كيف يمكننا ترقيق رقاقة السيليكون إلى درجة "الرقة الفائقة"؟

كيف يمكننا ترقيق رقاقة السيليكون إلى درجة "الرقة الفائقة"؟
ما هي رقاقة السيليكون الرقيقة للغاية تحديداً؟

نطاقات السماكة النموذجية (رقائق 8 بوصة / 12 بوصة على سبيل المثال)

• رقاقة قياسية:600–775 ميكرومتر

• رقاقة رقيقة:150-200 ميكرومتر

• رقاقة رقيقة للغاية:أقل من 100 ميكرومتر

• رقاقة رقيقة للغاية:50 ميكرومتر، 30 ميكرومتر، أو حتى 10-20 ميكرومتر

لماذا أصبحت رقائق السيليكون أرق؟

• تقليل سمك العبوة الإجمالي، وتقصير طول TSV، وتقليل تأخير RC

• تقليل المقاومة وتحسين تبديد الحرارة

• تلبية متطلبات المنتج النهائي للأشكال فائقة النحافة

المخاطر الرئيسية للرقائق فائقة الرقة

1. تنخفض القوة الميكانيكية بشكل حاد

2. تشوه شديد

3. صعوبة في المناولة والنقل

4. تُعتبر الهياكل الأمامية شديدة الحساسية؛ فالرقاقات عرضة للتشقق/الكسر.

كيف يمكننا ترقيق رقاقة السيليكون إلى مستويات رقيقة للغاية؟

1. DBG (التقطيع قبل الطحن)
   قسّم الرقاقة جزئيًا (دون قطعها بالكامل) بحيث تكون كل شريحة محددة مسبقًا مع بقاء الرقاقة متصلة ميكانيكيًا من الخلف. ثم اطحن الرقاقة من الخلف لتقليل سمكها، مع إزالة السيليكون المتبقي غير المقطوع تدريجيًا. في النهاية، تُطحن طبقة السيليكون الرقيقة الأخيرة بالكامل، وبذلك تكتمل عملية الفصل.

2. عملية تايكو
   يتم ترقيق المنطقة المركزية فقط من الرقاقة مع الحفاظ على سمك منطقة الحافة. ​​توفر الحافة السميكة دعماً ميكانيكياً، مما يساعد على تقليل التشوّه ومخاطر التعامل معها.

3. ربط الرقاقات المؤقت
   الربط المؤقت يربط الرقاقة بـشركة نقل مؤقتةمما يحول رقاقة رقيقة للغاية تشبه الغشاء إلى وحدة متينة وقابلة للمعالجة. يدعم الحامل الرقاقة، ويحمي الهياكل الأمامية، ويخفف الإجهاد الحراري، مما يتيح ترقيقها إلىعشرات الميكروناتمع السماح في الوقت نفسه بعمليات متقدمة مثل تشكيل الوصلات الرأسية، والطلاء الكهربائي، والربط. وهي إحدى أهم التقنيات التمكينية للتغليف ثلاثي الأبعاد الحديث.