ذراع شوكة من سيراميك كربيد السيليكون / أداة طرفية - معالجة دقيقة متقدمة لتصنيع أشباه الموصلات

تصنيعأدوات طرفية من السيراميك السيليكوني كاربيدتتضمن هذه العملية سلسلة من العمليات عالية الدقة والنقاء التي تضمن الأداء والمتانة. ويُستخدم عادةً عمليتان رئيسيتان:

كربيد السيليكون المرتبط بالتفاعل (RB-SiC)

في هذه العملية، يتم تشريب قالب أولي مصنوع من مسحوق كربيد السيليكون ومادة رابطة بالسيليكون المنصهر عند درجات حرارة عالية (حوالي 1500 درجة مئوية)، والذي يتفاعل مع الكربون المتبقي لتكوين مركب SiC-Si كثيف وصلب. توفر هذه الطريقة تحكمًا ممتازًا في الأبعاد، وهي فعالة من حيث التكلفة للإنتاج على نطاق واسع.

كربيد السيليكون المتلبد بدون ضغط (SSiC)

يُصنع كربيد السيليكون فائق النعومة (SSiC) عن طريق تلبيد مسحوق كربيد السيليكون فائق النعومة وعالي النقاء عند درجات حرارة مرتفعة للغاية (>2000 درجة مئوية) دون استخدام أي إضافات أو مواد رابطة. ينتج عن ذلك منتج ذو كثافة تقارب 100% وأعلى الخصائص الميكانيكية والحرارية المتاحة بين مواد كربيد السيليكون. وهو مثالي لتطبيقات معالجة الرقائق الإلكترونية فائقة الحساسية.

المعالجة اللاحقة

• التصنيع الدقيق باستخدام الحاسوبيحقق مستوى عالٍ من التسطيح والتوازي.

• تشطيب السطح: يقلل التلميع الماسي من خشونة السطح إلى أقل من 0.02 ميكرومتر.

• تقتيشيتم استخدام التداخل البصري، وقياس الإحداثيات ثلاثية الأبعاد، والاختبار غير المدمر للتحقق من كل قطعة.

تضمن هذه الخطوات أنأداة طرفية من كربيد السيليكونيوفر دقة متسقة في وضع الرقاقات، وسطحًا مستويًا ممتازًا، وتوليدًا ضئيلاً للجسيمات.