رقاقة LiTaO3 مقاس 2-8 بوصة، 10×10×0.5 مم، 1sp أو 2sp لاتصالات الجيل الخامس/السادس
المعايير الفنية
| اسم | LiTaO3 من الدرجة البصرية | مستوى صوت الطاولة LiTaO3 |
| محوري | قطع Z + / - 0.2 درجة | قطع على شكل حرف Y بزاوية 36 درجة / قطع على شكل حرف Y بزاوية 42 درجة / قطع على شكل حرف X (+ / - 0.2 درجة مئوية) |
| القطر | 76.2 مم ± 0.3 مم 100±0.2 مم | 76.2 مم ± 0.3 مم 100 مم ± 0.3 مم أو 150 ± 0.5 مم |
| مستوى مرجعي | 22 مم ± 2 مم | 22 مم ± 2 مم 32 مم ± 2 مم |
| سماكة | 500 ميكرومتر ± 5 مم 1000 ميكرومتر ± 5 مم | 500 ميكرومتر ± 20 ملم 350 ميكرومتر ± 20 ملم |
| TTV | ≤ 10 ميكرومتر | ≤ 10 ميكرومتر |
| درجة حرارة كوري | 605 درجة مئوية ± 0.7 درجة مئوية (طريقة DTA) | 605 درجة مئوية ± 3 درجات مئوية (طريقة DTA) |
| جودة السطح | تلميع مزدوج الجوانب | تلميع مزدوج الجوانب |
| حواف مشطوفة | تقريب الحواف | تقريب الحواف |
الخصائص الرئيسية
1. الأداء الكهربائي والبصري
· معامل الكهروضوئي: يصل r33 إلى 30 pm/V (X-cut)، وهو أعلى بمقدار 1.5 مرة من LiNbO3، مما يتيح تعديلًا كهروضوئيًا واسع النطاق للغاية (عرض نطاق ترددي >40 جيجاهرتز).
· استجابة طيفية واسعة: نطاق النقل 0.4-5.0 ميكرومتر (سمك 8 مم)، مع حافة امتصاص الأشعة فوق البنفسجية منخفضة تصل إلى 280 نانومتر، مثالية لأجهزة الليزر فوق البنفسجي وأجهزة النقاط الكمومية.
· معامل كهروحراري منخفض: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K)، مما يضمن الاستقرار في أجهزة استشعار الأشعة تحت الحمراء ذات درجة الحرارة العالية.
2. الخصائص الحرارية والميكانيكية
· موصلية حرارية عالية: 4.6 واط/م·ك (قطع X)، أي أربعة أضعاف موصلية الكوارتز، مع تحمل دورات حرارية تتراوح بين -200 و500 درجة مئوية.
· معامل التمدد الحراري المنخفض: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C)، متوافق مع تغليف السيليكون لتقليل الإجهاد الحراري.
3. مراقبة العيوب ودقة المعالجة
· كثافة الأنابيب الدقيقة: <0.1 سم⁻² (رقائق 8 بوصة)، كثافة الخلع <500 سم⁻² (تم التحقق منها عن طريق حفر KOH).
· جودة السطح: مصقول بتقنية CMP إلى Ra <0.5 نانومتر، بما يفي بمتطلبات التسطيح من الدرجة المستخدمة في الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية القصوى.
التطبيقات الرئيسية
| النطاق | سيناريوهات التطبيق | المزايا التقنية |
| الاتصالات الضوئية | ليزرات DWDM بسرعة 100/400 جيجابت في الثانية، ووحدات هجينة من الفوتونات السيليكونية | إن النقل الطيفي الواسع لرقاقة LiTaO3 وفقدان الموجة المنخفض (α <0.1 ديسيبل/سم) يمكّن من توسيع نطاق C. |
| اتصالات الجيل الخامس/السادس | مرشحات SAW (1.8–3.5 جيجاهرتز)، مرشحات BAW-SMR | تحقق رقائق السيليكون المقطوعة بزاوية 42 درجة قيمة Kt² >15%، مما يوفر فقدًا منخفضًا للإدخال (<1.5 ديسيبل) وانخفاضًا عاليًا في التردد (>30 ديسيبل). |
| تقنيات الكم | كاشفات الفوتون المفرد، مصادر التحويل البارامتري السفلي | يعمل معامل اللاخطية العالي (χ(2)=40 pm/V) ومعدل العد المظلم المنخفض (<100 counts/s) على تعزيز الدقة الكمية. |
| الاستشعار الصناعي | مستشعرات الضغط ذات درجة الحرارة العالية، ومحولات التيار | إن استجابة رقاقة LiTaO3 الكهروإجهادية (g33 >20 mV/m) وتحملها لدرجات الحرارة العالية (>400 درجة مئوية) تجعلها مناسبة للبيئات القاسية. |
خدمات XKH
1. تصنيع رقائق السيليكون حسب الطلب
· الحجم والقطع: رقائق من 2 إلى 8 بوصات مع قطع X/Y/Z، وقطع Y بزاوية 42 درجة، وقطع زاوية مخصصة (تفاوت ±0.01 درجة).
• التحكم في التطعيم: تطعيم الحديد والمغنيسيوم عبر طريقة تشوخرالسكي (نطاق التركيز 10¹⁶–10¹⁹ سم⁻³) لتحسين المعاملات الكهروضوئية والاستقرار الحراري.
2. تقنيات المعالجة المتقدمة
• الاستقطاب الدوري (PPLT): تقنية القطع الذكي لرقائق LTOI، مما يحقق دقة دورية في المجال ±10 نانومتر وتحويل التردد شبه المتطابق الطور (QPM).
· التكامل غير المتجانس: رقائق مركبة من LiTaO3 تعتمد على السيليكون (POI) مع التحكم في السماكة (300-600 نانومتر) والتوصيل الحراري حتى 8.78 واط/م·ك لمرشحات SAW عالية التردد.
3. أنظمة إدارة الجودة
· اختبار شامل: مطيافية رامان (التحقق من تعدد الأشكال)، حيود الأشعة السينية (التبلور)، المجهر الذري (مورفولوجيا السطح)، واختبار التوحيد البصري (Δn <5×10⁻⁵).
4. دعم سلسلة التوريد العالمية
· الطاقة الإنتاجية: إنتاج شهري >5000 رقاقة (8 بوصة: 70٪)، مع تسليم طارئ خلال 48 ساعة.
· شبكة الخدمات اللوجستية: تغطية في أوروبا وأمريكا الشمالية وآسيا والمحيط الهادئ عبر الشحن الجوي/البحري مع تغليف يتم التحكم في درجة حرارته.









