رقاقة سيليكون كربيد (SiC) مقاس 8 بوصات، من الدرجة الإنتاجية، ركيزة سيليكون كربيد (SiC) من نوع 4H-N
يوضح الجدول التالي مواصفات رقائق السيليكون كاربيد (SiC) مقاس 8 بوصات:
| مواصفات معالج الإشارات الرقمية من نوع N-SiC مقاس 8 بوصات | |||||
| رقم | غرض | وحدة | إنتاج | بحث | دمية |
| 1: المعلمات | |||||
| 1.1 | متعدد الأنماط | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | توجيه السطح | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: المعلمات الكهربائية | |||||
| 2.1 | المادة المضافة | -- | نيتروجين من النوع n | نيتروجين من النوع n | نيتروجين من النوع n |
| 2.2 | المقاومة النوعية | أوم · سم | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: المعلمة الميكانيكية | |||||
| 3.1 | القطر | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | سماكة | ميكرومتر | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | اتجاه الشق | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | عمق الشق | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | قيمة القرض إلى القيمة | ميكرومتر | ≤5 (10 مم × 10 مم) | ≤5 (10 مم × 10 مم) | ≤10(10 مم × 10 مم) |
| 3.6 | TTV | ميكرومتر | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | قَوس | ميكرومتر | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | الالتواء | ميكرومتر | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4:البنية | |||||
| 4.1 | كثافة الأنابيب الدقيقة | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | محتوى المعادن | ذرات/سم2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | اضطراب الشخصية الحدية | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | تيد | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. جودة الواجهة | |||||
| 5.1 | أمام | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | تشطيب السطح | -- | تلميع كيميائي ميكانيكي للوجه السيليكوني | تلميع كيميائي ميكانيكي للوجه السيليكوني | تلميع كيميائي ميكانيكي للوجه السيليكوني |
| 5.3 | جسيم | ea/wafer | ≤100 (الحجم ≥0.3 ميكرومتر) | NA | NA |
| 5.4 | يخدش | ea/wafer | ≤5، الطول الإجمالي ≤200 مم | NA | NA |
| 5.5 | حافة رقائق/انبعاجات/شقوق/بقع/تلوث | -- | لا أحد | لا أحد | NA |
| 5.6 | مناطق متعددة الأنماط | -- | لا أحد | المساحة ≤10% | المساحة ≤30% |
| 5.7 | العلامة الأمامية | -- | لا أحد | لا أحد | لا أحد |
| 6: جودة الظهر | |||||
| 6.1 | اللمسة النهائية الخلفية | -- | عضو البرلمان ذو الوجه C | عضو البرلمان ذو الوجه C | عضو البرلمان ذو الوجه C |
| 6.2 | يخدش | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | عيوب الحافة الخلفية الشقوق/الخدوش | -- | لا أحد | لا أحد | NA |
| 6.4 | خشونة الظهر | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | علامة خلفية | -- | شق | شق | شق |
| 7:edge | |||||
| 7.1 | حافة | -- | شطفة | شطفة | شطفة |
| 8: العبوة | |||||
| 8.1 | التغليف | -- | جاهز للحقن فوق الجافية مع شفط الهواء التغليف | جاهز للحقن فوق الجافية مع شفط الهواء التغليف | جاهز للحقن فوق الجافية مع شفط الهواء التغليف |
| 8.2 | التغليف | -- | رقائق متعددة تغليف الكاسيت | رقائق متعددة تغليف الكاسيت | رقائق متعددة تغليف الكاسيت |
رسم تخطيطي مفصل
اكتب رسالتك هنا وأرسلها إلينا