رقاقة سيليكون رقيقة من أكسيد السيليكون الحراري، مقاس 4 بوصات، 6 بوصات، 8 بوصات، 12 بوصة

تتضمن العملية الرئيسية لتصنيع رقائق السيليكون المؤكسدة عادةً الخطوات التالية: نمو السيليكون أحادي البلورة، والتقطيع إلى رقائق، والتلميع، والتنظيف، والأكسدة.

نمو السيليكون أحادي البلورة: أولاً، يُنمّى السيليكون أحادي البلورة في درجات حرارة عالية باستخدام طرق مثل طريقة تشوخرالسكي أو طريقة المنطقة العائمة. تُمكّن هذه الطريقة من تحضير بلورات سيليكون أحادية ذات نقاء عالٍ وسلامة شبكية بلورية.

التقطيع: عادةً ما يكون السيليكون أحادي البلورة المُنمّى على شكل أسطواني، ويحتاج إلى تقطيعه إلى رقائق رقيقة لاستخدامه كركيزة للرقائق. ويتم التقطيع عادةً باستخدام قاطع ماسي.

التلميع: قد يكون سطح الرقاقة المقطوعة غير مستوٍ ويتطلب تلميعًا كيميائيًا ميكانيكيًا للحصول على سطح أملس.

التنظيف: يتم تنظيف الرقاقة المصقولة لإزالة الشوائب والغبار.

الأكسدة: وأخيرًا، يتم وضع رقائق السيليكون في فرن ذي درجة حرارة عالية للمعالجة بالأكسدة لتشكيل طبقة واقية من ثاني أكسيد السيليكون لتحسين خصائصها الكهربائية وقوتها الميكانيكية، بالإضافة إلى العمل كطبقة عازلة في الدوائر المتكاملة.

تشمل الاستخدامات الرئيسية لرقائق السيليكون المؤكسد تصنيع الدوائر المتكاملة، والخلايا الشمسية، والأجهزة الإلكترونية الأخرى. وتُستخدم رقائق أكسيد السيليكون على نطاق واسع في مجال مواد أشباه الموصلات نظرًا لخصائصها الميكانيكية الممتازة، وثبات أبعادها وتركيبها الكيميائي، وقدرتها على العمل في درجات حرارة وضغوط عالية، فضلًا عن خصائصها العازلة والبصرية الجيدة.

تشمل مزاياها بنية بلورية كاملة، وتركيب كيميائي نقي، وأبعاد دقيقة، وخصائص ميكانيكية جيدة، وما إلى ذلك. هذه الميزات تجعل رقائق أكسيد السيليكون مناسبة بشكل خاص لتصنيع الدوائر المتكاملة عالية الأداء وغيرها من الأجهزة الإلكترونية الدقيقة.