صينية سيراميك من كربيد السيليكون مطلية بالجرافيت ومغطاة بطبقة من كربيد السيليكون بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) للمعدات

لا تُستخدم سيراميكات كربيد السيليكون فقط في مرحلة ترسيب الأغشية الرقيقة، مثل الترسيب الطبقي أو الترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني، أو في معالجة الرقائق، حيث تُعرَّض صواني حاملات الرقائق في عملية الترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني أولاً لبيئة الترسيب، وبالتالي فهي مقاومة للغاية للحرارة والتآكل. كما تتميز الحوامل المطلية بكربيد السيليكون بموصلية حرارية عالية وخصائص توزيع حراري ممتازة.

حوامل رقائق كربيد السيليكون النقي بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD SiC) لمعالجة الترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني (MOCVD) في درجات حرارة عالية.

تتفوق حوامل رقائق السيليكون كاربيد النقية المصنعة بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) بشكل ملحوظ على حوامل الرقائق التقليدية المستخدمة في هذه العملية، والتي تتكون من الجرافيت المغطى بطبقة من السيليكون كاربيد. لا تستطيع هذه الحوامل المطلية المصنوعة من الجرافيت تحمل درجات الحرارة العالية (من 1100 إلى 1200 درجة مئوية) اللازمة لترسيب نتريد الغاليوم (GaN) المستخدم في مصابيح LED الزرقاء والبيضاء عالية السطوع. تتسبب درجات الحرارة العالية في ظهور ثقوب دقيقة في الطلاء، مما يسمح للمواد الكيميائية المستخدمة في العملية بتآكل الجرافيت الموجود أسفله. بعد ذلك، تتساقط جزيئات الجرافيت وتلوث نتريد الغاليوم، مما يستدعي استبدال حامل الرقاقة المطلي.

يتميز كربيد السيليكون المُصنّع بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) بنقاوة تصل إلى 99.999% أو أكثر، كما يتمتع بموصلية حرارية عالية ومقاومة فائقة للصدمات الحرارية. ولذلك، فهو يتحمل درجات الحرارة العالية والظروف البيئية القاسية لتصنيع مصابيح LED عالية السطوع. وهو مادة صلبة متجانسة تصل إلى الكثافة النظرية، وتنتج الحد الأدنى من الجسيمات، وتُظهر مقاومة عالية جدًا للتآكل والتلف. ويمكن تغيير عتامة المادة وموصليتها دون إدخال شوائب معدنية. يبلغ قطر حوامل الرقاقات عادةً 17 بوصة، ويمكنها استيعاب ما يصل إلى 40 رقاقة بقياس 2-4 بوصات.