ظرف سيراميك من كربيد السيليكون لرقائق السيليكون والياقوت والسيليكون والجرافيت

وصف مختصر:

تُعدّ ظرف التثبيت المصنوع من كربيد السيليكون الخزفي منصة عالية الأداء مصممة خصيصًا لفحص أشباه الموصلات، وتصنيع الرقاقات، وتطبيقات الربط. بفضل تصنيعه من مواد خزفية متطورة - بما في ذلك كربيد السيليكون المتلبد (SSiC)، وكربيد السيليكون المُرتبط بالتفاعل (RSiC)، ونيتريد السيليكون، ونيتريد الألومنيوم - يتميز هذا الظرف بصلابة عالية، وتمدد حراري منخفض، ومقاومة ممتازة للتآكل، وعمر خدمة طويل.

أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا

سمات

رسم تخطيطي مفصل

نظرة عامة على ظرف السيراميك المصنوع من كربيد السيليكون (SiC)

الظرف سيراميك من كربيد السيليكونهي منصة عالية الأداء مصممة خصيصًا لفحص أشباه الموصلات وتصنيع الرقائق وتطبيقات الربط. مصنوعة من مواد سيراميكية متطورة، بما في ذلكالسيليكون كاربيد المتلبد (SSiC), SiC المرتبط بالتفاعل (RSiC), نتريد السيليكون، ونتريد الألومنيوم—يقدمصلابة عالية، تمدد حراري منخفض، مقاومة ممتازة للتآكل، وعمر خدمة طويل.

بفضل الهندسة الدقيقة والتلميع المتطور، يقدم الظرف أداءً متميزًااستواء فائق الدقة (أقل من ميكرون)، أسطح بجودة المرآة، وثبات الأبعاد على المدى الطويلمما يجعله الحل الأمثل لعمليات أشباه الموصلات الحرجة.

المزايا الرئيسية

دقة عالية
يتم التحكم في التسطيح داخل0.3–0.5 ميكرومترمما يضمن استقرار الرقاقة ودقة العملية المتسقة.
تلميع المرآة
يحققRa 0.02 ميكرومترخشونة السطح، مما يقلل من خدوش الرقاقة والتلوث - مثالي للبيئات فائقة النظافة.
خفيف الوزن للغاية
أقوى وأخف وزناً من الركائز المصنوعة من الكوارتز أو المعادن، مما يحسن التحكم في الحركة والاستجابة ودقة تحديد المواقع.
صلابة عالية
يضمن معامل يونغ الاستثنائي ثبات الأبعاد تحت الأحمال الثقيلة والتشغيل عالي السرعة.
تمدد حراري منخفض
يتطابق معامل التمدد الحراري (CTE) بشكل وثيق مع رقائق السيليكون، مما يقلل من الإجهاد الحراري ويعزز موثوقية العملية.
مقاومة فائقة للتآكل
تحافظ الصلابة الفائقة على استواء السطح ودقته حتى في ظل الاستخدام طويل الأمد وعالي التردد.

عملية التصنيع

تحضير المواد الخام
مساحيق كربيد السيليكون عالية النقاء ذات حجم جسيمات مضبوط وشوائب منخفضة للغاية.
التشكيل والتلبيد
تقنيات مثلالتلبيد بدون ضغط (SSiC) or الترابط التفاعلي (RSiC)إنتاج ركائز خزفية كثيفة ومتجانسة.
التصنيع الدقيق
تحقق عمليات الطحن باستخدام الحاسوب، والتشذيب بالليزر، والتشغيل فائق الدقة تفاوتًا قدره ±0.01 مم وتوازيًا ≤3 ميكرومتر.
معالجة السطح
عملية طحن وتلميع متعددة المراحل حتى Ra 0.02 ميكرومتر؛ تتوفر طلاءات اختيارية لمقاومة التآكل أو خصائص الاحتكاك المخصصة.
التفتيش ومراقبة الجودة
تتحقق أجهزة قياس التداخل وأجهزة اختبار الخشونة من الامتثال لمواصفات درجة أشباه الموصلات.

المواصفات الفنية

المعلمة	قيمة	وحدة
التسطيح	≤0.5	ميكرومتر
أحجام الرقائق	6 بوصات، 8 بوصات، 12 بوصة (تتوفر مقاسات حسب الطلب)	—
نوع السطح	نوع الدبوس / نوع الحلقة	—
ارتفاع الدبوس	0.05–0.2	mm
الحد الأدنى لقطر الدبوس	ϕ0.2	mm
الحد الأدنى لتباعد الدبابيس	3	mm
الحد الأدنى لعرض حلقة الإحكام	0.7	mm
خشونة السطح	Ra 0.02	ميكرومتر
تفاوت السماكة	±0.01	mm
تفاوت القطر	±0.01	mm
التسامح مع التوازي	≤3	ميكرومتر

التطبيقات الرئيسية

معدات فحص رقائق أشباه الموصلات
أنظمة تصنيع ونقل الرقائق
أدوات ربط وتغليف الرقائق
تصنيع الأجهزة الكهروضوئية المتقدمة
أدوات دقيقة تتطلب أسطحًا فائقة النعومة والنقاء

أسئلة وأجوبة - ظرف سيراميك من كربيد السيليكون

س1: كيف تتم مقارنة ظرف التثبيت المصنوع من سيراميك كربيد السيليكون بظرف التثبيت المصنوع من الكوارتز أو المعدن؟
ج1: تتميز رؤوس التثبيت المصنوعة من كربيد السيليكون بأنها أخف وزنًا وأكثر صلابة، ولها معامل تمدد حراري قريب من رقائق السيليكون، مما يقلل من التشوه الحراري. كما أنها توفر مقاومة فائقة للتآكل وعمرًا أطول.

س2: ما مدى التسطيح الذي يمكن تحقيقه؟
A2: خاضع للرقابة من الداخل0.3–0.5 ميكرومترتلبية المتطلبات الصارمة لإنتاج أشباه الموصلات.

س3: هل سيؤدي السطح إلى خدش الرقائق؟
ج3: لا - مصقول كمرآةRa 0.02 ميكرومترمما يضمن التعامل بدون خدوش وتقليل توليد الجسيمات.

س4: ما هي أحجام الرقاقات المدعومة؟
A4: الأحجام القياسية لـ6 بوصات، 8 بوصات، و12 بوصةمع إمكانية التخصيص.

س5: ما هي المقاومة الحرارية؟
A5: توفر سيراميكات كربيد السيليكون أداءً ممتازًا في درجات الحرارة العالية مع الحد الأدنى من التشوه أثناء التدوير الحراري.

معلومات عنا

تتخصص شركة XKH في تطوير وإنتاج وبيع الزجاج البصري الخاص ومواد الكريستال الجديدة بتقنيات متطورة. تخدم منتجاتنا قطاعات الإلكترونيات البصرية والإلكترونيات الاستهلاكية والقطاع العسكري. نقدم مكونات بصرية من الياقوت، وأغطية عدسات الهواتف المحمولة، والسيراميك، وتقنية LT، وكربيد السيليكون (SIC)، والكوارتز، ورقائق الكريستال شبه الموصلة. بفضل خبرتنا الواسعة ومعداتنا المتطورة، نتفوق في معالجة المنتجات غير القياسية، ونسعى لنكون شركة رائدة في مجال المواد الكهروضوئية عالية التقنية.