغيل المعدات ≥98% مع أوقات استجابة مدعومة باتفاقية مستوى الخدمة.

التحسين المستمر

نجري استطلاعات رضا العملاء مرتين سنوياً، وننفذ مبادرات كايزن لتحسين جودة الخدمة. يقوم فريق البحث والتطوير لدينا بتحويل ملاحظات العملاء الميدانية إلى ترقيات للمعدات، حيث أن 30% من تحسينات البرامج الثابتة مستمدة من ملاحظاتهم.